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大型精密转台高精度角度微驱动装置的研制
被引量:
14
1
作者
田学光
田兴志
+1 位作者
刘轩
刘伟
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期1112-1118,共7页
针对用于标定和检测的大型精密转台(要求其定位误差≤±0.5″),研制了高精度角度微驱动装置。介绍了转台的总体结构,给出了角度微驱动装置的驱动原理和构成。该角度微驱动装置主要通过一个角位移转换机构把精密直线位移转化为精密...
针对用于标定和检测的大型精密转台(要求其定位误差≤±0.5″),研制了高精度角度微驱动装置。介绍了转台的总体结构,给出了角度微驱动装置的驱动原理和构成。该角度微驱动装置主要通过一个角位移转换机构把精密直线位移转化为精密角位移来实现高的角度分辨率,其在驱动转台旋转的过程中几乎不给转台带来轴向力和径向力,因此不影响转台的轴系精度。为了满足定位要求,转台设计采用了粗精结合、二次定位的方法,即先采用力矩电机进行粗定位,然后使用角度微驱动装置来实现精定位。最后,从理论上计算了角度微驱动装置的分辨率并进行了测试和应用验证,证明此角度微驱动装置的分辨率优于0.08″,满足转台定位精度要求。
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关键词
大型精密转台
角度微驱动装置
角位移转换机构
下载PDF
职称材料
题名
大型精密转台高精度角度微驱动装置的研制
被引量:
14
1
作者
田学光
田兴志
刘轩
刘伟
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院研究生院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期1112-1118,共7页
基金
总装备部科研基金资助项目
文摘
针对用于标定和检测的大型精密转台(要求其定位误差≤±0.5″),研制了高精度角度微驱动装置。介绍了转台的总体结构,给出了角度微驱动装置的驱动原理和构成。该角度微驱动装置主要通过一个角位移转换机构把精密直线位移转化为精密角位移来实现高的角度分辨率,其在驱动转台旋转的过程中几乎不给转台带来轴向力和径向力,因此不影响转台的轴系精度。为了满足定位要求,转台设计采用了粗精结合、二次定位的方法,即先采用力矩电机进行粗定位,然后使用角度微驱动装置来实现精定位。最后,从理论上计算了角度微驱动装置的分辨率并进行了测试和应用验证,证明此角度微驱动装置的分辨率优于0.08″,满足转台定位精度要求。
关键词
大型精密转台
角度微驱动装置
角位移转换机构
Keywords
large-scale high accurate turntable
angular micro driving device
angular displacement conversion mechanism
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大型精密转台高精度角度微驱动装置的研制
田学光
田兴志
刘轩
刘伟
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
14
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职称材料
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