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高分辨率衍射图形的DMD并行激光干涉直写 被引量:5
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作者 吴智华 魏国军 +2 位作者 周小红 邵洁 陈林森 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1784-1787,共4页
通过将数字微反射镜(Digital Micro-mirror Device,DMD)输入阵列图形微缩干涉成像,激光干涉直写系统在光刻胶板上得到缩小的干涉光斑图形,像素特征尺寸3.5μm,干涉条纹周期1μm.控制刻蚀深度、干涉条纹取向和DMD输入图形的结构,系统能... 通过将数字微反射镜(Digital Micro-mirror Device,DMD)输入阵列图形微缩干涉成像,激光干涉直写系统在光刻胶板上得到缩小的干涉光斑图形,像素特征尺寸3.5μm,干涉条纹周期1μm.控制刻蚀深度、干涉条纹取向和DMD输入图形的结构,系统能数字化完成2D/3D、3D光变图像、超微图形文字以及二元光学元件的制作,实现了超高分辨率图形与高效的干涉光刻.给出了实验结果. 展开更多
关键词 并行激光直写 二元光学 数字光变图像 数字微反射镜
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涡流发生器对半球形激光转塔跨声速流场影响数值研究
2
作者 唐松祥 李杰 +1 位作者 张恒 魏自言 《航空科学技术》 2024年第6期51-62,共12页
激光转塔的跨声速绕流场使得机载激光平台面临着严峻的气动光学挑战。为对激光转塔的跨声速流场被动控制提供基本的理论支撑,本文利用了改进亚格子尺度的改进延迟脱体涡模拟(IDDES)方法,针对细长圆柱的针状涡流发生器,对跨声速条件下半... 激光转塔的跨声速绕流场使得机载激光平台面临着严峻的气动光学挑战。为对激光转塔的跨声速流场被动控制提供基本的理论支撑,本文利用了改进亚格子尺度的改进延迟脱体涡模拟(IDDES)方法,针对细长圆柱的针状涡流发生器,对跨声速条件下半球形机载激光转塔的绕流场进行了流动控制数值研究。结果表明,针状涡流发生器引入了明显的二次流特征,削弱了来流能量,导致激光转塔顶部激波强度受到影响,进而影响了激光转塔尾迹区的分离泡尺寸;激光转塔尾迹的横向摆动和纵向波动特征的时空特性并未受到涡流发生器的明显影响,而动态模态分解(DMD)结果指出了当涡流发生器存在时,激光转塔尾迹的纵向波动模态能量具有明显的衰减,合理地对应了尾迹分离泡形态的改变,揭示了本文研究的涡流发生器对激光转塔尾迹分离区的抑制作用,为以被动控制方法来抑制激光转塔气动光学效应提供了依据。 展开更多
关键词 跨声速 机载激光转塔 流动控制 IDDES dmd
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基于DMD高分辨率激光直写系统设计与实现 被引量:5
3
作者 陆亚聪 陈林森 +2 位作者 魏国军 邵洁 周小红 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期46-47,共2页
提出了利用数字微反射镜(DMD)实现高分辨率高速度光刻图像的方法,通过对激光直写系统Holomaker-Ⅲ-B光路的改装,将DMD代替原来的方孔作为光调制器,把DMD上的图像成像在光刻胶板上,得到一个缩小倍率的高质量的任意光斑图形。此系统分辨... 提出了利用数字微反射镜(DMD)实现高分辨率高速度光刻图像的方法,通过对激光直写系统Holomaker-Ⅲ-B光路的改装,将DMD代替原来的方孔作为光调制器,把DMD上的图像成像在光刻胶板上,得到一个缩小倍率的高质量的任意光斑图形。此系统分辨率能够达到6000DPI,能够制作出高质量的光变图像,例如2D图像,2D/3D图像,3D图像以及各种精密的微刻图像和文字,并给出了实验结果。 展开更多
关键词 激光直写 数字微反射镜 光变图像
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激光直写系统中DMD控制方法的设计与改进 被引量:3
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作者 张林 胡丹峰 +3 位作者 朱鹏飞 浦东林 徐杰 王加俊 《半导体光电》 CAS 北大核心 2021年第5期741-746,759,共7页
为解决在激光直写系统中利用数字微镜器件(DMD)无法对纵向像素数大于768的灰度图像进行滚动显示的问题,文章在其控制电路的数据传输、存储及显示驱动技术方面开展了研究。利用FPGA中丰富的逻辑资源实现了图像数据传输方式的改进,通过移... 为解决在激光直写系统中利用数字微镜器件(DMD)无法对纵向像素数大于768的灰度图像进行滚动显示的问题,文章在其控制电路的数据传输、存储及显示驱动技术方面开展了研究。利用FPGA中丰富的逻辑资源实现了图像数据传输方式的改进,通过移位寄存器对数据进行拆分和位宽转换。提出间隔存储方法实现大尺寸灰度图像数据的存储,基于此方法可实现灰度图像滚动显示时的数据读取。同时,省去在上位机中进行位平面拆分和图像分割的预处理步骤,简化了上位机操作流程并提高了系统数据传输效率。实验结果表明,该系统能够以419.6Hz的刷新率对大尺寸灰度图像进行滚动显示。 展开更多
关键词 数字微镜器件 现场可编程门阵列 数据存储 激光直写
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基于DMD微光刻的导光板模板的制作方法 被引量:3
5
作者 李晓建 朱冀梁 +2 位作者 申溯 周小红 陈林森 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期669-673,共5页
提出了一种基于数字微反射镜(DMD)微光刻的导光模板的制作方法。导光板的网点单元图形由DMD输入,经过缩微光学成像系统缩微后,在光刻胶干板上逐单元网点曝光,再经过显影、微电铸得到导光板模板,在PC薄板材上用微纳米压印制成导光板,厚... 提出了一种基于数字微反射镜(DMD)微光刻的导光模板的制作方法。导光板的网点单元图形由DMD输入,经过缩微光学成像系统缩微后,在光刻胶干板上逐单元网点曝光,再经过显影、微电铸得到导光板模板,在PC薄板材上用微纳米压印制成导光板,厚度仅为0.381 mm。采用自行研制的SVGwriting-DMD激光直写系统,图形的最小分辨率为2μm,DMD微光刻法无需掩膜版,可实现不同形状、大小、微结构的单元网点图形及网点的排布,便于大幅面的导光板模板的制作。 展开更多
关键词 激光直写 数字微反射镜 导光板 微光刻制
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Tunable microwave signal generation based on an Opto-DMD processor and a photonic crystal fiber 被引量:1
6
作者 王涛 桑新柱 +12 位作者 颜玢玢 艾琪 李妍 陈笑 张颖 陈根祥 宋菲君 张霞 王葵如 苑金辉 余重秀 肖峰 Alameh Kamal 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第6期304-310,共7页
Frequency-tunable microwave signal generation is proposed and experimentally demonstrated with a dual-wavelength single-longitudinal-mode (SLM) erbium-doped fiber ring laser based on a digital Opto-DMD processor and... Frequency-tunable microwave signal generation is proposed and experimentally demonstrated with a dual-wavelength single-longitudinal-mode (SLM) erbium-doped fiber ring laser based on a digital Opto-DMD processor and four-wave mixing (FWM) in a high-nonlinear photonic crystal fiber (PCF). The high-nonlinear PCF is employed for the generation of the FWM to obtain stable and uniform dual-wavelength oscillation. Two different short passive sub-ring cavities in the main ring cavity serve as mode filters to make SLM lasing. The two lasing wavelengths are electronically selected by loading different gratings on the Opto-DMD processor controlled with a computer. The wavelength spacing can be smartly adjusted from 0.165 nm to 1.08 nm within a tuning accuracy of 0.055 nm. Two microwave signals at 17.23 GHz and 27.47 GHz are achieved. The stability of the microwave signal is discussed. The system has the ability to generate a 137.36-GHz photonic millimeter signal at room temperature. 展开更多
关键词 fiber lasers four-wave mixing Opto-dmd processor tunable microwave signal
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Maskless Microscopic Lithography through Shaping Ultraviolet Laser with Digital Micro-mirror Device
7
作者 Xiang-Yu Ding Yu-Xuan Ren Rong-De Lu 《Optics and Photonics Journal》 2013年第2期227-231,共5页
Laser shaping was introduced to maskless projection soft lithography by using digital micro-mirror device (DMD). The predesigned intensity pattern was imprinted onto the DMD and the input laser beam with a Gaussian or... Laser shaping was introduced to maskless projection soft lithography by using digital micro-mirror device (DMD). The predesigned intensity pattern was imprinted onto the DMD and the input laser beam with a Gaussian or quasi-Gaussian distribution will carry the pattern on DMD to etch the resin. It provides a method of precise control of laser beam shapes and?photon-induced curing behavior of resin. This technology provides an accurate micro-fabrication of microstructures used for micro-systems. As a virtual mask generator and a binary-amplitude spatial light modulator, DMD is equivalent to the masks in the conventional exposure system. As the virtual masks and shaped laser beam can be achieved flexibly, it is a good method of precision soft lithography for 2D/3D microstructures. 展开更多
关键词 DIGITAL Micro-mirror DEVICE (dmd) laser SHAPING MASKLESS Projection Soft LITHOGRAPHY
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激光光刻中数字微镜器件关键技术研究 被引量:2
8
作者 黄新栋 尹涛 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期363-366,共4页
在无掩模激光光刻系统中,TI(Texa instrument,德州仪器)公司基于DLP(digital lightprocessing,数字光处理)架构的DMD(digital micromirror device,数字微镜器件)系统已经得到应用,但是存在光刻图像质量和光刻速度无法提高等瓶颈。提出... 在无掩模激光光刻系统中,TI(Texa instrument,德州仪器)公司基于DLP(digital lightprocessing,数字光处理)架构的DMD(digital micromirror device,数字微镜器件)系统已经得到应用,但是存在光刻图像质量和光刻速度无法提高等瓶颈。提出采用单片FPGA控制DMD的架构,使得微镜锁定时间自由可控,在成像质量上高于DLP架构下的光刻成像质量,同时具备的同步功能和高帧频特性可大大提高光刻速度。 展开更多
关键词 激光光刻 dmd FPGA 空间光调制器
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红外景象投射技术研究 被引量:2
9
作者 贺敏 胡以华 +1 位作者 雷武虎 赵楠翔 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第S2期362-365,共4页
利用仿真系统可以在试验室对红外系统进行测试和评估,而仿真系统的关键器件是红外景象投射器。概述了几种主要的红外景象投射技术——光调制技术、电阻阵列、激光二极管阵列、基于DMD器件的数字微镜技术,以及各种技术的特点。给出了红... 利用仿真系统可以在试验室对红外系统进行测试和评估,而仿真系统的关键器件是红外景象投射器。概述了几种主要的红外景象投射技术——光调制技术、电阻阵列、激光二极管阵列、基于DMD器件的数字微镜技术,以及各种技术的特点。给出了红外景投射技术的技术要求,展望了红外景象投射技术的发展方向。 展开更多
关键词 红外景象投射 光调制技术 电阻阵列 激光二极管阵列 dmd器件
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基于闪耀光栅图形化实现高分辨率干涉光刻 被引量:3
10
作者 胡进 董晓轩 +2 位作者 浦东林 申溯 陈林森 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期3335-3342,共8页
为提高图形化干涉光刻质量,提出了基于闪耀光栅的图形化干涉光刻(PIIL)系统,并对该系统所采用的光学原理和实现方法进行了研究。首先,分析了图形化干涉光刻系统的光场特性,阐述了其分辨率提升的原理。讨论了光学系统带宽和图案分布对光... 为提高图形化干涉光刻质量,提出了基于闪耀光栅的图形化干涉光刻(PIIL)系统,并对该系统所采用的光学原理和实现方法进行了研究。首先,分析了图形化干涉光刻系统的光场特性,阐述了其分辨率提升的原理。讨论了光学系统带宽和图案分布对光刻图形质量的影响,给出了图形质量控制的工艺方法。其次,提出了一种新型的图形化干涉光刻方法,该方法采用闪耀光栅作为衍射分光器件,实现了位相和振幅的一体化调制。采用数值计算方法模拟了闪耀光栅的衍射特性和像面光场分布,讨论了闪耀光栅的优化设计方法,获得了高达92.3%的±1级衍射效率。最后,基于数字微镜器件(DMD)和微缩成像光路设计开发了图形化干涉光刻系统,实验获得了像素化的点阵图形和质量明显改善的光刻图像,验证了该方法对任意图形的适用性。 展开更多
关键词 图形化干涉光刻 傅里叶光学 衍射效率 激光直写 数字微镜器件
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大屏背投激光显示广角镜头的设计 被引量:13
11
作者 陈旭 冯玉涛 +2 位作者 刘伟奇 魏忠伦 康玉思 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期945-950,共6页
研究了背投激光显示广角投影镜头的设计,并给出了1个162.6cm(64in)背投激光显示广角镜头的设计实例。投影镜头前的光学引擎采用数字光处理显示方式,并应用数字微镜晶片(DMD)进行数字光学处理。系统焦距为7.38mm;设计波长为F,d,C;F数为2.... 研究了背投激光显示广角投影镜头的设计,并给出了1个162.6cm(64in)背投激光显示广角镜头的设计实例。投影镜头前的光学引擎采用数字光处理显示方式,并应用数字微镜晶片(DMD)进行数字光学处理。系统焦距为7.38mm;设计波长为F,d,C;F数为2.46;全视场达到100°;在空间调制器DMD的Nyquist频率处,90%以上视场的MTF>0.6。系统渐晕系数为负,提高了投影显示像面边缘的光照度;全视场畸变<1.4%;1个像元尺寸内集中了点目标能量的90%以上。系统中使用了1个直角棱镜对光路进行折叠,减小了镜头长度,使棱镜展开后系统全长为259mm。此外,该镜头只使用了1个二次项为0的非球面(高次项至8次),保证了镜头加工的可行性。设计结果显示,本文提出的设计方法有利于降低投影系统成本,实现产业化生产。 展开更多
关键词 背投式激光显示系统 广角镜头 数字微镜晶片
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激光熔覆技术在金属3D打印中的应用 被引量:9
12
作者 孙莹 《机电产品开发与创新》 2015年第6期26-28,共3页
简述了3D打印中最具潜力和应用价值的金属零件3D打印的分类及发展。详细介绍了基于激光熔覆技术的DMD和LENS金属3D打印的工艺原理及应用,最后分析了其目前的不足之处和未来的发展方向。
关键词 3D打印 激光熔覆 直接金属沉积(dmd) 激光工程化净成型(LENS)
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飞秒激光并行光学存储系统设计及仿真
13
作者 苏亚辉 崔洪涛 +2 位作者 杨云杰 汪金礼 黄文浩 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期59-64,共6页
针对三维光存储串行写入方式存储速度慢、效率低的缺点,设计了一种飞秒激光并行存储光学系统。该系统以TI公司的数字微镜器件作为空间光调制器,对入射飞秒激光进行调制,并利用微透镜阵列对调制后光束进行分束聚焦,从而产生可控的多焦点... 针对三维光存储串行写入方式存储速度慢、效率低的缺点,设计了一种飞秒激光并行存储光学系统。该系统以TI公司的数字微镜器件作为空间光调制器,对入射飞秒激光进行调制,并利用微透镜阵列对调制后光束进行分束聚焦,从而产生可控的多焦点阵列,实现可控性强、灵活性好的并行加工。本文利用ZEMAX和Matlab对DMD进行了仿真建模,并根据已有飞秒激光三维光存储系统参数设计出适合本系统的微透镜阵列,最后对整个系统进行了仿真,给出了初步的仿真结果。从仿真结果可以看出,该系统可以实现具有光开关的存储信息的并行写入。 展开更多
关键词 飞秒激光 并行存储 dmd 微透镜阵列 ZEMAX 光开关
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基于数字微镜阵列光调制的激光防护系统 被引量:3
14
作者 佟洋 徐熙平 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期1325-1329,共5页
提出一种基于数字微镜阵列(DMD)的激光防护系统设计方案,利用DMD的光调制作用减少强激光对光电成像设备的损坏。详细介绍了系统的工作原理、DMD及CCD的选型、投影光路和光学转换系统的设计,运用相移莫尔法进行了图像像素的调校。模拟实... 提出一种基于数字微镜阵列(DMD)的激光防护系统设计方案,利用DMD的光调制作用减少强激光对光电成像设备的损坏。详细介绍了系统的工作原理、DMD及CCD的选型、投影光路和光学转换系统的设计,运用相移莫尔法进行了图像像素的调校。模拟实验结果显示,该系统可在不同光斑半径和光强的条件下成功识别激光光斑中心点的像素坐标和半径,实现对光斑对应区域的微反射镜控制,激光光强可衰减70%以上。 展开更多
关键词 数字微镜阵列 激光防护 莫尔相移法
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一种超高清激光电视系统的设计方案
15
作者 李坚 徐遥令 张曼华 《电视技术》 2018年第4期73-76,共4页
文章介绍一种超高清激光电视系统的设计方案,详细阐述了方案的设计原理。系统TV SOC模块将电视信号处理成像素为4M×2N@f的超高清图像信号,图像处理模块对超高清图像信号进行采样、分割和倍频处理后得到2路2^(1/2)M×槡2N@2f的... 文章介绍一种超高清激光电视系统的设计方案,详细阐述了方案的设计原理。系统TV SOC模块将电视信号处理成像素为4M×2N@f的超高清图像信号,图像处理模块对超高清图像信号进行采样、分割和倍频处理后得到2路2^(1/2)M×槡2N@2f的高清图像信号,DMD驱动模块对2路高清图像信号进行合并处理得到22^(1/2)M×2^(1/2)N@2f图像信号来驱动DMD芯片,DMD芯片投射出分辨率为22^(1/2)M×2^(1/2)N的图像光;采用振镜使DMD投射的相邻帧图像光位置微移,从而显示出4M×2N@f的合成画面。该方案可以快速应用于超高清激光电视产品,具有广泛应用价值。 展开更多
关键词 超高清 激光电视 dmd 合成画面
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CTcP设备图像均化加网研究
16
作者 袁斌 陈宁 《机电工程》 CAS 2008年第2期38-40,共3页
数字加网成像技术是基于传统PS版材进行电脑直接制版(CTcP)工艺的核心技术,其利用数字微镜元件(DMD),对一定波长的紫激光进行光学处理,最终照射在PS版材上曝光以生成清晰的网点图像。在实际工业应用中,由于光晕现象的产生,经常会造成制... 数字加网成像技术是基于传统PS版材进行电脑直接制版(CTcP)工艺的核心技术,其利用数字微镜元件(DMD),对一定波长的紫激光进行光学处理,最终照射在PS版材上曝光以生成清晰的网点图像。在实际工业应用中,由于光晕现象的产生,经常会造成制版成像曝光不均匀,损害最终印刷印染质量。提出一种软件二次数字加网技术,通过编程对CTcP打印图像与标准扫描图像进行比较分析,生成DMD最优工作参数表,从而精确控制各DMD的工作过程,最终实现对各图像网点的曝光进行均化控制。实践证明其能够有效消除上述由于光晕现象导致的不良影响。 展开更多
关键词 CTCP dmd 数字加网成像 二次加网 光晕 桌面出版系统
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Laser Direct Metal Deposition Technology and Microstructure and Composition Segregation of Inconel 718 Superalloy 被引量:12
17
作者 ZHANG Qun-li YAO Jian-hua Jyoti Mazurnder 《Journal of Iron and Steel Research International》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第4期73-78,共6页
Multilayer of laser direct metal deposition(DMD)was prepared by depositing a gas atomized pre-alloyed powder with a composition close to Inconel 718 alloy on Inconel 718 high temperature alloy substrate.The effects ... Multilayer of laser direct metal deposition(DMD)was prepared by depositing a gas atomized pre-alloyed powder with a composition close to Inconel 718 alloy on Inconel 718 high temperature alloy substrate.The effects of the DMD parameters on the build-up rate and the structure of the deposited layer were studied.The laser DMD sample was further processed by a solution treatment.The microstructure and property of the laser DMD zone before and after heat treatment were investigated as well.The results show that the laser parameters of actual laser power of 650 W,scanning speed of 5.8 mm/s,beam diameter of 1 mm,powder feed rate of 6.45 g/min,with a corresponding specific energy of 90-130 J/mm2,can be recommended as optimum parameters for high build-up rate of Inconel 718 alloy.Under the condition of optimized parameters,a directional solidification microstructure was obtained and the average distance between the columnar crystals was 5-10 μm.The microcomposition segregation was found between the columnar crystal trunk and columnar crystal.The elements of Nb,Mo,Ti concentrated in the columnar crystal trunk.After the heat treatment,the segregation was greatly minimized,and the segregation ratios were close to 1.The hardness of the laser deposited layer did not show obvious difference along the height of the layer either for the as-deposited layer or for the heat treated layer.However,the microhardness of the laser DMD zone after heat treatment was obviously higher than that after the as-deposited treatment.During the heat treatment process,some Nb-and Mo-rich phases precipitated and strengthened DMD layer. 展开更多
关键词 laser dmd Inconel 718 alloy composition segregation MICROSTRUCTURE HARDNESS
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基于DMD的外腔量子点激光器性能研究 被引量:3
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作者 成若海 王海龙 +5 位作者 龚谦 严进一 汪洋 柳庆博 曹春芳 岳丽 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期1070-1074,共5页
为了取得更加完善的外腔量子点激光器(QDL)测试数据,构建了基于数字微镜器件(DMD,digital micro-mirror device)的InAs/InP量子点外腔QDL。测量了其光谱特性以及调谐范围,得到了基于DMD的外腔QDL调谐范围和相应的模式变化。在理论和实... 为了取得更加完善的外腔量子点激光器(QDL)测试数据,构建了基于数字微镜器件(DMD,digital micro-mirror device)的InAs/InP量子点外腔QDL。测量了其光谱特性以及调谐范围,得到了基于DMD的外腔QDL调谐范围和相应的模式变化。在理论和实验上与基于光栅的外腔QDL性能进行了比较,得到了在角色散和反射光谱中与光栅的区别,实现了将DMD应用于外腔QDL中而获得的一种新方法。 展开更多
关键词 数字微镜器件(dmd) INAS InP量子点激光器(QDL) 外腔 光谱 角色散
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基于DMD的数码全息光刻系统
19
作者 姜兆华 张伟 +2 位作者 吴宾初 沈冠群 王国庆 《应用激光》 CSCD 北大核心 2010年第5期410-413,共4页
利用DMD空间光调制器与计算机的良好接口和控制系统的可编程性,将其作为二维图像发生器介入激光直写系统;采用高质量相机镜头,设计了基于DMD数字微镜的激光面阵干涉成像系统和相关的光刻软件,并进行了实验,制作了缩微图像、数字掩模灰... 利用DMD空间光调制器与计算机的良好接口和控制系统的可编程性,将其作为二维图像发生器介入激光直写系统;采用高质量相机镜头,设计了基于DMD数字微镜的激光面阵干涉成像系统和相关的光刻软件,并进行了实验,制作了缩微图像、数字掩模灰度图像和激光数码全息图像等。 展开更多
关键词 dmd空间光调制器 激光全息 面阵干涉光刻 数字掩膜
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