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激光损伤的光散射法判别研究
被引量:
9
1
作者
苏俊宏
梁海锋
徐均琪
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第3期325-328,共4页
在激光损伤测量系统中,利用光散射法判别激光薄膜损伤,需要寻求光源和探测器之间的最佳位置。为此,在不同损伤激光脉冲能量、不同测量入射角度(0°,30°,45°,60°)和不同探测器距离(200,250 mm)条件下,研究了损伤点散...
在激光损伤测量系统中,利用光散射法判别激光薄膜损伤,需要寻求光源和探测器之间的最佳位置。为此,在不同损伤激光脉冲能量、不同测量入射角度(0°,30°,45°,60°)和不同探测器距离(200,250 mm)条件下,研究了损伤点散射光能量的角分布。获得结果如下:在相同的探测角度上,散射光能量随着损伤面积和测试光入射角度增加而增加。在探测角度小于反射角度时,随着探测角度增加散射光能量逐渐变强;当探测角度大于反射角度后,随着散射角度增加散射光能量逐渐变弱。散射光相对能量在反射光方向附近出现极大值;在60°入射时,散射光相对能量具有最大值;探测距离在200 mm时,最大散射光相对能量大于探测距离在250 mm时。根据以上结论,可以确定在利用光散射判别损伤的测量系统中,探测器应放置在反射光方向的两侧,并且尽量增加测试光入射角度和缩小探测器与样片间距离。
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关键词
激光损伤
光散射判别
高反射薄膜
表面形貌
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职称材料
题名
激光损伤的光散射法判别研究
被引量:
9
1
作者
苏俊宏
梁海锋
徐均琪
机构
西安工业大学光电工程学院
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第3期325-328,共4页
基金
陕西科技计划-工业攻关项目(No.2007K7-17)
科技部项目(No.2007DFR0180)
文摘
在激光损伤测量系统中,利用光散射法判别激光薄膜损伤,需要寻求光源和探测器之间的最佳位置。为此,在不同损伤激光脉冲能量、不同测量入射角度(0°,30°,45°,60°)和不同探测器距离(200,250 mm)条件下,研究了损伤点散射光能量的角分布。获得结果如下:在相同的探测角度上,散射光能量随着损伤面积和测试光入射角度增加而增加。在探测角度小于反射角度时,随着探测角度增加散射光能量逐渐变强;当探测角度大于反射角度后,随着散射角度增加散射光能量逐渐变弱。散射光相对能量在反射光方向附近出现极大值;在60°入射时,散射光相对能量具有最大值;探测距离在200 mm时,最大散射光相对能量大于探测距离在250 mm时。根据以上结论,可以确定在利用光散射判别损伤的测量系统中,探测器应放置在反射光方向的两侧,并且尽量增加测试光入射角度和缩小探测器与样片间距离。
关键词
激光损伤
光散射判别
高反射薄膜
表面形貌
Keywords
laser damage
,
light scattering definition
,
high reflective films
,
surface morphology
分类号
O484.5 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
激光损伤的光散射法判别研究
苏俊宏
梁海锋
徐均琪
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
9
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职称材料
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