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Development of Electrospray Laser Chemical Vapour Deposition for Homogenous Alumina Coatings 被引量:1
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作者 Teiichi KIMURA 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2016年第1期11-14,共4页
Electrospray,as a liquid source supply system,has been applied to chemical vapour deposition(CVD).In thermal CVD,the microstructure of the obtained films changes from dense to coarse granular because of the decreasi... Electrospray,as a liquid source supply system,has been applied to chemical vapour deposition(CVD).In thermal CVD,the microstructure of the obtained films changes from dense to coarse granular because of the decreasing surface temperature during deposition.Using the electrospray laser chemical vapour deposition method,we prepared homogenous alumina coatings.We found that laser irradiation was effective in compensating the surface temperature decrease,and an alpha-alumina coating with dense columnar microstructures was obtained at a deposition rate of 200 μm/h using 200 W Nd:YAG laser irradiation. 展开更多
关键词 electrospray laser chemical vapour deposition homogenous Alumina coating
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Laser-induced voltage effects in Ca_3Co_4O_9 thin films on tilted LaAlO_3(001) substrates grown by chemical solution deposition 被引量:1
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作者 王淑芳 陈明敬 +5 位作者 赵书瑞 陈景春 何立平 于威 王江龙 傅广生 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第10期441-444,共4页
Laser-induced voltage effects in c-axis oriented Ca3Co4O9 thin films have been studied with samples fabricated on 10°tilted LaAIO3 (001) substrates by a simple chemical solution deposition method. An open-circu... Laser-induced voltage effects in c-axis oriented Ca3Co4O9 thin films have been studied with samples fabricated on 10°tilted LaAIO3 (001) substrates by a simple chemical solution deposition method. An open-circuit voltage with a rise time of about 10 ns and full width at half maximum of about 28 ns is detected when the film surface is irradiated by a 308-nm laser pulse with a duration of 25 ns. Besides, opemcircuit voltage signals are also observed when the film surface is irradiated separately by the laser pulses of 532 nm and 1064 nm. The results indicate that Ca3Co4O9 thin films have a great potential application in the wide range photodetctor from the ultraviolet to near infrared regions. 展开更多
关键词 laser-induced voltage Ca3Co4O9 thin films chemical solution deposition
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Fabrication of micro carbon pillar by laser-induced chemical vapor deposition
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作者 周健 罗迎社 +3 位作者 李立君 钟琦文 李新华 殷水平 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2008年第S1期197-201,共5页
Argon ion laser was used as the induced light source and ethane(C2H4) was selected as the precursor gas,in the variety ranges of laser power from 0.5 W to 4.5 W and the pressure of the precursor gas from 225×133.... Argon ion laser was used as the induced light source and ethane(C2H4) was selected as the precursor gas,in the variety ranges of laser power from 0.5 W to 4.5 W and the pressure of the precursor gas from 225×133.3 Pa to 680×133.3 Pa,the experiments of laser induced chemical vapor deposition were proceeded for fabrication of micro carbon pillar.In the experiments,the influences of power of laser and pressure of work gas on the diameter and length of micro carbon pillar were investigated,the variety on averaged growth rate of carbon pillar with the laser irradiation time and moving speed of focus was discussed.Based on experiment data,the micro carbon pillar with an aspect ratio of over 500 was built through the method of moving the focus. 展开更多
关键词 laser-induced chemical vapor deposition(LCVD) GROWING rapid DIAMETER microcarbon.
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Photoluminescence and lasing properties of InAs/GaAs quantum dots grown by metal-organic chemical vapour deposition
4
作者 梁松 朱洪亮 +7 位作者 潘教青 赵玲娟 王鲁峰 周帆 舒惠云 边静 安欣 王圩 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第11期4300-4304,共5页
Photoluminescence (PL) and lasing properties of InAs/GaAs quantum dots (QDs) with different growth procedures prepared by metalorganic chemical vapour deposition are studied. PL measurements show that the low grow... Photoluminescence (PL) and lasing properties of InAs/GaAs quantum dots (QDs) with different growth procedures prepared by metalorganic chemical vapour deposition are studied. PL measurements show that the low growth rate QD sample has a larger PL intensity and a narrower PL line width than the high growth rate sample. During rapid thermal annealing, however, the low growth rate sample shows a greater blueshift of PL peak wavelength. This is caused by the larger InAs layer thickness which results from the larger 2-3 dimensional transition critical layer thickness for the QDs in the low-growth-rate sample. A growth technique including growth interruption and in-situ annealing, named indium flush method, is used during the growth of GaAs cap layer, which can flatten the GaAs surface effectively. Though the method results in a blueshift of PL peak wavelength and a broadening of PL line width, it is essential for the fabrication of room temperature working QD lasers. 展开更多
关键词 metal-organic chemical vapour deposition InAs/GaAs quantum dots laser
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PERFORMANCE AND MICROSTRUCTURE OF SUPERHARD Si_3N_4 FILM BY HIGH POWER CO_2 LASER CVD
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作者 FENG Zhongchao GUO Liang LIANG Yong HAN Jian HOU Wanliang NING Xiaoguang Institute of Metal Research,Academia Sinica,Shenyang,China Associate Professor,Institute of Metal Research,Academia Sinica,Shenyang 110015,China 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》 SCIE EI CAS CSCD 1993年第7期64-68,共5页
A superhard α-Si_3N_4 film,deposited on metal substrate,was produced by laser chemical vapor deposition adopting a kW-level high power CO_2 laser.Most films are composed of fine Si_3N_4 partieles.They join the metal ... A superhard α-Si_3N_4 film,deposited on metal substrate,was produced by laser chemical vapor deposition adopting a kW-level high power CO_2 laser.Most films are composed of fine Si_3N_4 partieles.They join the metal substrate in strong bond.The films have super hardness,excellent resistance to wear and corrosion,etc.Their thickness may be controlled within 5-30 μm. 展开更多
关键词 laser chemical vapour deposition Si_3N-4 film hardness wear resistance corrosion resistance
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Effect of Doping with Sulfur on the Optical Constant of the SiC Films Prepared by TEA-CO2 Laser
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作者 Majida Ali Ameen 《材料科学与工程(中英文版)》 2010年第12期6-11,共6页
关键词 SIC薄膜 掺杂效应 六氟化硫 光学特性 光学常数 CO2激光 TEA 二氧化碳激光
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激光诱导化学沉积(铜)的实验研究 被引量:8
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作者 黄妙良 林建明 +3 位作者 林煜 肖子敬 俞平利 许承晃 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 1996年第5期249-251,共3页
利用514.5nmA+r激光作诱导光源、研究了激光功率、辐照时间、镀液组份等对化学沉积的影响规律,利用扫描电镜分析了镀斑形成过程的微观形貌,结果表明:与普通化学镀相比.激光诱导化学沉积所形成的镀层其表面平滑、颗粒分布... 利用514.5nmA+r激光作诱导光源、研究了激光功率、辐照时间、镀液组份等对化学沉积的影响规律,利用扫描电镜分析了镀斑形成过程的微观形貌,结果表明:与普通化学镀相比.激光诱导化学沉积所形成的镀层其表面平滑、颗粒分布均匀、致密。文中还初步探讨了有关激光诱导作用的机理。 展开更多
关键词 激光诱导 化学沉积 表面镀覆技术
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陶瓷表面激光诱导局域化学镀覆金属镍的研究 被引量:4
8
作者 黄妙良 林煜 林建明 《激光杂志》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第6期42-43,共2页
利用 10 79 5nmNd:YAP激光作诱导光源 ,普通陶瓷作为基体 ,研究了激光功率、辐照时间、镀液组份、浓度对激光诱导化学局域镀覆金属镍的影响规律 ,探讨了激光作用的物理机制。利用扫描电子显微镜及轮廓仪分析了镀斑形成过程、微观形貌、... 利用 10 79 5nmNd:YAP激光作诱导光源 ,普通陶瓷作为基体 ,研究了激光功率、辐照时间、镀液组份、浓度对激光诱导化学局域镀覆金属镍的影响规律 ,探讨了激光作用的物理机制。利用扫描电子显微镜及轮廓仪分析了镀斑形成过程、微观形貌、厚度分布。结果表明 :与普通化学镀相比 ,激光诱导的镀覆速度要大约两个数量级 ,镀层表面平滑、颗粒大小均匀、规则、分布致密。镀斑的厚度在横向上呈类高斯分布。 展开更多
关键词 激光诱导 局域镀覆 陶瓷表面 化学镀覆 镀镍
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理想化学计量纳米氮化硅的制备 被引量:4
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作者 王卫乡 刘颂豪 +1 位作者 李道火 刘宗才 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1996年第3期448-452,共5页
本文研究了激光诱导化学气相沉积纳米氮化硅的制备工艺过程,提出了减少游离硅的措施,利用光学二步激励法制备得到了理想化学计量的高纯纳米氮化硅粉末,其N/Si比高达1.321;非常接近于理想值4/3(1.333).
关键词 激光诱导 化学气相沉积 氮化硅陶瓷 陶瓷粉末
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通过激光诱导化学气相沉积来制造微碳柱的研究 被引量:7
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作者 温宗胤 李宝灵 周健 《矿冶工程》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期79-82,共4页
使用氩离子激光作为光源,乙烷(C2H6)作为工作气体,在激光功率0.5—4.5W,气体压力0.03—0.09MPa的变化范围内,进行激光诱导化学气相沉积形成微结构。试验研究了激光功率、气体压力对碳柱直径和生长长度的影响,讨论了碳柱平均... 使用氩离子激光作为光源,乙烷(C2H6)作为工作气体,在激光功率0.5—4.5W,气体压力0.03—0.09MPa的变化范围内,进行激光诱导化学气相沉积形成微结构。试验研究了激光功率、气体压力对碳柱直径和生长长度的影响,讨论了碳柱平均生长率随照射时间、焦点移动速度的变化规律。根据实验数据,使用焦距移动方法,生成长径比超过500的微碳柱。 展开更多
关键词 激光诱导化学气相沉积 生长速度 直径 微碳柱
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基于RP技术的激光诱导选择性化学沉积微细加工技术的研究 被引量:2
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作者 刘立兵 赵毅 +1 位作者 李明辉 潘伟 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期137-142,共6页
在介绍快速成形技术以及微机电系统与微细加工技术的基础之上,对比分析了一些基于快速成形技术微细加工方法的优缺点及其最新研究成果。对于激光诱导选择性化学液相沉积快速成形技术的研究,首先从整个的系统原理到工艺流程进行详细地论... 在介绍快速成形技术以及微机电系统与微细加工技术的基础之上,对比分析了一些基于快速成形技术微细加工方法的优缺点及其最新研究成果。对于激光诱导选择性化学液相沉积快速成形技术的研究,首先从整个的系统原理到工艺流程进行详细地论述,并指出此技术所存在的一些优缺点。在普通玻璃上进行了激光诱导选择性化学液相沉积铜的试验,成功地沉积出点、线和面并实现了分层累加的沉积。在从激光诱导化学液相沉积技术的沉积原理和反应机理的分析到反应速率及沉积速率模型的建立的基础之上,进一步论证了激光诱导选择性化学沉积快速成形技术在三维微细加工方面的应用上是可行的。 展开更多
关键词 RP技术 快速成形 激光诱导 选择性化学沉积 微细加工 微型部件
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p型硅片上激光诱导局部化学沉镍 被引量:2
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作者 王建 郁祖湛 郁宁 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1996年第4期626-629,共4页
在以肼为还原剂的碱性化学镀镍溶液中实现p型单晶硅片上激光诱导微区化学沉镍,讨论了激光能量、照射时间对镍沉积层的影响。使用SEM、AES和RBS等方法对镀层的形貌、性质进行了分析。激光诱导化学沉积得到了均匀致密、结合力... 在以肼为还原剂的碱性化学镀镍溶液中实现p型单晶硅片上激光诱导微区化学沉镍,讨论了激光能量、照射时间对镍沉积层的影响。使用SEM、AES和RBS等方法对镀层的形貌、性质进行了分析。激光诱导化学沉积得到了均匀致密、结合力好的纯镍镀层。镀层与基体间具有Schottky接触特性。 展开更多
关键词 激光诱导 化学沉积 反应机理
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激光合成硅粉中的分形结构 被引量:1
13
作者 王卫乡 吉玉泓 +2 位作者 梅宴标 刘颂豪 陈俊芳 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1996年第S1期25-28,共4页
本文对激光合成硅粉过程中出现的分形现象进行了分析,计算了其分维。
关键词 分形 激光诱导化学气相沉积 硅粉
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TiN类薄膜的激光化学气相沉积 被引量:7
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作者 张鸿俭 冯钟潮 张鹤 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 1999年第1期41-44,共4页
研究了激光化学气相沉积的方法在Ti和Ti-6Al-4V基材上沉积TiN、TiC、 Ti(Cn、Nm)薄膜的工艺方法,并获得了良好膜层的最佳工艺。在低压下用激光化学气相沉积 (LCVD)方法制备成功的TiN类薄膜颜色金黄... 研究了激光化学气相沉积的方法在Ti和Ti-6Al-4V基材上沉积TiN、TiC、 Ti(Cn、Nm)薄膜的工艺方法,并获得了良好膜层的最佳工艺。在低压下用激光化学气相沉积 (LCVD)方法制备成功的TiN类薄膜颜色金黄,成份均匀,其平均显微硬度为HK2500,耐磨 性比基材提高了六倍。 展开更多
关键词 TiN类薄膜 钛合金 激光化学气相沉积
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Nd:YAG脉冲激光诱导化学沉积银 被引量:1
15
作者 孙克 赵岩 +1 位作者 张彩碚 李正林 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期391-393,共3页
Nd :YAG脉冲激光扫描照射单晶Si基底表面AgNO3 薄膜 ,薄膜热分解产生的Ag沉积在Si基底表面形成沉积线· 在激光功率为 2 8W ,频率为 35Hz时 ,最高扫描速度为 9mm/s·SEM显示Ag颗粒均匀镶嵌在基底沉积线表面 ,AES研究沉积线表... Nd :YAG脉冲激光扫描照射单晶Si基底表面AgNO3 薄膜 ,薄膜热分解产生的Ag沉积在Si基底表面形成沉积线· 在激光功率为 2 8W ,频率为 35Hz时 ,最高扫描速度为 9mm/s·SEM显示Ag颗粒均匀镶嵌在基底沉积线表面 ,AES研究沉积线表面元素随深度分布情况·以Ag颗粒为催化中心 ,在沉积线表面选区化学镀铜 ,超声振动显示镀铜膜与基底有良好的结合力· 展开更多
关键词 Nd:YAG脉冲激光 激光诱导化学沉积 选区化学镀 Si基底 硅基底 大规模集成电路
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激光化学气相沉积(连载之一) 被引量:4
16
作者 张魁武 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期118-126,共9页
本讲座介绍了激光化学气相沉积的基本原理,较详细地讲述了制备金属薄膜、金刚石薄膜、类金刚石薄膜、氢化非晶硅薄膜、化合物半导体薄膜及绝缘体薄膜等所用的激光器、工艺参数以及薄膜的性能。
关键词 激光化学气相沉积 激光诱导 激光辅助 光解激光 热解激光 光热共解激光
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激光诱导普通玻璃表面局域液相化学沉积铜的研究 被引量:1
17
作者 刘立兵 赵毅 李明辉 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2002年第3期51-53,共3页
利用CO2 激光 (λ =10 .6 μm)作为诱导光源 ,普通玻璃作为衬底 ,研究了影响激光沉积质量和速率的因素 ,探讨了激光诱导液相化学沉积技术的反应机制 ,反应产物及其沉积模型等。采用光学显微镜对其沉积过程和沉积铜的微观形貌进行了观察... 利用CO2 激光 (λ =10 .6 μm)作为诱导光源 ,普通玻璃作为衬底 ,研究了影响激光沉积质量和速率的因素 ,探讨了激光诱导液相化学沉积技术的反应机制 ,反应产物及其沉积模型等。采用光学显微镜对其沉积过程和沉积铜的微观形貌进行了观察。结果表明 :激光诱导液相化学沉积技术能沉积出表面平整 ,颗粒大小均匀、规则 ,分布致密的铜镀层 ,且沉积速率比起普通化学镀也要高出几个数量级。 展开更多
关键词 CO2激光器 激光诱导 玻璃 化学沉积 液相铜 二氧化碳激光器
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激光合成纳米硅的红外光声光谱 被引量:1
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作者 王卫乡 刘颂豪 《华南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 1996年第1期28-34,共7页
利用光声技术对激光气相沉积的纳米硅进行了红外光声光谱的研究,考察了红外光声谱随退火处理和外加压力的变化行为,给出了纳米硅红外吸收峰的指认和解释,讨论了固态效应对吸收峰位置的影响.
关键词 红外光谱 光声光谱 纳米硅 激光合成 半导体
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激光化学气相沉积(连载之二) 被引量:1
19
作者 张魁武 《金属热处理》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期94-101,共8页
介绍了激光化学气相沉积的基本原理,较详细地讲述了制备金属薄膜、金刚石薄膜、类金刚石薄膜、氢化非晶硅薄膜、化合物半导体薄膜及绝缘体薄膜等所用的激光器、工艺参数以及薄膜的性能。
关键词 激光化学气相沉积 激光诱导 激光辅助 光解激光 热解激光 光热共解激光
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退火处理对激光诱导化学气相沉积制备纳米硅红外光谱的影响
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作者 张海燕 陈可心 +2 位作者 刘颂豪 梁礼正 王卫乡 《中山大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2000年第S2期169-173,共5页
研究激光诱导化学相沉积(LICVD)法制备纳米硅粒子的工艺过程,分析了影响纳米硅形成及尺寸的主要工艺参数,获得了最佳的工艺条件并讨论了退火处理对纳米硅红外光谱各吸收峰的强度。
关键词 纳米硅 激光诱导化学气相沉积(licvd) 红外光谱
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