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Bioinspired micro/nanostructured surfaces prepared by femtosecond laser direct writing for multi-functional applications 被引量:13
1
作者 Yiyuan Zhang Yunlong Jiao +5 位作者 Chuanzong Li Chao Chen Jiawen Li Yanlei Hu Dong Wu Jiaru Chu 《International Journal of Extreme Manufacturing》 2020年第3期42-62,共21页
manufacturing of biomimetic micro/nanostructures due to its specific advantages including high precision,simplicity,and compatibility for diverse materials in comparison with other methods(e.g.ion etching,sol-gel proc... manufacturing of biomimetic micro/nanostructures due to its specific advantages including high precision,simplicity,and compatibility for diverse materials in comparison with other methods(e.g.ion etching,sol-gel process,chemical vapor deposition,template method,and self-assembly).These biomimetic micro/nanostructured surfaces are of significant interest for academic and industrial research due to their wide range of potential applications,including self-cleaning surfaces,oil-water separation,and fog collection.This review presents the inherent relationship between natural organisms,fabrication methods,micro/nanostructures and their potential applications.Thereafter,we throw a list of current fabrication strategies so as to highlight the advantages of FLDW in manufacturing bioinspired microstructured surfaces.Subsequently,we summarize a variety of typical bioinspired designs(e.g.lotus leaf,pitcher plant,rice leaf,butterfly wings,etc)for diverse multifunctional micro/nanostructures through extreme femtosecond laser processing technology.Based on the principle of interfacial chemistry and geometrical optics,we discuss the potential applications of these functional micro/nanostructures and assess the underlying challenges and opportunities in the extreme fabrication of bioinspired micro/nanostructures by FLDW.This review concludes with a follow up and an outlook of femtosecond laser processing in biomimetic domains. 展开更多
关键词 femtosecond laser direct writing multiscale micro/nanostructures extreme fabrication bioinspired applications
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激光表面强化与微纳制造技术研究进展
2
作者 朱立华 于文慧 +7 位作者 亓东锋 王志文 王宗申 杨兵 刘明明 朱建 吴永玲 郑宏宇 《材料保护》 CAS CSCD 2024年第8期130-146,共17页
我国激光表面强化技术和表面微纳结构制造技术虽然起步较晚,但近年来发展十分迅速,已在激光与物质瞬态作用基础理论、激光冲击强化、激光表面熔凝、激光表面熔覆、激光表面直写、激光诱导表面微结构等方面取得了重要进展;但是,与对激光... 我国激光表面强化技术和表面微纳结构制造技术虽然起步较晚,但近年来发展十分迅速,已在激光与物质瞬态作用基础理论、激光冲击强化、激光表面熔凝、激光表面熔覆、激光表面直写、激光诱导表面微结构等方面取得了重要进展;但是,与对激光技术研究起步更早的国家相比,我国仍然存在缺乏首创工艺技术、激光与物质瞬态作用基础理论研究薄弱等问题,在工业技术应用和装备研制方面也存在一定差距。综述了激光表面强化与微纳制造技术的研究进展。随着微纳结构制造产业的不断发展进步、新合金新材料应用需求的增加以及环保要求的提高,激光表面强化和激光表面微纳结构制造技术会向着效率更高、精度更高、性能更高的方向继续迈进,在实际生产中的应用也将得到进一步的发展。 展开更多
关键词 激光表面强化 微纳制造 激光冲击强化 激光表面熔凝 激光表面熔覆 激光表面直写 激光诱导表面微结构
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Ultrashort pulsed laser induced complex surface structures generated by tailoring the melt hydrodynamics 被引量:1
3
作者 Fotis Fraggelakis George D.Tsibidis Emmanuel Stratakis 《Opto-Electronic Advances》 SCIE EI 2022年第3期53-68,I0001,共17页
We present a novel approach for tailoring the laser induced surface topography upon femtosecond(fs)pulsed laser irradiation.The method employs spatially controlled double fs laser pulses to actively regulate the hydro... We present a novel approach for tailoring the laser induced surface topography upon femtosecond(fs)pulsed laser irradiation.The method employs spatially controlled double fs laser pulses to actively regulate the hydrodynamic microfluidic motion of the melted layer that gives rise to the structures formation.The pulse train used,in particular,consists of a previously unexplored spatiotemporal intensity combination including one pulse with Gaussian and another with periodically modulated intensity distribution created by Direct Laser Interference Patterning(DLIP).The interpulse delay is appropriately chosen to reveal the contribution of the microfluidic melt flow,while it is found that the sequence of the Gaussian and DLIP pulses remarkably influences the surface profile attained.Results also demonstrate that both the spatial intensity of the double pulse and the effective number of pulses per irradiation spot can further be modulated to control the formation of complex surface morphologies.The underlying physical processes behind the complex patterns’generation were interpreted in terms of a multiscale model combining electron excitation with melt hydrodynamics.We believe that this work can constitute a significant step forward towards producing laser induced surface structures on demand by tailoring the melt microfluidic phenomena. 展开更多
关键词 laser-matter interaction direct laser interference patterning surface functionalization laser micro/nano fabrication
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激光直写制备衍射光学元件的研究及应用 被引量:1
4
作者 梁广磊 孙树峰 +6 位作者 王津 姜明明 张丰云 王茜 邵晶 曲志浩 王萍萍 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2023年第4期124-141,共18页
衍射光学元件作为一种典型的微光学元件,其体积小、质量轻、设计自由度多、成像质量良好,在光学成像、光学数据存储、激光技术、生物医学等领域具有广阔的应用前景。随着现代光学系统的不断发展,对衍射光学元件的加工效率和制备精度提... 衍射光学元件作为一种典型的微光学元件,其体积小、质量轻、设计自由度多、成像质量良好,在光学成像、光学数据存储、激光技术、生物医学等领域具有广阔的应用前景。随着现代光学系统的不断发展,对衍射光学元件的加工效率和制备精度提出了更高的要求。激光直写技术凭借加工精度高、工艺简单、灵活性好等优势,成为制备高精密仪器中关键光学元件所必需的一种加工方式。针对不同的加工需求,开发了多种激光直写系统,并在应用过程中不断地改进升级。另外,突破衍射极限的飞秒激光微纳结构制造技术,能够获得更高的加工精度和更好的分辨率,为微光学元件的制备提供了新的方法。首先介绍了激光直写技术的特点;其次综述了衍射光学元件直写加工技术的研究进展,包括直写技术的影响因素、激光直写系统和多光束加工技术;接着介绍了衍射光学元件的典型应用,如红外成像、色差校正、光束整形、图像显示;最后,对激光直写技术制备衍射光学元件存在的问题和未来发展趋势做出了总结。 展开更多
关键词 激光直写技术 衍射光学元件 直写系统对比 微纳制造 光学元件应用
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激光熔覆直接制造金属零件的组织及力学性能分析 被引量:10
5
作者 姬生钦 李鹏 曾晓雁 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第2期130-132,160,共4页
利用激光熔覆直接制造技术,采用不同的路径填充模式制备了不锈钢拉伸试样,对试样进行拉伸试验并对断口进行电镜扫描分析。结果表明,所制备的金属拉伸试样结合强度高,表现为韧性断裂,其屈服强度与断裂强度高于相近成分下常规加工方式所... 利用激光熔覆直接制造技术,采用不同的路径填充模式制备了不锈钢拉伸试样,对试样进行拉伸试验并对断口进行电镜扫描分析。结果表明,所制备的金属拉伸试样结合强度高,表现为韧性断裂,其屈服强度与断裂强度高于相近成分下常规加工方式所加工试样的相应值。激光扫描方向对拉伸性能的高低没有显著影响。拉伸试样显微组织晶粒细小,具有定向凝固特征。 展开更多
关键词 激光技术 激光熔覆 激光直接制造 力学性能 不锈钢 金属粉末
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激光超衍射加工机理与研究进展 被引量:8
6
作者 张心正 夏峰 许京军 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第14期91-106,共16页
随着纳米科技和微纳电子器件的发展,制造业对微纳加工技术的要求越来越高.激光加工技术是一种绿色先进制造技术,具有巨大的发展潜力,己广泛应用于不同的制造领域.为实现低成本、高效率、大面积尤其是高精度的激光微纳加工制造,研究和发... 随着纳米科技和微纳电子器件的发展,制造业对微纳加工技术的要求越来越高.激光加工技术是一种绿色先进制造技术,具有巨大的发展潜力,己广泛应用于不同的制造领域.为实现低成本、高效率、大面积尤其是高精度的激光微纳加工制造,研究和发展激光超衍射加工技术具有十分重要的科学意义和应用价值.本文首先阐述了基于非线性效应的远场激光直写超衍射加工技术的原理与国内外发展状况,包括激光烧蚀加工技术、激光诱导改性加工技术和多光子光聚合加工技术等;然后介绍了几种基于倏逝波的近场激光超衍射加工技术,包括扫描近场光刻技术、表面等离子激元光刻技术等新型超衍射激光近场光刻技术的机理与研究进展;最后对激光超衍射加工中存在的问题及未来发展方向进行了讨论. 展开更多
关键词 超衍射极限 激光微纳加工 激光直写 激光近场加工
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基于微束等离子熔覆的直接金属快速成形系统设计 被引量:11
7
作者 向永华 徐滨士 +3 位作者 吕耀辉 姜祎 刘存龙 夏丹 《机床与液压》 北大核心 2010年第5期56-58,3,共4页
金属零件直接制造技术目前已成为快速成形技术的研究热点和重要发展方向。提出一种基于微束等离子熔覆工艺的直接金属成形方法,介绍该方法的工作原理和系统构成,设计并开发基于等离子熔覆的金属零件直接制造软、硬件系统,并采用该系统... 金属零件直接制造技术目前已成为快速成形技术的研究热点和重要发展方向。提出一种基于微束等离子熔覆工艺的直接金属成形方法,介绍该方法的工作原理和系统构成,设计并开发基于等离子熔覆的金属零件直接制造软、硬件系统,并采用该系统进行中空零件成形实验。实验结果表明,并采用微束等离子熔覆直接制造系统可以得到成形良好、组织细密的金属零件。 展开更多
关键词 微束等离子熔覆 金属零件直接制造 快速成形
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激光微细熔覆快速原型制造厚膜电感元件 被引量:2
8
作者 李慧玲 曾晓雁 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2006年第8期46-48,共3页
采用激光微细熔覆快速制造技术直接将电感元件集成在电路板上,使之由插装或表面贴装元件直接转化成平面膜式电感,大大减少了焊点,缩短互连,减少了占用面积,从而提高了可靠性和电性能。另外,不需要掩模的制作和高温烧结,简化了工艺,降低... 采用激光微细熔覆快速制造技术直接将电感元件集成在电路板上,使之由插装或表面贴装元件直接转化成平面膜式电感,大大减少了焊点,缩短互连,减少了占用面积,从而提高了可靠性和电性能。另外,不需要掩模的制作和高温烧结,简化了工艺,降低了成本,提高了效率。 展开更多
关键词 电子技术 激光微细熔覆 快速原型制造 厚膜电感元件
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激光微熔覆技术的发展及应用 被引量:8
9
作者 蔡志祥 曾晓雁 《中国光学与应用光学》 2010年第5期405-414,共10页
基于激光的直写技术具有加工周期短、使用灵活、无需掩模、环境要求低等诸多优点,其在微电子等领域应用广泛。本文引入了一种新的激光直写技术—激光微熔覆技术,介绍了该技术的工艺过程及特点,并在此基础上集成制造了激光微熔覆设备。... 基于激光的直写技术具有加工周期短、使用灵活、无需掩模、环境要求低等诸多优点,其在微电子等领域应用广泛。本文引入了一种新的激光直写技术—激光微熔覆技术,介绍了该技术的工艺过程及特点,并在此基础上集成制造了激光微熔覆设备。通过激光与物质的相互作用原理,理论分析了激光微熔覆电子浆料的成型机理。最后,举例说明该技术在微电子、光电子以及传感器领域的应用,并对该技术的发展趋势进行了初步预测,认为该技术在混合集成电路基板的加工、微型传感器和加热器的制造、平面无源电子器件和分立无源电子器件的研制以及生物芯片、电子封装等领域有好的发展前景。 展开更多
关键词 激光微熔覆 直写技术 电子浆料
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激光微细熔覆快速原型制造的厚膜电容组织性能
10
作者 李慧玲 曾晓雁 《应用光学》 CAS CSCD 2006年第5期423-427,445,共6页
针对传统工艺制备的厚膜电容尺寸有限、容量低、损耗大,仅限于一些特定的应用领域,提出采用激光微细熔覆快速原型制造技术在陶瓷基板上制备电容,它具有速度快,不需要掩膜等特点。着重分析电容器的组织性能以及电容、介电常数、品质因数... 针对传统工艺制备的厚膜电容尺寸有限、容量低、损耗大,仅限于一些特定的应用领域,提出采用激光微细熔覆快速原型制造技术在陶瓷基板上制备电容,它具有速度快,不需要掩膜等特点。着重分析电容器的组织性能以及电容、介电常数、品质因数和绝缘电阻等电器性能,并对电容器的形成机理进行了研究。实验证明,激光微细熔覆快速原型制造技术比传统烧结工艺制备的厚膜电容容量大、再现性好,其组织致密、均匀,不存在界面成分的扩散。 展开更多
关键词 厚膜电容 激光微细熔覆 快速原型制造 介质膜
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芯包复合光纤光栅的飞秒激光制备及其温度特性
11
作者 张雯 熊洁 +1 位作者 何巍 祝连庆 《中国测试》 CAS 北大核心 2022年第8期150-155,共6页
该文针对栅区同时存在于纤芯和包层区域的芯包复合光纤光栅展开研究,利用纤芯失配机制建立双波长布拉格谐振与温度传感模型,使用波长800 nm、脉宽35 fs、重频1 kHz的飞秒激光逐线刻写,制备光栅栅距533 nm、栅线长度10μm、栅区长度2000... 该文针对栅区同时存在于纤芯和包层区域的芯包复合光纤光栅展开研究,利用纤芯失配机制建立双波长布拉格谐振与温度传感模型,使用波长800 nm、脉宽35 fs、重频1 kHz的飞秒激光逐线刻写,制备光栅栅距533 nm、栅线长度10μm、栅区长度2000μm的芯包复合光纤光栅,纤芯与包层布拉格谐振分别位于1542.07 nm、1540.09 nm,符合双波长谐振模型。在温度范围50~410℃、步长20℃的测试条件下研究芯包复合光纤光栅的温度特性。实验结果表明,双布拉格谐振波长均随温度升高而产生红移,且纤芯、包层谐振的温度灵敏度分别为10.22 pm/℃、10.45 pm/℃,符合器件温度传感模型预测。芯包复合光纤光栅能产生双峰反射光谱,实现单传感结构、双灵敏系数的功能性扩展,具有巨大的应用价值与潜力。 展开更多
关键词 芯包复合光纤光栅 飞秒激光制备 逐线直写法 温度特性研究
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激光微熔覆柔性布线预置层控制工艺研究
12
作者 李祥友 祁小敬 +1 位作者 刘敬伟 曾晓雁 《新技术新工艺》 2007年第6期72-74,共3页
预置层厚度和均匀性是影响激光微熔覆布线质量的关键因素,本文通过对旋转法匀胶工艺的系统研究,得出了温度和溶剂含量对导电浆料粘度的影响规律,并得出了预置层厚度控制的经验公式,给出了使预置层厚度均匀的最佳匀胶工艺,为激光微熔覆... 预置层厚度和均匀性是影响激光微熔覆布线质量的关键因素,本文通过对旋转法匀胶工艺的系统研究,得出了温度和溶剂含量对导电浆料粘度的影响规律,并得出了预置层厚度控制的经验公式,给出了使预置层厚度均匀的最佳匀胶工艺,为激光微熔覆柔性布线铺平了道路。 展开更多
关键词 激光微熔覆布线 匀胶工艺 预置层厚度 均匀性
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微粒的激光引导直写技术
13
作者 颜永年 陈立峰 +1 位作者 林峰 吴任东 《纳米科技》 2004年第5期-,共8页
基于激光引导直写的堆积成形技术可以操纵微米尺寸的材料微粒进行组装构成微结构。本文介绍了激光引导直写技术的相关原理和研究进展,同时结合实验结果对此操作过程做了探讨,最后对相关应用前景进行了展望。
关键词 激光引导直写 堆积 微制造 光力
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飞秒激光制备柔性电子器件进展 被引量:4
14
作者 廖嘉宁 张东石 李铸国 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2022年第2期44-61,共18页
消费电子市场正推动柔性电子器件向集成化、小型化及可穿戴的方向发展,同时也对柔性电子器件的制备提出了新的要求。光刻工艺加工精度高,但其成本昂贵、加工流程复杂且效率低。相比而言,飞秒激光加工兼有加工精度高和工艺流程简单的特点... 消费电子市场正推动柔性电子器件向集成化、小型化及可穿戴的方向发展,同时也对柔性电子器件的制备提出了新的要求。光刻工艺加工精度高,但其成本昂贵、加工流程复杂且效率低。相比而言,飞秒激光加工兼有加工精度高和工艺流程简单的特点,已展现在制备柔性电子器件方面的独特优势和应用前景。为了更好地了解这一新兴领域的进展,本文概述了与柔性电子器件制备相关的五种飞秒激光加工工艺机理,包括激光液相纳米材料合成、激光纳米材料还原、激光诱导纳米连接、激光电极图案化及激光表面织构化,并介绍了制备的典型柔性电子器件性能,对存在的问题和未来发展趋势进行了分析和展望。 展开更多
关键词 飞秒激光 微纳加工 柔性电子 纳米材料连接 纳米材料制备
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激光炭化制备功能化PI织物及其压阻传感性能研究 被引量:1
15
作者 孙浩瀚 于有海 +3 位作者 董杰 赵昕 张清华 王玉萍 《合成纤维工业》 CAS 2021年第4期1-7,共7页
以聚酰亚胺(PI)织物为基底,采用激光直写炭化法(DLWc)对织物进行刻画,制备具有不同形状和炭化程度的石墨烯/PI织物,并以石墨烯/PI织物制备不同类型的压阻传感器;探讨了激光功率和激光束扫描速度对石墨烯/PI织物导电性的影响,以及压阻传... 以聚酰亚胺(PI)织物为基底,采用激光直写炭化法(DLWc)对织物进行刻画,制备具有不同形状和炭化程度的石墨烯/PI织物,并以石墨烯/PI织物制备不同类型的压阻传感器;探讨了激光功率和激光束扫描速度对石墨烯/PI织物导电性的影响,以及压阻传感器的压阻传感能力。结果表明:在激光功率为7 W、激光束扫描速度为150 mm/s的条件下,石墨烯/PI织物具有良好的导电性,电阻可达5Ω左右,且能够保持PI织物原本的力学性能;制备的应力传感器具有良好的压阻传感性能,应变灵敏系数为4.51×10^(-7) Pa^(-1),响应时间达50 ms,其他类型传感器如肘部弯曲-回复循环传感器、指关节不同角度弯曲传感器和双层梳型交叉结构传感器在循环测试中均表现出良好压阻传感性能,并具有良好的稳定性与重复性,且在100℃高温下仍能维持其良好的传感性能。 展开更多
关键词 聚酰亚胺织物 激光直写炭化法 柔性传感器 应力传感器 压阻传感性能
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国外激光熔覆应用和直接熔覆金属零件及梯度材料制造 被引量:33
16
作者 张魁武 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2002年第9期1-4,共4页
列举了国外激光熔覆在飞机发动机叶片、汽轮机叶片、汽车排气阀座和模具等工业应用实例。
关键词 金属零件 激光熔覆 工业应用 激光制造 梯度材料 快速制造
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飞秒激光加工高频挠性板基材微孔研究
17
作者 陆慧娟 欧卓东 +3 位作者 黄兵 黄欣 王成勇 郑李娟 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2022年第8期1224-1230,共7页
为解决目前激光加工挠性覆铜板(简称挠性板)微孔存在的加工精度差、孔型差及热损伤大等问题,探索了飞秒激光加工高频挠性板基材⁃改性聚酰亚胺(MPI)微孔的材料去除过程及其加工质量。采用飞秒激光进行了改性聚酰亚胺微孔加工实验,使用热... 为解决目前激光加工挠性覆铜板(简称挠性板)微孔存在的加工精度差、孔型差及热损伤大等问题,探索了飞秒激光加工高频挠性板基材⁃改性聚酰亚胺(MPI)微孔的材料去除过程及其加工质量。采用飞秒激光进行了改性聚酰亚胺微孔加工实验,使用热重⁃红外联用系统分析了改性聚酰亚胺材料热解机理,并利用激光共聚焦显微镜、场发射扫描电镜对改性聚酰亚胺微孔形貌进行了三维测量、显微观察及物性分析。结果表明:改性聚酰亚胺在飞秒激光作用下发生光化学和光热反应,材料以宽而圆滑的弧形沟壑形式逐层被去除,并形成了波纹阶梯、颗粒物堆积等烧蚀显微结构;加工过程中材料烧蚀反应随加工圈数的增加而减弱;微孔深度的变化速率基本保持不变,材料去除量随加工圈数的增加而减小并在最后剧增;飞秒激光可实现改性聚酰亚胺基材表面高质量微孔加工。 展开更多
关键词 飞秒激光 高频挠性板 微孔 材料去除过程 加工质量
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面向激光微纳加工的柔性XY平台设计与分析
18
作者 曾昭和 高健 +2 位作者 汤晖 何思丰 陈创斌 《机械工程与自动化》 2017年第5期34-36,共3页
针对激光微纳加工设备中传统机械式的微位移机构运动方向单一而柔性铰链本身驱动又存在驱动位移小的问题,设计了一种柔性大行程完全解耦的XY微纳运动平台;推导了杠杆位移放大器的放大比率模型,通过粒子群优化算法对运动平台的尺寸进行... 针对激光微纳加工设备中传统机械式的微位移机构运动方向单一而柔性铰链本身驱动又存在驱动位移小的问题,设计了一种柔性大行程完全解耦的XY微纳运动平台;推导了杠杆位移放大器的放大比率模型,通过粒子群优化算法对运动平台的尺寸进行优化分析。运用ANSYS分析软件,对所设计平台的静力学、动力学性能进行分析。仿真结果表明:该平台具有良好的解耦特性,能够满足机构的两自由度运动解耦要求。 展开更多
关键词 激光加工 柔性铰链 微动平台 有限元分析 微纳加工
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利用激光微敷电子胶(LMCEP)在绝缘基板上直接制造电子元件
19
作者 蔡积庆(编译) 《印制电路信息》 2007年第11期41-45,共5页
概述了利用激光微敷电子胶(LMCEP)在玻璃、陶瓷和有机层压板之类的绝缘基板上直接制造电子元件和导线的新方法。采用计算机辅助设计/计算机辅助制造(CAD/CAM)能力和无须掩模的这种技术,成功地制造了具有不同图形的导电性金属线和电阻器。
关键词 电路板制造 激光直接写入(LDW) 激光微敷电子胶(LMCEP) 银导体 电子元件
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Imaging/nonimaging microoptical elements and stereoscopic systems based on femtosecond laser direct writing
20
作者 Long Huang Zhihan Hong +5 位作者 Qi-Dai Chen Yong-Lai Zhang Shaoqing Zhao Yongjun Dong Yu-Qing Liu Hua Liu 《Light(Advanced Manufacturing)》 2023年第4期207-233,共27页
The development of modern information technology has led to significant demand for microoptical elements with complex surface profiles and nanoscale surface roughness.Therefore,various micro-and nanoprocessing techniq... The development of modern information technology has led to significant demand for microoptical elements with complex surface profiles and nanoscale surface roughness.Therefore,various micro-and nanoprocessing techniques are used to fabricate microoptical elements and systems.Femtosecond laser direct writing(FsLDW)uses ultrafast pulses and the ultraintense instantaneous energy of a femtosecond laser for micro-nano fabrication.FsLDW exhibits various excellent properties,including nonlinear multiphoton absorption,high-precision processing beyond the diffraction limit,and the universality of processable materials,demonstrating its unique advantages and potential applications in three-dimensional(3D)micro-nano manufacturing.FsLDW has demonstrated its value in the fabrication of various microoptical systems.This study details three typical principles of FsLDW,several design considerations to improve processing performance,processable materials,imaging/nonimaging microoptical elements,and their stereoscopic systems.Finally,a summary and perspective on the future research directions for FsLDW-enabled microoptical elements and stereoscopic systems are provided. 展开更多
关键词 Femtosecond laser direct writing microoptical elements 3D printing micro/nano fabrication
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