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The glass roller cutter made of CVD diamond film
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作者 Chang Hsiao-Kuo Huang Jow-Lay Sung James C. 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2008年第S1期104-108,共5页
As a cutting tool,diamond films made by chemical vapor deposition(CVD) outperformed polycrystalline diamond(PCD) sintered under ultrahigh pressure.For example,the longevity of the CVD tools may be 2~5 times that of P... As a cutting tool,diamond films made by chemical vapor deposition(CVD) outperformed polycrystalline diamond(PCD) sintered under ultrahigh pressure.For example,the longevity of the CVD tools may be 2~5 times that of PCD inserts.In addition,the former cutting paths are strainghter with less chipping on the edge.However,there have been no report on CVD diamond films that were used as a roller scriber for splitting large glass panels.Our research demonstrated that the CVD diamond film could concentrate the energy in a smaller area(about 1/4),so the glass compressed by the tip of the diamond film was under a larger tensile stress in perpendicular to the direction of compression.The tensile stress then initiated the microcracks that were more in line with the direction of the compression. The reason that CVD diamond film could concentrate the compressive stress was due to its 100%diamond content.The high diamond content could allow the tip to be polished sharper.In contrast,the PCD cutting tip contained micro grains of cobalt that were softer than glass.As a result,the compressional stress was spreading out due to the larger area of contact.Consequently,the microcracks initiated at the PCD tip were random and they might not propagate along the direction of cutting. 展开更多
关键词 cvd diamond film Polycrystaliine diamond ROLLER cutters GLASS cutting
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CVD金刚石厚膜焊接刀具的制造及切削性能 被引量:26
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作者 张宏志 姚英学 +1 位作者 陈朔东 黄树涛 《工具技术》 北大核心 1997年第6期3-6,共4页
用于制造金属切削刀具的金刚石主要有四种类型:(1)天然单晶金刚石;(2)人工合成单晶金刚石;(3)聚晶金刚石复合片(PCD);(4)化学气相沉积(CVD)金刚石膜。近年来,随着CVD金刚石工艺的发展,CVD金刚石对具的应用越来越广泛... 用于制造金属切削刀具的金刚石主要有四种类型:(1)天然单晶金刚石;(2)人工合成单晶金刚石;(3)聚晶金刚石复合片(PCD);(4)化学气相沉积(CVD)金刚石膜。近年来,随着CVD金刚石工艺的发展,CVD金刚石对具的应用越来越广泛。CVD金刚石对具有两类:CVD金刚石薄膜涂层刀具和CVD金刚石厚膜焊接刀具。由于金刚石厚膜焊接刀具兼有单晶金刚石和金刚石薄膜涂层刀具的优点,从而具有广阔的应用前景。本文主要介绍金刚石厚膜的制备、厚膜刀具的制造及厚膜刀具的切削性能。 展开更多
关键词 刀具 金刚石膜 化学气相沉积 金属切削
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CVD金刚石厚膜刀具的研究进展与应用现状 被引量:13
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作者 匡同春 王晓初 +1 位作者 王成勇 刘正义 《金刚石与磨料磨具工程》 EI CAS 2000年第2期27-30,共4页
金刚石厚膜片是采用化学气相沉积的方法制备出来的一种金晶质多晶纯金刚石材料,其物理性能和天然金刚石非常接近,而化学性质则完全相同。本文对CVD金刚石厚膜刀具的研究进展、制各方法、性能特点。切削试验结果及应用前景进行了简要... 金刚石厚膜片是采用化学气相沉积的方法制备出来的一种金晶质多晶纯金刚石材料,其物理性能和天然金刚石非常接近,而化学性质则完全相同。本文对CVD金刚石厚膜刀具的研究进展、制各方法、性能特点。切削试验结果及应用前景进行了简要的综述。 展开更多
关键词 cvd 金刚石厚膜 机加工刀具 钎焊 切削功能
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CVD金刚石厚膜刀具及应用研究 被引量:6
4
作者 邓福铭 卢学军 +2 位作者 赵志岩 刘瑞平 李文铸 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2010年第2期29-34,共6页
热丝CVD法沉积金刚石厚膜为全晶质纯多晶金刚石材料,是制造切削刀具的理想材料。本文针对国内外CVD金刚石厚膜焊接刀具研究与应用中存在的关键技术问题,结合我所近期相关技术研究进展,重点介绍了其制造工艺及关键技术。
关键词 化学气相沉积(cvd) cvd金刚石厚膜 刀具
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CVD金刚石厚膜的制备及厚膜刀具制造技术 被引量:5
5
作者 张宏志 姚英学 +1 位作者 孙凤莲 李丹 《工具技术》 北大核心 1999年第11期8-10,共3页
分析了沉积参数对合成金刚石厚膜质量的影响,提出了采用燃焰法沉积高质量金刚石厚膜的合理参数,介绍了金刚石厚膜的激光切割、焊接及刃磨加工特性。
关键词 金刚石厚膜 切削 刀具 cvd 制备
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激光切割CVD金刚石膜的工艺研究 被引量:5
6
作者 严垒 吴飞飞 +2 位作者 邓煜恒 湛玉龙 马志斌 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2012年第5期6-9,14,共5页
利用Nd:YAG型金刚石精密激光切割机对表面经机械抛光的CVD金刚石膜进行切割,研究了激光焦点位置、重复频率、充电电压以及切割速率对切割面质量的影响,并利用扫描电子显微镜(SEM)、TR200型粗糙度仪和XJP-3C型金相显微镜对切割结果进行... 利用Nd:YAG型金刚石精密激光切割机对表面经机械抛光的CVD金刚石膜进行切割,研究了激光焦点位置、重复频率、充电电压以及切割速率对切割面质量的影响,并利用扫描电子显微镜(SEM)、TR200型粗糙度仪和XJP-3C型金相显微镜对切割结果进行了表征。研究表明:将激光焦点置于金刚石膜表面进行切割时,切割面锥度最小;切割面的粗糙度随着激光切割速率、重复频率的增加而减小;充电电压越高,切缝越宽;激光重复频率在80~100 Hz范围内,其变化对切缝宽度影响较小;切割2.7 mm厚的金刚石厚膜时,选取充电电压850 V,重复频率90 Hz,切割速率10 mm/min,能够达到高效率高质量的理想切割效果。 展开更多
关键词 激光 切割 cvd金刚石膜
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CVD金刚石薄膜涂层整体式刀具的制备与应用 被引量:17
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作者 沈彬 孙方宏 +2 位作者 张志明 沈荷生 郭松寿 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2011年第1期1-5,共5页
化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)金刚石薄膜具有硬度高、摩擦系数低、耐磨性强以及表面化学性能稳定等优异的机械及摩擦学性能,这使其在硬质合金工模具领域具有广阔的应用前景。本文采用热丝化学气相沉积法(hot filament c... 化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)金刚石薄膜具有硬度高、摩擦系数低、耐磨性强以及表面化学性能稳定等优异的机械及摩擦学性能,这使其在硬质合金工模具领域具有广阔的应用前景。本文采用热丝化学气相沉积法(hot filament chemical vapor deposition,HFCVD),在具有复杂形状的硬质合金整体式铣刀表面沉积了一层均匀、光滑的金刚石薄膜,并采用石墨以及碳化硅铝基增强复合材料作为工件材料对比考察了金刚石薄膜涂层铣刀和未涂层硬质合金铣刀的切削性能。铣削实验结果显示,在硬质合金整体式铣刀表面沉积一层CVD金刚石薄膜能够大幅提高铣刀的耐磨性,从而提高硬质铣刀的寿命。 展开更多
关键词 cvd金刚石薄膜 热丝cvd 金刚石薄膜涂层刀具 石墨 碳化硅铝基增强复合材料
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CVD金刚石刀具的研究进展与应用现状 被引量:5
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作者 赵志岩 邓福铭 +1 位作者 卢学军 徐国军 《工具技术》 2010年第2期8-11,共4页
金刚石膜是采用化学气相沉积的方法制备出来的一种全晶质多晶纯金刚石材料,是制造刀具的理想材料。本文对CVD金刚石涂层刀具与厚膜焊接刀具的研究进展与应用现状进行了简要的综述。
关键词 化学气相沉积(cvd) 金刚石涂层 金刚石厚膜 刀具
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CVD金刚石厚膜刀具切削性能的试验研究 被引量:4
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作者 邓福铭 于启勋 +1 位作者 李文铸 张竞敏 《工具技术》 北大核心 2002年第3期17-19,共3页
分析了CVD金刚石厚膜刀具材料的性能特点 ,对CVD金刚石厚膜车刀进行了精密切削和难加工复合材料切削试验 ,结果表明 :CVD金刚石厚膜刀具加工铝合金的表面粗糙度可达Ra0 0 5 μm ;切削难加工复合材料时刀具耐磨性和使用寿命明显优于硬... 分析了CVD金刚石厚膜刀具材料的性能特点 ,对CVD金刚石厚膜车刀进行了精密切削和难加工复合材料切削试验 ,结果表明 :CVD金刚石厚膜刀具加工铝合金的表面粗糙度可达Ra0 0 5 μm ;切削难加工复合材料时刀具耐磨性和使用寿命明显优于硬质合金刀具。 展开更多
关键词 试验研究 cvd 金刚石厚膜刀具 切削性能 表面粗糙度 耐磨性 使用寿命
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刀具表面CVD法金刚石薄膜剥离及其结合性能 被引量:3
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作者 周灵平 李绍禄 +1 位作者 李德意 孙心瑗 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期48-50,共3页
在硬质合金和Si3N4 陶瓷刀具表面采用热丝CVD法合成金刚石薄膜的结合性能具有明显差异。在沉积金刚石过程中 ,根据碳源通入系统中的时机不同 ,硬质合金表面容易形成石墨、WC等松散层 ,膜的结合性能变差 ,由于热应力大 ,在无外力作用下... 在硬质合金和Si3N4 陶瓷刀具表面采用热丝CVD法合成金刚石薄膜的结合性能具有明显差异。在沉积金刚石过程中 ,根据碳源通入系统中的时机不同 ,硬质合金表面容易形成石墨、WC等松散层 ,膜的结合性能变差 ,由于热应力大 ,在无外力作用下膜有时发生自动剥落现象 ;而Si3N4 陶瓷表面上金刚石膜具有良好结合性能。在压应力作用下 ,两衬底上的金刚石薄膜剥离过程也不同 ,硬质合金上膜直接以剥落形式失效 ,而Si3N4 上膜以产生裂纹及其扩展失效。 展开更多
关键词 金刚石薄膜 结合强度 失效 刀具材料 热丝cvd
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激光切割CVD金刚石厚膜的工艺研究 被引量:2
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作者 熊军 汪建华 +2 位作者 王传新 严朝辉 王亚 《工具技术》 北大核心 2007年第4期21-23,共3页
本文利用Nd:YAG激光器对0.4mm厚的CVD金刚石膜进行切割,用扫描电子显微镜(SEM)研究了激光脉冲能量、脉冲宽度和脉冲频率等工艺参数对金刚石厚膜切割的影响。研究结果表明,在脉冲电流高于200A和减小脉冲电流至150A、脉冲宽度为2ms时能一... 本文利用Nd:YAG激光器对0.4mm厚的CVD金刚石膜进行切割,用扫描电子显微镜(SEM)研究了激光脉冲能量、脉冲宽度和脉冲频率等工艺参数对金刚石厚膜切割的影响。研究结果表明,在脉冲电流高于200A和减小脉冲电流至150A、脉冲宽度为2ms时能一次性切透金刚石厚膜但切割断面存在许多微裂纹和缺陷。增大脉冲频率有利于提高切割断面的平整度;采用二次切割比一次切割可得到更为平整的切割断面,断面粗糙度Ra可达到1μm。 展开更多
关键词 激光 切割 cvd金刚石厚膜
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CVD金刚石膜激光打孔温度场有限元仿真 被引量:3
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作者 吴小军 左敦稳 +3 位作者 徐锋 王珉 何家源 袁佳晶 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期83-88,共6页
化学气相沉积金刚石膜是聚优异力学、电学、热学性能于一体的材料。金刚石激光打孔过程中存在特有的石墨化现象使得其温度场的分布有别于其他材料,因而,开展CVD金刚石膜激光打孔温度场研究对于理解热加工机理和进行参数优化具有重要的... 化学气相沉积金刚石膜是聚优异力学、电学、热学性能于一体的材料。金刚石激光打孔过程中存在特有的石墨化现象使得其温度场的分布有别于其他材料,因而,开展CVD金刚石膜激光打孔温度场研究对于理解热加工机理和进行参数优化具有重要的指导意义。本文首先建立了考虑金刚石石墨化过程的激光打孔热力学模型,根据有限元模型开展对CVD金刚石膜激光打孔有限元仿真研究,得到激光打孔温度场和金刚石石墨化的分布规律,并讨论激光能量、脉冲宽度、重复频率对单个脉冲去除量和石墨化程度的影响。仿真结果表明:单个脉冲平均去除量和石墨化程度均随着激光能量、脉冲宽度、重复频率的增加而增加,但激光能量的影响最为显著;当激光能量取0.5~1.6J,脉冲宽度取300~800ns,重复频率取30~60Hz时既可以得到很高的加工效率同时又可以获得热影响区域较小的加工效果。 展开更多
关键词 cvd金刚石膜 调QNd:YAG激光 打孔 温度场 有限元
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激光拉曼光谱在CVD金刚石薄膜质量表征中的应用 被引量:27
13
作者 匡同春 刘正义 《理化检验(物理分册)》 CAS 1997年第7期21-25,共5页
激光拉曼光谱是一种优异的、灵敏的、应用广泛的无损表征技术,对于评估碳物质(薄膜)质量及其键合状态,也是有效的手段.将它应用于CVD金刚石薄膜的质量表征时,不仅能确定该膜是晶态或非晶态,而且能确认膜内金刚石结构、石墨结构、非晶碳... 激光拉曼光谱是一种优异的、灵敏的、应用广泛的无损表征技术,对于评估碳物质(薄膜)质量及其键合状态,也是有效的手段.将它应用于CVD金刚石薄膜的质量表征时,不仅能确定该膜是晶态或非晶态,而且能确认膜内金刚石结构、石墨结构、非晶碳结构的存在,十分灵敏地反映碳的不同键合状态.借助标准线形函数(高斯函数、洛伦兹函数)的拟合分析,可以获得许多反映金刚石膜质量(结晶度、缺陷密度、纯度、内应力等)的有用信息. 展开更多
关键词 激光拉曼光谱 cvd 金刚石膜 残余应力 薄膜
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CVD金刚石厚膜刀具刃口半径研磨的实验研究 被引量:2
14
作者 王加春 刘志平 +1 位作者 杨育林 郭辉 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2008年第3期31-34,共4页
CVD金刚石膜具有与单晶金刚石相近的力学性能,是一种理想的高精度刀具材料。研磨是制作CVD金刚石厚膜高精度刀具的关键环节之一。本文针对与刀具刃口半径紧密相关的研磨工艺进行了一些研究工作。实验结果表明:研磨盘端面跳动控制在10μ... CVD金刚石膜具有与单晶金刚石相近的力学性能,是一种理想的高精度刀具材料。研磨是制作CVD金刚石厚膜高精度刀具的关键环节之一。本文针对与刀具刃口半径紧密相关的研磨工艺进行了一些研究工作。实验结果表明:研磨盘端面跳动控制在10μm以内,动态不平衡度控制在0.3 g.mm/kg以内,选择1μm以下的研磨粉粒度,研磨速度控制在20-30 m/s范围,金刚石厚膜刀具刃口半径可达80 nm,圆弧轮廓精度可以控制在0.5μm左右;车削加工LY12外圆和端面,表面粗糙度可达Ra0.02μm,达到镜面效果,可以替代同等精度的单晶金刚石刀具。 展开更多
关键词 cvd金刚石膜 刀具 研磨 刃口半径 刃口轮廓精度
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激光轴向偏焦法平整化CVD金刚石膜 被引量:1
15
作者 严垒 马志斌 +2 位作者 张璋 邓煜恒 王兴立 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期1916-1920,共5页
利用Nd:YAG型金刚石精密激光切割机,采用激光轴向偏焦法对化学气相沉积(CVD)法制备的金刚石膜表面进行扫描式平整化处理,利用扫描电子显微镜(SEM)、粗糙度仪和金相显微镜对平整化后的金刚石表面进行表征,研究了激光充电电压和焦点位置... 利用Nd:YAG型金刚石精密激光切割机,采用激光轴向偏焦法对化学气相沉积(CVD)法制备的金刚石膜表面进行扫描式平整化处理,利用扫描电子显微镜(SEM)、粗糙度仪和金相显微镜对平整化后的金刚石表面进行表征,研究了激光充电电压和焦点位置对扫描凹槽宽度和深度的影响,以及扫描间距对平整化效果的影响。研究结果表明:扫描凹槽宽度随激光充电电压的升高而增大;凹槽深度随激光充电电压的升高而增大,随偏焦量的增大而增大。激光轴向偏焦法对CVD金刚石膜进行平整化处理后,其粗糙度显著减小,利用氢等离子体对其表面进行刻蚀处理,能够有效去除表层石墨,从而达到理想的平整化效果。 展开更多
关键词 激光 轴向偏焦法 平整化 cvd金刚石膜
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CVD金刚石厚膜刀具材料研究进展 被引量:3
16
作者 邓福铭 李文铸 +1 位作者 齐仲甫 李亚军 《材料科学与工程》 CSCD 北大核心 2001年第2期103-106,共4页
本文对CVD金刚石厚膜刀具材料的制备技术及后加工工艺 。
关键词 cvd 金刚石厚膜 切割 钎焊 抛光 刀具材料 制备工艺 后加工技术
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干法刻蚀图形化CVD金刚石膜研究进展 被引量:2
17
作者 刘聪 汪建华 熊礼威 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2014年第2期29-35,共7页
CVD金刚石膜因其极高的强度和耐磨特性在微机电系统(MEMS)领域具有极好的应用前景,然而其极高的硬度和化学惰性又使其很难被加工成型,这极大地限制了CVD金刚石膜在MEMS领域的应用。本文主要介绍了近年来干法刻蚀图形化CVD金刚石膜的研... CVD金刚石膜因其极高的强度和耐磨特性在微机电系统(MEMS)领域具有极好的应用前景,然而其极高的硬度和化学惰性又使其很难被加工成型,这极大地限制了CVD金刚石膜在MEMS领域的应用。本文主要介绍了近年来干法刻蚀图形化CVD金刚石膜的研究进展,系统地分析了激光刻蚀,等离子体刻蚀,等离子体辅助固体刻蚀的原理及其各自优缺点,着重论述了国内外采用等离子体刻蚀CVD金刚石膜的研究现状。 展开更多
关键词 cvd金刚石膜 激光刻蚀 等离子体刻蚀 等离子体辅助固体刻蚀
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CVD金刚石涂层刀具在石墨加工中的应用 被引量:9
18
作者 魏莎莎 卢志红 《燕山大学学报》 CAS 2006年第5期403-406,共4页
CVD金刚石涂层是一种新型材料,相比于硬质合金具有更高的切削性能,适用于有色金属和非金属材料的切削加工。本文利用CVD金刚石涂层刀具和硬质合金刀具对石墨进行切削试验,将两种刀具寿命作比较,结果表明:CVD涂层刀具有高硬度、低摩擦系... CVD金刚石涂层是一种新型材料,相比于硬质合金具有更高的切削性能,适用于有色金属和非金属材料的切削加工。本文利用CVD金刚石涂层刀具和硬质合金刀具对石墨进行切削试验,将两种刀具寿命作比较,结果表明:CVD涂层刀具有高硬度、低摩擦系数、高耐磨和高导热的优异性能,与未涂层刀具相比,大幅提高了刀具的耐用度。 展开更多
关键词 cvd金刚石涂层刀具 硬质合金 切削性能 刀具耐用度
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CVD金刚石厚膜焊接刀具的试验研究 被引量:1
19
作者 王兵 梅军 +2 位作者 李力 季锡林 冉均国 《工具技术》 北大核心 2002年第2期12-14,共3页
提出一种制作CVD金刚石厚膜焊接刀具的新工艺。采用电子辅助化学气相沉积法 (EACVD)制备直径10 0mm、厚度 0 8~ 1mm的金刚石厚膜 ;通过对金刚石刀头表面进行金属化处理 (化学气相沉积W膜 ) ,改善了金刚石的耐高温性及与低熔点合金焊... 提出一种制作CVD金刚石厚膜焊接刀具的新工艺。采用电子辅助化学气相沉积法 (EACVD)制备直径10 0mm、厚度 0 8~ 1mm的金刚石厚膜 ;通过对金刚石刀头表面进行金属化处理 (化学气相沉积W膜 ) ,改善了金刚石的耐高温性及与低熔点合金焊料的浸润性 ,可在大气环境下实现金刚石刀头与刀架的焊接。车削试验结果表明 展开更多
关键词 金刚石厚膜 化学气相沉积 刀具 金属化处理 焊接
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基于CVD厚膜金刚石刀具的超声振动切削模具钢实验 被引量:1
20
作者 谢晓丹 李勇 +1 位作者 Duong Camvinh Ahmed Al-Zahrani 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2013年第5期464-472,共9页
采用化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)厚膜金刚石刀具进行模具钢超声振动切削实验.首先阐述刀具的材质特点,观测其刀尖微观形貌和切削刃截面轮廓.然后搭建了适应精密/超精密加工需求的超声振动切削实验装置,其中激振机构可... 采用化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)厚膜金刚石刀具进行模具钢超声振动切削实验.首先阐述刀具的材质特点,观测其刀尖微观形貌和切削刃截面轮廓.然后搭建了适应精密/超精密加工需求的超声振动切削实验装置,其中激振机构可稳定实现频率42.0 kHz、振幅峰峰值8~9μm的振动输出.通过切削无氧铜实验证明该超声振动切削装置工作有效、稳定后,选用AISI 420模具钢进行切削实验,研究切削工艺条件及切削用量对加工质量的影响,得到适用于CVD厚膜金刚石刀具的切削用量选取范围,对比研究发现超声振动切削在提升加工表面质量、减少金刚石刀具磨损方面均优于常规切削.本研究可使切削模具钢时的金刚石刀具磨损VB max由500~600μm减少至40μm,模具钢表面粗糙度R a由0.93μm改善至0.09μm.本研究为金刚石刀具超声振动切削模具钢的实用化积累工艺经验,并探索提供可行的技术实现途径. 展开更多
关键词 cvd厚膜金刚石刀具 超声振动切削 模具钢
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