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2-μm single longitudinal mode GaSb-based laterally coupled distributed feedback laser with regrowth-free shallow-etched gratings by interference lithography 被引量:8
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作者 杨成奥 张宇 +6 位作者 廖永平 邢军亮 魏思航 张立春 徐应强 倪海桥 牛智川 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第2期181-185,共5页
We report a type-I Ga Sb-based laterally coupled distributed-feedback(LC-DFB) laser with shallow-etched gratings operating a continuous wave at room temperature without re-growth process. Second-order Bragg gratings... We report a type-I Ga Sb-based laterally coupled distributed-feedback(LC-DFB) laser with shallow-etched gratings operating a continuous wave at room temperature without re-growth process. Second-order Bragg gratings are fabricated alongside the ridge waveguide by interference lithography. Index-coupled LC-DFB laser with a cavity of 1500 μm achieves single longitudinal mode continuous-wave operation at 20℃ with side mode suppression ratio(SMSR) as high as 24 dB.The maximum single mode continuous-wave output power is about 10 mW at room temperature(uncoated facet). A low threshold current density of 230 A/cm^2 is achieved with differential quantum efficiency estimated to be 93 mW/A. The laser shows a good wavelength stability against drive current and working temperature. 展开更多
关键词 laterally coupled distributed feedback laser lc-dfb interference lithography GASB second-order Bragg grating
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InAs/GaAs quantum dot laterally coupled distributed feedback lasers at 1.3μm
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作者 于文富 赵旭熠 +8 位作者 韩实现 杜安天 刘若涛 曹春芳 严进一 杨锦 黄华 王海龙 龚谦 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第1期80-84,共5页
We report the InAs/GaAs quantum dot laterally coupled distributed feedback(LC-DFB)lasers operating at room temperature in the wavelength range of 1.31μm.First-order chromium Bragg gratings were fabricated alongside t... We report the InAs/GaAs quantum dot laterally coupled distributed feedback(LC-DFB)lasers operating at room temperature in the wavelength range of 1.31μm.First-order chromium Bragg gratings were fabricated alongside the ridge waveguide to obtain the maximum coupling coefficient with the optical field.Stable continuous-wave single-frequency operation has been achieved with output power above 5 mW/facet and side mode suppression ratio exceeding 52 dB.Moreover,a single chip integrating three LC-DFB lasers was tentatively explored.The three LC-DFB lasers on the chip can operate in single mode at room temperature,covering the wavelength span of 35.6 nm. 展开更多
关键词 INAS quantum dot laterally coupled distributed feedback laser
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全息光刻制备LC-DFB及光栅刻蚀优化(英文) 被引量:3
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作者 李欢 杨成奥 +5 位作者 谢圣文 黄书山 柴小力 张宇 王金良 牛智川 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第2期140-143,153,共5页
成功制备出室温激射波长为2μm的Ga Sb基侧向耦合分布反馈量子阱激光器.采用全息曝光及电感耦合等离子体刻蚀技术制备二阶布拉格光栅.优化了光栅制备的刻蚀条件,并获得室温2μm单纵模激射.激光器输出光功率超过5 m W,最大边模抑制比达到... 成功制备出室温激射波长为2μm的Ga Sb基侧向耦合分布反馈量子阱激光器.采用全息曝光及电感耦合等离子体刻蚀技术制备二阶布拉格光栅.优化了光栅制备的刻蚀条件,并获得室温2μm单纵模激射.激光器输出光功率超过5 m W,最大边模抑制比达到24 d B. 展开更多
关键词 镓锑基 侧向耦合分布反馈 lc-dfb 全息光刻 二阶布拉格光栅
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锑化物中红外单模半导体激光器研究进展 被引量:3
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作者 杨成奥 谢圣文 +6 位作者 黄书山 袁野 张一 尚金铭 张宇 徐应强 牛智川 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第5期6-13,共8页
锑化物材料因为其天然的禁带宽度较小的优势,是2~4μm波段半导体光电材料和器件研究的理想体系。近年来,国内外在锑化物大功率半导体激光器方面的研究取得了很大的进展,实现了大功率单管、阵列激光器的室温工作。然而,由于锑化物材料与... 锑化物材料因为其天然的禁带宽度较小的优势,是2~4μm波段半导体光电材料和器件研究的理想体系。近年来,国内外在锑化物大功率半导体激光器方面的研究取得了很大的进展,实现了大功率单管、阵列激光器的室温工作。然而,由于锑化物材料与常见的半导体单模激光器制备工艺的不兼容性,只有少数几个研究单位和公司掌握了锑化物单模激光器的制备技术。文中介绍了锑化物单模激光器常用的侧向耦合分布反馈激光器的基本原理,分析了其设计的关键技术,回顾了锑化物单模激光器的设计方案和制备技术,并针对国内外锑化物单模激光器主要研究内容进行了总结。 展开更多
关键词 侧向耦合分布反馈激光器 lc-dfb 量子阱 GASB 二阶布拉格光栅
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1.3μm InAs/GaAs量子点侧向耦合浅刻蚀分布反馈激光器
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作者 李齐柱 伏霞 +6 位作者 张子旸 王旭 陈红梅 侯春彩 黄源清 郭春扬 闵嘉华 《上海大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2019年第4期472-483,共12页
为了简化工艺流程和减轻制备难度,提出了1.3μm分布反馈(distributed feedback,DFB)激光器的新型制作方法.该方法采用纯折射率侧向耦合(laterally coupled,LC)结构,将一阶光栅浅刻蚀在脊形波导两侧,避免了激光器材料的二次外延和光栅深... 为了简化工艺流程和减轻制备难度,提出了1.3μm分布反馈(distributed feedback,DFB)激光器的新型制作方法.该方法采用纯折射率侧向耦合(laterally coupled,LC)结构,将一阶光栅浅刻蚀在脊形波导两侧,避免了激光器材料的二次外延和光栅深刻蚀.采用非掺杂和p掺杂两种InAs/GaAs量子点(quantum dot,QD)样品来制备LC-DFB激光器.与采用传统方法制备的DFB激光器相比,非掺杂量子点LC-DFB激光器表现出了低的阈值电流,其值为1.12mA/量子点层;p掺杂量子点LC-DFB激光器表现出了较大的特征温度和斜率效率.在室温下,这种浅刻蚀的LC-DFB激光器实现了单纵模连续输出,边模抑制比(side mode suppression ratio,SMSR)高达51dB.同时,在不同的测试温度和注入电流下,这种激光器表现出了优良的波长稳定性.1.3μm浅刻蚀量子点LC-DFB激光器有望在远距离光纤通信领域实现巨大应用价值. 展开更多
关键词 分布反馈激光器 侧向耦合 浅刻蚀光栅 边模抑制比
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侧向耦合分布反馈半导体激光器光栅结构及耦合特性 被引量:2
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作者 李瑞冬 邹永刚 +3 位作者 田锟 王睿 范杰 兰云萍 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第12期1921-1927,共7页
耦合系数是评价分布反馈(DFB)半导体激光器光栅性能的重要参数。本文基于耦合波理论,结合数值模拟,研究了侧向耦合表面光栅结构参数对其耦合特性的影响。与矩形光栅侧向耦合脊波导结构对比,研究了对称梯形、错位梯形、对称结形、错位结... 耦合系数是评价分布反馈(DFB)半导体激光器光栅性能的重要参数。本文基于耦合波理论,结合数值模拟,研究了侧向耦合表面光栅结构参数对其耦合特性的影响。与矩形光栅侧向耦合脊波导结构对比,研究了对称梯形、错位梯形、对称结形、错位结形、双对称梯形和双对称结形六种特殊侧向微结构光栅,通过改变光栅侧壁纵向倾角、调整光栅的光学限制因子等途径,有效地实现了光栅的耦合系数调控。模拟分析了脊波导特殊侧向微结构光栅的占空比、脊宽、光栅侧向宽度等结构参数对耦合系数的影响,发现合理的结构参数能够有效地缓解耦合系数的波动,有助于减少工艺误差对耦合系数的影响。本工作为后续光栅结构设计与制备提供了理论依据。 展开更多
关键词 布拉格光栅 耦合系数 侧向耦合 分布反馈
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1880nm侧向耦合分布反馈激光器的研究
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作者 李欢 谢圣文 +4 位作者 张宇 柴小力 黄书山 王金良 牛智川 《应用激光》 CSCD 北大核心 2017年第5期727-731,共5页
完成1 880nm高阶锑化镓侧向耦合分布反馈半导体激光器的制备。采用侧向耦合(Lateral coupled)结构使得外延材料可以一次生长完成,避免了外延层中Al组分容易氧化的特性导致的二次外延生长困难的问题,采用接触式紫外光刻技术制备了高阶光... 完成1 880nm高阶锑化镓侧向耦合分布反馈半导体激光器的制备。采用侧向耦合(Lateral coupled)结构使得外延材料可以一次生长完成,避免了外延层中Al组分容易氧化的特性导致的二次外延生长困难的问题,采用接触式紫外光刻技术制备了高阶光栅,大大降低了激光器的制备成本,实现了室温1 880nm单模连续波长激射,最大输出功率14.5mW,波长随温度漂移速率0.000 5nm/mA。 展开更多
关键词 侧向耦合分布反馈激光器 lc-dfb 镓锑基激光器 高阶光栅
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