压电谐振式微悬臂梁气体传感器

介绍了压电谐振式微悬臂梁的设计、制作方法和作为质量传感器的工作原理,及其在空气质量检测上的应用。实验结果验证了设计方法正确,制作工艺可行。在特定敏感层的作用下,该传感器对氟利昂气体在500×10^(-6)范围内的响应呈指数衰减,在100×10^(-6)范围内呈线性响应,灵敏度达-0.002 4％×10~6,最小可测质量为3.5×10^(-9)g。