光谱连续的脉冲真空紫外（VUV）辐射源研究

报道了一种光谱连续的真空紫外辐射源的设计和特性研究。为提高其辐射强度，辐射源设计在高气压、短脉冲状态工作。实验测得当充氢０．２～０．９ＭＰａ、极距０．４～０．８ｍｍ时，辐射源击穿电压为４～１０ｋＶ，脉冲宽度１．２～２．２×１０￣（－７）ｓ．与充氢压强、极间距有关，用Ｍｅｅｋ的击穿判据，理论计算了击穿电压，用放电通道膨胀理论，计算了放电脉冲宽度，发现两者都与实验基本相符。真空紫外辐射源的轴向光谱辐亮度，用一事先标定好的真空紫外光谱探测系统测量，其连续光谱辐射主要在１４０～１６０ｎｍ和１７５～２００ｎｍ两个区间，来源于氢分子辐射，其最大积分轴向辐亮度可达１１ｍＷ／Ｓｒ·ｃｍ￣２。

真空紫外氙共振辐射源的研究

供研究的真空紫外(VUV)氙共振辐射源是一射频激发的、直径12mm长40mm的氦-氙放电等离子体.用四能级氙原子模型计算了氦-氙混合气不同比例和压强时的VUV输出特性,并用事先绝对标定的VUV探测系统测定了各种放电条件下的VUV输出.理论计算和实验测量符合较好.研究表明,在充气400Pa,含氙量2.5%时,此辐射源的VUV(λ=147.0nm)轴向亮度有最大值10W/(sr·m^2),即7.4×10^(17)个光子/(sr·m^2·s).