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基于UV-LED的平行光曝光系统设计
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作者 张博 刘琴 +1 位作者 谢思思 洪新华 《河南科技学院学报（自然科学版）》 2020年第1期59-64,共6页
为解决高压汞灯使用寿命短、光效低及对环境污染的问题,基于非成像光学理论,设计了一种UV-LED平行光曝光系统.系统采用节能环保、寿命长的UV-LED作光源,具有准平行光特性,照明均匀性好等优势.系统设计为:波长为紫外350~420 nm(文中选取3... 为解决高压汞灯使用寿命短、光效低及对环境污染的问题,基于非成像光学理论,设计了一种UV-LED平行光曝光系统.系统采用节能环保、寿命长的UV-LED作光源,具有准平行光特性,照明均匀性好等优势.系统设计为:波长为紫外350~420 nm(文中选取385 nm作为主波长),发射光平行半角不大于1.8°,曝光面的光照均匀性大于90%,光斑有效大小为560 mm*610 mm,可应用于线路板印刷等方面. 展开更多
关键词 UV-LED 均匀照度 曝光系统 光斑 光积分棒 光学扩展量
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