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Alkali desilicated coal fly ash as substitute of bauxite in lime-soda sintering process for aluminum production 被引量:13
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作者 白光辉 滕玮 +2 位作者 王香港 秦晋国 徐鹏 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第S1期169-175,共7页
By desilication treatment,the Al2O3/SiO2 molar ratio of coal fly ash could be improved to the range of 1.63-2.0.The desilicated coal fly ash(DSCFA)was enriched in alumina extraction.A processing technology was develop... By desilication treatment,the Al2O3/SiO2 molar ratio of coal fly ash could be improved to the range of 1.63-2.0.The desilicated coal fly ash(DSCFA)was enriched in alumina extraction.A processing technology was developed for alumina extraction from the DSCFA with the lime sintering process.Ca/(SiO2+TiO2)molar ratio,and NaO/Al2O3 molar ratio,sintering time,and temperature were the most significant parameters impacting on the aluminum extraction efficiency.The optima aluminum extraction efficiency was obtained under conditions of Ca/(SiO2+TiO2)molar ratio of 2.0,NaO/Al2O3 molar ratio of 0.98,and sintering at 1 200 ℃for 60 min.Astandard industrial dissolution method was used under conditions of caustic ratio(αk=n(NaO)/n(Al2O3)of 2.0,Al2O3 concentration of 50 g/L,sodium hydroxide concentration(Nk)of 60.78 g/L,Na2CO3 concentration of 10 g/L,temperature of 85℃, and dissolution duration of 10 min.The final aluminum extraction efficiency was 90%. 展开更多
关键词 coal fly ash alumina DESILICATION lime-soda sintering DISSOLUTION
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氧化锌对钠钙玻璃的抗菌性及工艺性能的影响
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作者 田英良 位喜鹏 +3 位作者 张清山 赵志永 李博 李帅 《玻璃搪瓷与眼镜》 CAS 2024年第10期21-27,共7页
采用高温熔融法制备钠钙玻璃,研究不同量的氧化锌对钠钙玻璃抗菌性和工艺性能的影响。采用贴膜法分析玻璃的抗菌性,测试包括表面张力、高温黏度和熔化澄清的工艺性能。结果表明:当氧化锌引入的质量分数大于3%时,玻璃对大肠杆菌和金黄色... 采用高温熔融法制备钠钙玻璃,研究不同量的氧化锌对钠钙玻璃抗菌性和工艺性能的影响。采用贴膜法分析玻璃的抗菌性,测试包括表面张力、高温黏度和熔化澄清的工艺性能。结果表明:当氧化锌引入的质量分数大于3%时,玻璃对大肠杆菌和金黄色葡萄球菌的抗菌性达到90%以上;氧化锌的引入降低了玻璃的表面张力和高温黏度,使高温玻璃熔体中气泡的排出速率增大,气泡数量减少,利于玻璃熔体澄清,适用于工艺生产。 展开更多
关键词 钠钙玻璃 氧化锌 抗菌性 透射比 工艺性能
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石灰-纯碱软化法在废水除硬单元的设计参数探讨
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作者 曹宗政 余文馨 +2 位作者 王森磊 叶思齐 何流 《冶金动力》 2024年第5期95-99,共5页
钢铁企业常规生产废水总硬度较高,为了避免硬度物质在废水回用或者后续处理过程中浓缩富集,发生结垢问题,可在预处理系统中采用石灰-纯碱软化法去除废水中硬度物质。在详细介绍某钢铁厂生产废水除硬单元设计要点的基础上,为避免系统结... 钢铁企业常规生产废水总硬度较高,为了避免硬度物质在废水回用或者后续处理过程中浓缩富集,发生结垢问题,可在预处理系统中采用石灰-纯碱软化法去除废水中硬度物质。在详细介绍某钢铁厂生产废水除硬单元设计要点的基础上,为避免系统结垢和污堵,对除硬机理、工艺设计、药剂选择及调试过程进行了深入分析。 展开更多
关键词 总硬度 除硬单元 药剂 石灰-纯碱软化法
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锆刚玉砖在超白及普通钠钙硅玻璃液中侵蚀分析
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作者 郭利波 《玻璃》 2024年第6期11-14,共4页
通过在实验室分别模拟了超白玻璃液和普通钠钙硅玻璃液对AZS33砖的动态侵蚀试验,即在相同温度、相同冲刷#速度和相同侵蚀时间的工况下,对电熔AZS33砖侵蚀量进行对比,分析得出由于超白玻璃液中铁含量较低,玻璃液的导热性好,玻璃液黏度低... 通过在实验室分别模拟了超白玻璃液和普通钠钙硅玻璃液对AZS33砖的动态侵蚀试验,即在相同温度、相同冲刷#速度和相同侵蚀时间的工况下,对电熔AZS33砖侵蚀量进行对比,分析得出由于超白玻璃液中铁含量较低,玻璃液的导热性好,玻璃液黏度低,在相同工况下对锆刚玉砖侵蚀更为严重。 展开更多
关键词 AZS33 超白玻璃 普通钠钙硅玻璃 玻璃液 动态侵蚀
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熔铸耐火材料抗盖板玻璃熔体侵蚀行为研究 被引量:1
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作者 司国栋 易帅 +9 位作者 邓丽娜 许谦 陈美娜 王长安 潘传才 林国伟 周吉 魏霞 薛飞 谢金莉 《硅酸盐通报》 CAS 北大核心 2023年第1期345-351,共7页
本文以熔铸耐火材料为研究对象进行抗盖板玻璃熔体侵蚀试验,采用化学分析、岩相分析和电子显微镜能谱分析等测试分析方法,对比研究钠钙玻璃熔体、高铝玻璃熔体和锂铝玻璃熔体对熔铸耐火材料的侵蚀行为。结果表明,玻璃熔体中的碱金属离... 本文以熔铸耐火材料为研究对象进行抗盖板玻璃熔体侵蚀试验,采用化学分析、岩相分析和电子显微镜能谱分析等测试分析方法,对比研究钠钙玻璃熔体、高铝玻璃熔体和锂铝玻璃熔体对熔铸耐火材料的侵蚀行为。结果表明,玻璃熔体中的碱金属离子向耐火材料中的玻璃相扩散,导致玻璃相黏度降低,同时耐火材料中刚玉相溶解,斜锆石分散,主体结构遭到破坏,并形成界面层。界面层内存在富铝含锆的玻璃相,由于高铝玻璃和锂铝玻璃氧化铝含量高,表面张力大,界面层内的玻璃相聚集在试样周围且扩散慢,从而阻止了侵蚀的发展。玻璃熔体的侵蚀速率为钠钙玻璃熔体>高铝玻璃熔体>锂铝玻璃熔体。 展开更多
关键词 钠钙玻璃 高铝玻璃 锂铝玻璃 熔铸耐火材料 抗侵蚀性能 扩散 微观形貌
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基于电渗析的煤化工废水深度处理研究 被引量:1
6
作者 李彦君 《山西化工》 CAS 2023年第12期195-198,共4页
为解决煤化工废水深度处理与回用中工艺流程长、处理成本高等问题,以某厂焦化废水为原水,通过分析原水中的成分,制定出一套基于电渗析的节能、低成本煤化工废水深度处理技术。针对废水水质,对唐山废水电渗析脱盐,工作电压为10 V时,具有... 为解决煤化工废水深度处理与回用中工艺流程长、处理成本高等问题,以某厂焦化废水为原水,通过分析原水中的成分,制定出一套基于电渗析的节能、低成本煤化工废水深度处理技术。针对废水水质,对唐山废水电渗析脱盐,工作电压为10 V时,具有适宜的脱盐速度、能耗以及COD脱除率,电流效率为89.2%,相应能耗1.03 kW·h/kg,料室COD下降到42 mg/L。通过核算,本工艺处理每吨水的成本约1元,比反渗透的处理费用有较大下降。 展开更多
关键词 煤化工废水 深度处理 石灰(纯碱)软化 臭氧催化氧化 电渗析
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化学沉淀法处理含^(90)Sr-^(90)Y闪烁废液的研究 被引量:1
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作者 史晨钟 徐卓 +4 位作者 杨柳 马妍 王定坤 刘明阳 李洪玉 《广东化工》 CAS 2023年第17期34-36,59,共4页
在对放射源的检验中需要使用液体闪烁计数器对其表面污染及泄漏指标进行测量,检验过程会产生含有^(90)Sr-^(90)Y的闪烁废液,该废液同时具有有机物与放射性物质两种属性,不易进行处理,成为亟待解决的问题。国内外对放射性有机废液的处理... 在对放射源的检验中需要使用液体闪烁计数器对其表面污染及泄漏指标进行测量,检验过程会产生含有^(90)Sr-^(90)Y的闪烁废液,该废液同时具有有机物与放射性物质两种属性,不易进行处理,成为亟待解决的问题。国内外对放射性有机废液的处理进行了诸多研究,虽得到一些解决方案,但都存在一定局限性,并不适用于放射源检验产生的闪烁废液的处理。本工作借助闪烁液能够与一定量水互溶的特性,采用多种化学沉淀法尝试对^(90)Sr-^(90)Y进行沉淀,分析了影响因素,并通过过滤将放射性沉淀与过滤后的闪烁液分离,实现对含有^(90)Sr-^(90)Y的闪烁废液进行去污及减容的目的,提出了一种处理放射性闪烁废液的新思路。 展开更多
关键词 ^(90)Sr-^(90)Y 闪烁废液 化学沉淀法 石灰苏打软化法
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钠钙玻璃的单磨粒变切深划擦表面完整性实验
8
作者 陈梦凯 滕琦 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2023年第6期693-697,共5页
以玻璃为代表的硬脆材料由于其高硬度、高脆性等特点,使其在加工过程中极易出现凹坑、脆性破碎及表面/亚表面裂纹等损伤,严重影响其使用性能和表面完整性。从单磨粒变切深划擦实验着手,研究在单磨粒划擦过程中速度变化对钠钙玻璃表面裂... 以玻璃为代表的硬脆材料由于其高硬度、高脆性等特点,使其在加工过程中极易出现凹坑、脆性破碎及表面/亚表面裂纹等损伤,严重影响其使用性能和表面完整性。从单磨粒变切深划擦实验着手,研究在单磨粒划擦过程中速度变化对钠钙玻璃表面裂纹生成与扩展以及表面完整性的影响。结果表明:单磨粒变切深划擦实验能够实现磨削过程中的划擦、耕犁、切削3个阶段,且随着划擦速度增加,钠钙玻璃发生脆-塑转换的临界深度增加,划痕形貌及划痕边缘光滑度提升。 展开更多
关键词 钠钙玻璃 单磨粒划擦 变切深划擦 表面完整性
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钠钙双碱法脱硫工艺改进探讨
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作者 周媛媛 高雪莹 陈浩 《山西化工》 CAS 2023年第6期89-90,93,共3页
为提高碳素企业烟气脱硫效率,降低企业环境投入成本,本文基于钠钙双碱脱硫的原理,分析实际应用中存在反应池容积小,过度添加NaOH等问题,提出装置提升为“三级反应池+清水池”,且建议吸收液pH保持在为8~9范围。
关键词 钠钙双碱脱硫 效率 反应池 PH
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氨碱法纯碱生产中对电石渣的循环利用探讨
10
作者 李明宇 《盐科学与化工》 CAS 2023年第8期10-12,共3页
青海盐湖镁业有限公司充分利用当地资源,建成集生态、环保、节能、减排为一体的循环经济产业链,处于物料循环利用尾端的纯碱厂,利用各分厂的产品及废物变废为宝生产纯碱,试生产阶段在整个物料循环未建起来的情况下介绍了电石法PVC厂的... 青海盐湖镁业有限公司充分利用当地资源,建成集生态、环保、节能、减排为一体的循环经济产业链,处于物料循环利用尾端的纯碱厂,利用各分厂的产品及废物变废为宝生产纯碱,试生产阶段在整个物料循环未建起来的情况下介绍了电石法PVC厂的电石渣在纯碱厂的局部循环利用,改变了石灰窑以石灰定产的限制,即增加了纯碱产量,又为后续整个物料的循环利用奠定的一定的基础。 展开更多
关键词 纯碱生产 电石渣 石灰窑 产量 循环利用
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石灰-纯碱软化/混凝预处理刁江河水 被引量:11
11
作者 谢祖芳 谭华颖 +1 位作者 朱万仁 晏全 《环境科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期72-74,共3页
采用石灰-纯碱软化/混凝的新方法对广西南丹刁江河水进行预处理,考察了澄清石灰水、纯碱、聚合氯化铝(PAC)和聚丙烯酰胺(PAM)的复合处理效果,确定了药剂的最佳投加量,提出了工艺流程设计新方案。试验结果表明,此方案对刁江河水硬度的预... 采用石灰-纯碱软化/混凝的新方法对广西南丹刁江河水进行预处理,考察了澄清石灰水、纯碱、聚合氯化铝(PAC)和聚丙烯酰胺(PAM)的复合处理效果,确定了药剂的最佳投加量,提出了工艺流程设计新方案。试验结果表明,此方案对刁江河水硬度的预处理能达到工业用水要求,可以解决矿区枯水期选矿用水不足的问题。 展开更多
关键词 石灰-纯碱软化 刁江河水 硬度 混凝
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应用裂纹控制法的钠钙玻璃YAG激光切割技术 被引量:8
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作者 杨立军 王懋露 +2 位作者 王扬 蔡娜 田中国 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2010年第3期512-515,520,共5页
针对目前对玻璃切割质量越来越高的需求,应用裂纹控制法进行了连续YAG激光切割钠钙玻璃的试验,分析了激光功率、激光扫描速度、激光光斑大小对切割质量的影响规律,得到了YAG激光切割钠钙玻璃平板的最佳切割参数。同时利用光学显微镜照... 针对目前对玻璃切割质量越来越高的需求,应用裂纹控制法进行了连续YAG激光切割钠钙玻璃的试验,分析了激光功率、激光扫描速度、激光光斑大小对切割质量的影响规律,得到了YAG激光切割钠钙玻璃平板的最佳切割参数。同时利用光学显微镜照片研究了玻璃切口表面的质量,对比了激光切割与机械法切割得到的玻璃切口质量,结果表明:采用裂纹控制法的玻璃YAG激光切割技术可以得到很好的切口质量,应用于高质量玻璃的加工。文中还进行了多层玻璃、管状玻璃以及平板玻璃曲线轨迹的YAG激光切割试验,为YAG激光切割玻璃的进一步应用提供了技术基础。 展开更多
关键词 钠钙玻璃 切割 YAG激光 裂纹控制法
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密闭救援空间内碱石灰去除二氧化碳效率影响因素分析 被引量:8
13
作者 栗婧 金龙哲 +1 位作者 汪声 徐洋 《煤炭学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期1819-1824,共6页
在矿用救生舱、载人航天器等有人应急生存或作业的有限空间内长时间生存,去除人体代谢产生的二氧化碳是保障人员生存的重要措施。碱石灰相比于其他吸附药剂具有吸附稳定性高、技术成熟、价格合理等特点,作为密闭救援空间空气净化的吸附... 在矿用救生舱、载人航天器等有人应急生存或作业的有限空间内长时间生存,去除人体代谢产生的二氧化碳是保障人员生存的重要措施。碱石灰相比于其他吸附药剂具有吸附稳定性高、技术成熟、价格合理等特点,作为密闭救援空间空气净化的吸附药剂具有无可替代的优点。但是救生舱等密闭救援空间由于受到灾变后特殊条件(外部动力中断及体积等因素)限定,要求碱石灰具有较高的吸附率和吸附速率。通过对市场粒径、组分、产品吸附率等条件的筛选,共选出6种碱石灰进行了不同组分、不同厚度、不同风速、不同温度及湿度下的吸附率影响因素试验,得到了碱石灰对二氧化碳吸附的最佳配比及在密闭救援空间内工作的最佳方式和最佳使用条件。结果表明:碱石灰在救生舱等密闭救援空间内使用条件、优化其成分配比、开发相关环境控制与生命保障技术装备提供了必要的数据支持及理论参考。 展开更多
关键词 密闭救援空间 救生舱 碱石灰 空气净化
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中国铝资源与高铝粉煤灰提取氧化铝研究进展 被引量:39
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作者 杨静 蒋周青 +4 位作者 马鸿文 苏双青 王明玮 李金洪 姚文贵 《地学前缘》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期313-324,共12页
针对中国铝土矿资源不足的状况,利用高铝粉煤灰生产氧化铝不仅有望缓解铝资源的不足,而且可减少粉煤灰对大气、水体的污染和大量土地资源的占用。高铝粉煤灰提取氧化铝技术主要包括酸法、碱法和酸碱联合法。采用碱法提取氧化铝技术,具... 针对中国铝土矿资源不足的状况,利用高铝粉煤灰生产氧化铝不仅有望缓解铝资源的不足,而且可减少粉煤灰对大气、水体的污染和大量土地资源的占用。高铝粉煤灰提取氧化铝技术主要包括酸法、碱法和酸碱联合法。采用碱法提取氧化铝技术,具有对设备腐蚀性小,与现有氧化铝生产设备相容性好,对水体和空气不产生二次污染等优势。与石灰石烧结法和预脱硅-碱石灰烧结法等代表性碱法技术相比,采用预脱硅-低钙烧结法制备氧化铝技术,处理物料总量、一次性资源消耗量和CO2排放量,分别减少22.1%~52.4%、24.6%~52.0%、20.0%~66.2%;综合耗能降低16.4%~36.3%;剩余硅钙固体排放量减少27.5%~71.5%。因此,预脱硅-低钙烧结法技术在物耗、能耗、环境相容性和产品方案等方面均有明显优势,符合高效节能和清洁生产的要求,有望实现高铝粉煤灰生产氧化铝的完全资源化利用。 展开更多
关键词 中国铝土矿 高铝粉煤灰 氧化铝 预脱硅 低钙碱石灰烧结
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还原气氛中碱石灰与高铁铝土矿间的作用机理 被引量:6
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作者 胡文韬 王化军 +4 位作者 孙传尧 何洋 季春伶 王翠玲 于宏东 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期662-668,共7页
针对高铁铝土矿的综合利用难题,研究了保温过程中碱石灰同高铁铝土矿以及纯碱和石灰之间的相互作用机理.试验表明,在还原气氛中,原矿中的赤铁矿几乎全部被还原为单质铁,但只有少部分氧化铝转化为铝酸钠,其余仍以铝硅酸钠和刚玉形式存在... 针对高铁铝土矿的综合利用难题,研究了保温过程中碱石灰同高铁铝土矿以及纯碱和石灰之间的相互作用机理.试验表明,在还原气氛中,原矿中的赤铁矿几乎全部被还原为单质铁,但只有少部分氧化铝转化为铝酸钠,其余仍以铝硅酸钠和刚玉形式存在,造成氧化铝和氧化钠的溶出率偏低.这是由于CaO活性较低,不能完全置换出铝硅酸钠中的Na2O和Al2O3.由于低活性石灰的稀释作用,在体系中的相对含量降低,纯碱与高铁铝土矿之间的相互作用减弱. 展开更多
关键词 高铁铝土矿 还原性气氛 碱石灰 直接还原
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陶瓷材料压痕韧性的统计性质 被引量:13
16
作者 龚江宏 关振铎 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期96-104,共9页
采用直接压痕法测定了钠钙硅酸盐玻璃和一种TiC 颗粒增强Al2O3复合材料的断裂韧性.研究表明,在同一压痕压制荷载下测得的同一种材料的压痕韧性呈现出较大离散性,可以采用Weibull分布加以较好地描述.对两种材料的试... 采用直接压痕法测定了钠钙硅酸盐玻璃和一种TiC 颗粒增强Al2O3复合材料的断裂韧性.研究表明,在同一压痕压制荷载下测得的同一种材料的压痕韧性呈现出较大离散性,可以采用Weibull分布加以较好地描述.对两种材料的试验数据的对比分析指出,压痕韧性测试值的离散性反映了材料显微结构的不均匀性对材料局部裂纹扩展阻力的影响.基于这一分析,本文建议采用直接压痕法测定材料断裂韧性时,应尽可能增大试验量,从而对压痕韧性测试结果的统计性质作出完整描述. 展开更多
关键词 断裂韧性 WEIBULL分布 钠钙硅酸盐玻璃 氧化铝 直接压痕法 碳化钛 陶瓷 复合材料 压痕韧性
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钠钙玻璃板激光热应力切割过程的有限元仿真 被引量:9
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作者 陶伟明 毕国丽 +1 位作者 章惠全 武藤睦治 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1423-1426,1460,共5页
为了使脆性材料板的激光热应力切割得以完成并提高切割质量,提出了一种切割过程的仿真方法.利用有限元法分析玻璃板在激光扫描过程中的瞬态热传导,求得瞬态温度场.按热弹性平面应力理论分析热应力场,并采用最大切向应力准则和节点松弛... 为了使脆性材料板的激光热应力切割得以完成并提高切割质量,提出了一种切割过程的仿真方法.利用有限元法分析玻璃板在激光扫描过程中的瞬态热传导,求得瞬态温度场.按热弹性平面应力理论分析热应力场,并采用最大切向应力准则和节点松弛法模拟板材的开裂.通过该仿真方法分析了钠钙玻璃板的切割过程,根据所导致的温度最高值和板材的开裂情况,研究了激光功率和激光扫描速度这两个关键参数对切割的影响,并给出了可完成连续切割的参数范围.仿真结果表明,该方法可以对激光功率和扫描速度等激光参数进行优化调节,从而改善切割的质量. 展开更多
关键词 激光切割 热应力 裂纹扩展 钠钙玻璃
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浮法超薄玻璃化学钢化及性能研究 被引量:15
18
作者 王沛钊 吴亚 +3 位作者 丁小叶 郭振强 栾晓波 袁坚 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期1622-1626,共5页
本文研究高铝超薄浮法玻璃与浮法钠钙硅玻璃的化学钢化过程。用全自动化学钢化玻璃表面应力测试仪、万能试验机和数显显微维氏硬度计分别测试了样品的表面应力、应力层深度、抗折强度和显微硬度。结果表明:在一定的温度下,随着离子交换... 本文研究高铝超薄浮法玻璃与浮法钠钙硅玻璃的化学钢化过程。用全自动化学钢化玻璃表面应力测试仪、万能试验机和数显显微维氏硬度计分别测试了样品的表面应力、应力层深度、抗折强度和显微硬度。结果表明:在一定的温度下,随着离子交换时间的增加,高铝超薄玻璃与浮法钠钙硅玻璃的表面应力、抗折强度、显微硬度均出现先增加再到减小的趋势,应力层深度则随着时间的增加而加深。在同样的离子交换制度下,高铝玻璃化学钢化后的力学性能优于钠钙硅玻璃。同时,以浮法工艺生产的玻璃锡面的表面应力小于非锡面的应力,应力层深度也相对小于非锡面的深度。 展开更多
关键词 浮法玻璃 钠钙硅玻璃 高铝玻璃 化学钢化 性能
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氟云母加入量对可加工氟闪石玻璃陶瓷反应析晶的影响 被引量:8
19
作者 章为夷 高宏 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第10期1396-1400,共5页
用X射线衍射、扫描电镜研究了不同加入量氟云母晶体的钠钙玻璃粉末在烧结过程中的反应析晶。结果表明:氟云母加入量小于20%(质量分数,下同)时,反应析晶形成透辉石;加入40%时形成氟闪石;加入60%时氟闪石和氟云母共存;加入80%时大部分氟... 用X射线衍射、扫描电镜研究了不同加入量氟云母晶体的钠钙玻璃粉末在烧结过程中的反应析晶。结果表明:氟云母加入量小于20%(质量分数,下同)时,反应析晶形成透辉石;加入40%时形成氟闪石;加入60%时氟闪石和氟云母共存;加入80%时大部分氟云母未反应,只有少量氟闪石形成。提出氟云母向透辉石和氟闪石转变的晶体学模型来解释上述结果。烧结过程中,玻璃中的Na2O和CaO通过扩散进入氟云母晶体,导致硅氧四面体平面网断裂,转变成链状结构。反应析晶的最终产物与进入氟云母晶体中的氧含量有关,决定于最终晶体中O和Si的摩尔比。 展开更多
关键词 氟云母 氟闪石 透辉石 反应析晶 钠钙玻璃
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钠钙玻璃上Mg_2Si薄膜的制备及其电学性质 被引量:4
20
作者 房迪 肖清泉 +3 位作者 廖杨芳 袁正兵 王善兰 吴宏仙 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第4期9-13,共5页
采用磁控溅射技术和退火工艺在钠钙玻璃衬底上制备了Mg_2Si半导体薄膜,研究了Mg膜厚度对Mg_2Si薄膜结构及其电学性质的影响。在钠钙玻璃上分别溅射两组相同厚度(175nm)的P-Si和N-Si膜,然后在其上溅射不同厚度Mg膜(240nm、256nm、272nm、... 采用磁控溅射技术和退火工艺在钠钙玻璃衬底上制备了Mg_2Si半导体薄膜,研究了Mg膜厚度对Mg_2Si薄膜结构及其电学性质的影响。在钠钙玻璃上分别溅射两组相同厚度(175nm)的P-Si和N-Si膜,然后在其上溅射不同厚度Mg膜(240nm、256nm、272nm、288nm、304nm),低真空退火4h制备一系列Mg_2Si半导体薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、霍尔效应测试仪对Mg_2Si薄膜的晶体结构、表面形貌、电学性质进行表征与分析。结果表明:采用磁控溅射技术在钠钙玻璃衬底上成功制备出以Mg_2Si(220)为主的Mg_2Si薄膜。随着沉积Mg膜厚度的增加,Mg_2Si衍射峰逐渐增强,薄膜表面更连续,电阻率逐渐减小,霍尔迁移率逐渐降低,载流子浓度逐渐增加。此外,Si膜导电类型和Mg膜厚度共同影响Mg_2Si薄膜的导电类型。溅射N-Si膜时,Mg_2Si薄膜的导电类型随着Mg膜厚度的增加由P型转化为N型;溅射P-Si膜时,Mg_2Si薄膜的导电类型为P型。可以控制制备的Mg_2Si半导体薄膜的导电类型,这对Mg_2Si薄膜的器件开发有着重要的指导意义。 展开更多
关键词 钠钙玻璃 Mg2Si薄膜 膜厚 磁控溅射
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