线性压电马达的动态模拟与性能评估

提出了一个模拟线性压电马达运动特性的动态模型.该模型考虑了马达压电元件的运动顺序,将压电马达视为一个具有变接触刚度与变阻尼系数的两自由度动态系统.其本构方程考虑了压电元件的机-电耦合效应.该模型使用Co-quad图、波特图和根轨迹图进行表述以及实验验证.结果表明,该模型能够预测线性压电马达的运动特性,并可用于改进或设计新的线性压电马达.性能评估表明,实验中使用的线性压电马达具有5 nm的分辨率、20 mm/s的行走速度以及220 N的驱动力。