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圆刻机智能控制系统
1
作者
陈林
叶林
《光学仪器》
1993年第4期16-20,共5页
应用计算机技术,对圆计量光栅刻划过程的自动控制进行研究,介绍了微机控制细分刻划的原理和该智能控制系统的结构。并且叙述了多种任意等分光栅盘的刻划方法。
关键词
任意等分
圆光栅
光刻机
控制系统
下载PDF
职称材料
题名
圆刻机智能控制系统
1
作者
陈林
叶林
机构
上海机械学院
出处
《光学仪器》
1993年第4期16-20,共5页
文摘
应用计算机技术,对圆计量光栅刻划过程的自动控制进行研究,介绍了微机控制细分刻划的原理和该智能控制系统的结构。并且叙述了多种任意等分光栅盘的刻划方法。
关键词
任意等分
圆光栅
光刻机
控制系统
Keywords
Arbitrarily Equating,
subdivision
al Unit, Separated—phase,
linear
Scaled Unit.
分类号
TH741.6 [机械工程—光学工程]
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作者
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1
圆刻机智能控制系统
陈林
叶林
《光学仪器》
1993
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