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Structure and Optical Properties of ZnO Thin Films Prepared by the Czochralski Method
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作者 MA Zhanhong REN Fengzhang YANG Zhouya 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2022年第5期823-828,共6页
The zinc oxide seed film was coated on conductive glass (FTO) substrate by the Czochralski method,Zinc acetate and hexamethylenetetramine were used as raw materials to prepare growth solution,and then ZnO film was pre... The zinc oxide seed film was coated on conductive glass (FTO) substrate by the Czochralski method,Zinc acetate and hexamethylenetetramine were used as raw materials to prepare growth solution,and then ZnO film was prepared by a low-temperature solution method.The effects of annealing temperature on the morphology,structure,stress and optical properties of ZnO films were studied.The thin films were characterized by X-ray diffraction (XRD),scanning electron microscopy (SEM),UV-visible absorption spectra (UV-vis),photoluminescence (PL) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS).The results show that the films are ZnO nanorods.With the increase of annealing temperature,the diameter of the rod increases,and the nanorods tend to be oriented.The band gap of the sample obtained from the light absorption spectra first increases and then decreases with the increase of annealing temperature.When the annealing temperature is 350 ℃,the crystallinity of zinc oxide film is the highest,the band gap is close to the theoretical value of pure ZnO. 展开更多
关键词 czochralski method ZnO film annealing temperature optical properties MICRO-MORPHOLOGY internal stress
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Study Coefficient and Optical Application of KCI Single Crystal with Sn Impurity Growth on Czochralski Method under Visible Radiation
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作者 Feridoun Samavat Ebrahim Haji Ali Somayeh Solgi 《材料科学与工程(中英文A版)》 2012年第12期799-802,共4页
关键词 可见光辐射 光学系数 杂质 SN 提拉法 系数和 晶体生长 单晶
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硅酸钛钡高温压电晶体及其传感器件研究进展
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作者 李亚楠 彭向康 +2 位作者 姜超 赵显 于法鹏 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第9期1-10,共10页
压电材料作为重要的功能材料,由其制备的结构健康检测器件已被广泛应用于国民经济的诸多领域。随着现代工业技术特别是航空航天、核电能源和智能制造等的发展,各类高温工况环境对压电材料的性能提出了更高的要求,因此研制综合性能优异... 压电材料作为重要的功能材料,由其制备的结构健康检测器件已被广泛应用于国民经济的诸多领域。随着现代工业技术特别是航空航天、核电能源和智能制造等的发展,各类高温工况环境对压电材料的性能提出了更高的要求,因此研制综合性能优异的高温压电材料并将其应用到具有更高服役温度的传感器件中受到了研究者的广泛关注。硅酸钛钡(Ba_(2)TiSi_(2)O_(8),BTS)晶体具有较高的电阻率、较低的介电损耗和优良的压电性能,是一种具有良好应用前景的高温压电单晶材料。本文主要介绍了BTS晶体的提拉法生长制备工艺、单晶电弹性能表征、材料相变调控以及采用该晶体为核心元件研制的声表面波传感器和高温振动传感器的研究进展,最后对新型高温压电晶体及其传感器件的研发进行了总结和展望。 展开更多
关键词 硅酸钛钡晶体 提拉法 晶体生长 相变调控 高温压电传感器
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直拉法单晶硅生长原理、工艺及展望
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作者 王正省 任永生 +5 位作者 马文会 吕国强 曾毅 詹曙 陈辉 王哲 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第9期1-13,共13页
碳达峰、碳中和理念提出后,太阳能作为一种可再生绿色能源备受关注。单晶硅作为主要的光伏材料,其质量决定着太阳能电池效率的高低,为了降低成本和提高产能,人们对单晶硅提出越来越高的要求。直拉法(CZ法)是单晶硅的主要制备方法,其生... 碳达峰、碳中和理念提出后,太阳能作为一种可再生绿色能源备受关注。单晶硅作为主要的光伏材料,其质量决定着太阳能电池效率的高低,为了降低成本和提高产能,人们对单晶硅提出越来越高的要求。直拉法(CZ法)是单晶硅的主要制备方法,其生产效率高,可实现自动化,直拉单晶硅市场占比超过90%,目前正朝着大尺寸、N型、薄片化、低氧低碳的方向发展。然而随着晶棒尺寸增大,热场变化更加复杂,现有CZ工艺难以满足市场需求。未来降低度电成本仍是晶硅光伏发展的驱动力,应通过技术革新、产业标准化、成本控制等手段推动光伏产业发展。本文介绍了CZ法生长单晶硅的基本原理和生长工艺,分别对缺陷控制、热场优化、氧含量控制等进行了分析,在总结工艺现状和单晶生长特点的基础上对直拉法生长单晶硅的发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 直拉法 单晶硅 大尺寸 薄片化 热场 太阳能
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含镓石榴石系列大晶格常数磁光衬底单晶研究进展
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作者 李泓沅 孙敦陆 +3 位作者 张会丽 罗建乔 权聪 程毛杰 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第10期1657-1668,共12页
近年来,光通信技术与集成电子器件飞速发展,以稀土铁石榴石(RIG)为代表的磁光薄膜被视为应用于近红外通信窗口最具潜力的磁光材料。为了尽量减小磁光薄膜在制备过程中相关性能受到的影响,衬底材料的选择成为关键。制备RIG磁光薄膜通常采... 近年来,光通信技术与集成电子器件飞速发展,以稀土铁石榴石(RIG)为代表的磁光薄膜被视为应用于近红外通信窗口最具潜力的磁光材料。为了尽量减小磁光薄膜在制备过程中相关性能受到的影响,衬底材料的选择成为关键。制备RIG磁光薄膜通常采用Si类及石榴石氧化物类作为衬底材料。RIG磁光薄膜的晶格常数一般在12.4左右,含镓类石榴石氧化物单晶衬底基片与其晶格常数相近,具有大晶格常数特性,是其合适的衬底材料之一。但是,由于原料氧化镓高温易挥发,使含镓类石榴石单晶制备成为一直以来关注和讨论的热点。深入研究含镓类石榴石衬底单晶有望促进新一代磁光器件的发展。本文综述了在含镓类石榴石系列单晶中,氧化物磁光衬底单晶的研究进展,总结了本团队在该类晶体生长、晶体结构、关键参数等方面的研究工作,展望了该类晶体的研究发展趋势。 展开更多
关键词 晶体生长 磁光衬底 含镓石榴石晶体 提拉法 晶格常数
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用Czochralski方法生长KMgF_3晶体的研究 被引量:2
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作者 张万松 徐孝镇 +2 位作者 孙为 周广刚 冯金波 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期725-728,共4页
先把KF和MgF2以1∶1摩尔比混合后在Ar气体环境中650℃的恒温下烧结成KMgF3化合物。然后仍在Ar气体环境中用Czochralski方法生长了KMgF3∶Cr2+、KMgF3∶Eu2+、KMgF3∶Sm2+等无色、透明的优质单晶体。并分析了能够成功地生长优质氟化物晶... 先把KF和MgF2以1∶1摩尔比混合后在Ar气体环境中650℃的恒温下烧结成KMgF3化合物。然后仍在Ar气体环境中用Czochralski方法生长了KMgF3∶Cr2+、KMgF3∶Eu2+、KMgF3∶Sm2+等无色、透明的优质单晶体。并分析了能够成功地生长优质氟化物晶体的各个关键环节。 展开更多
关键词 czochralski方法 KMgF3晶体 Ar气体环境
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8英寸铌酸锂晶体生长研究
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作者 孙德辉 韩文斌 +2 位作者 李陈哲 彭立果 刘宏 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第3期434-440,共7页
铌酸锂单晶薄膜(LNOI)在新一代信息技术中关键通信器件领域的作用日益显著,随着铌酸锂单晶薄膜制备技术和光子集成技术的发展,降低芯片成本、增加芯片集成度是光子集成芯片永恒不变的发展方向,因此迫切需求大尺寸铌酸锂晶体。本文讨论... 铌酸锂单晶薄膜(LNOI)在新一代信息技术中关键通信器件领域的作用日益显著,随着铌酸锂单晶薄膜制备技术和光子集成技术的发展,降低芯片成本、增加芯片集成度是光子集成芯片永恒不变的发展方向,因此迫切需求大尺寸铌酸锂晶体。本文讨论了大尺寸坩埚中熔体自然对流随着液面下降的变化规律,研究了8英寸(1英寸=2.54 cm)铌酸锂Z轴、X轴两个提拉方向的生长特点,获得等径尺寸大于φ210 mm×50 mm的8英寸Z轴、X轴铌酸锂晶体。1 mm厚X轴铌酸锂晶圆的透过率显示波长380~3 300 nm光谱的透过率超过了70%,晶片纹影图像显示晶体中存在折射率脉理缺陷。 展开更多
关键词 铌酸锂 8英寸 自然对流 提拉法 折射率脉理
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大尺寸优质Cr^(3+)∶BeAl_(2)O_(4)晶体生长与性能研究
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作者 王鸿雁 王世武 +5 位作者 聂奕 张行愚 张芳 许辉 李瑞茂 匡永飞 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第6期947-952,共6页
本文采用感应加热提拉法结合上称重自动控径技术,成功生长出大尺寸、高质量的翠绿宝石(Cr^(3+)∶BeAl_(2)O_(4))晶体。晶坯等径圆柱体尺寸达到ϕ70 mm×140 mm,晶坯质量超过2800 g。通过冷光源照射晶坯,发现晶坯中心区域ϕ10~15 mm存... 本文采用感应加热提拉法结合上称重自动控径技术,成功生长出大尺寸、高质量的翠绿宝石(Cr^(3+)∶BeAl_(2)O_(4))晶体。晶坯等径圆柱体尺寸达到ϕ70 mm×140 mm,晶坯质量超过2800 g。通过冷光源照射晶坯,发现晶坯中心区域ϕ10~15 mm存在气泡。采用5 mW绿光激光照射ϕ8 mm×130 mm的翠绿宝石晶体棒,晶体内部无散射颗粒。利用Zygo激光平面干涉仪对晶体棒进行测试,波前畸变为0.3λ@632.8 nm。用电感耦合等离子体原子发射光谱法测定了翠绿宝石晶体的铬离子掺杂浓度,并计算出轴向浓度梯度为0.5×10^(-4)~1.9×10^(-4)cm^(-1)(摩尔分数)。用Perkin Elmer Lambda-950紫外可见近红外分光光度计测试了不同掺杂浓度的翠绿宝石晶体在室温下的吸收光谱,并计算了吸收系数。这些研究结果为翠绿宝石晶体的应用提供了重要的基础数据。 展开更多
关键词 翠绿宝石(Cr^(3+)∶BeAl_(2)O_(4))晶体 提拉法 自动控径技术 波前畸变 浓度梯度 吸收系数
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物性参数对硅单晶Czochralski生长过程的影响
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作者 李友荣 魏东海 +2 位作者 余长军 彭岚 吴双应 《热科学与技术》 CAS CSCD 2006年第4期351-355,共5页
为了了解硅单晶C zochra lsk i(C z)法生长时物性参数对熔体流动和氧传输过程的影响,利用有限元法对炉内的传递过程进行了全局数值模拟,假定熔体和气相中的流动都为准稳态轴对称层流,熔体为不可压缩流体,C z炉外壁温度维持恒定。结果表... 为了了解硅单晶C zochra lsk i(C z)法生长时物性参数对熔体流动和氧传输过程的影响,利用有限元法对炉内的传递过程进行了全局数值模拟,假定熔体和气相中的流动都为准稳态轴对称层流,熔体为不可压缩流体,C z炉外壁温度维持恒定。结果表明:熔体的导热系数及发射率对熔体流动、加热器功率、结晶界面形状、晶体内轴向温度梯度和氧浓度有重要影响,而熔体的密度、黏度系数及熔解热对硅单晶C z法生长过程影响较小。 展开更多
关键词 传热传质 直拉法 热物性参数 数值模拟
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Determination of Ge content in high concentration Ge-doped Czochralski Si single crystals by FTIR 被引量:1
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作者 JIANG Zhongwei ZHANG Weilian NIU Xinhuan 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2005年第3期226-228,共3页
SiGe single crystals with different Ge concentrations were measured by Fourier transform infrared (FTIR) spectroscopy at room temperature (RT) and 10 K. A new peak appears at the wave number of 710 cm^-1 and the s... SiGe single crystals with different Ge concentrations were measured by Fourier transform infrared (FTIR) spectroscopy at room temperature (RT) and 10 K. A new peak appears at the wave number of 710 cm^-1 and the spectroscopy becomes clearer with an increase in Ge content. The absorption strength and wave sharp of the 710 cm^-1 peak are independent of temperature. The relation of the absorption coefficient amax, the band width of half maximum (BWHM) Wit2 of the 710 cm^-1 peak, and the Ge concentration is determined with the Ge content obtained by SEM-EDX. The conversion factor is k = 1.211 at 10 K. Therefore, the Ge content in high concentration Ge doped CZ-Si single crystals can be determined by FTIR. 展开更多
关键词 SiGe single crystal Ge content FTIR czochralski method
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Radiative Heat Transfer and Thermocapillary Effects on the Structure of the Flow during Czochralski Growth of Oxide Crystals
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作者 Reza Faiez Yazdan Rezaei 《Advances in Chemical Engineering and Science》 2015年第3期389-407,共19页
A numerical study was carried out to describe the flow field structure of an oxide melt under 1) the effect of internal radiation through the melt (and the crystal), and 2) the impact of surface tension-driven forces ... A numerical study was carried out to describe the flow field structure of an oxide melt under 1) the effect of internal radiation through the melt (and the crystal), and 2) the impact of surface tension-driven forces during Czochralski growth process. Throughout the present Finite Volume Method calculations, the melt is a Boussinnesq fluid of Prandtl number 4.69 and the flow is assumed to be in a steady, axisymmetric state. Particular attention is paid to an undulating structure of buoyancy-driven flow that appears in optically thick oxide melts and persists over against forced convection flow caused by the externally imposed rotation of the crystal. In a such wavy pattern of the flow, particularly for a relatively higher Rayleigh number , a small secondary vortex appears nearby the crucible bottom. The structure of the vortex which has been observed experimentally is studied in some details. The present model analysis discloses that, though both of the mechanisms 1) and 2) end up in smearing out the undulating structure of the flow, the effect of thermocapillary forces on the flow pattern is distinguishably different. It is shown that for a given dynamic Bond number, the behavior of the melt is largely modified. The transition corresponds to a jump discontinuity in the magnitude of the flow stream function. 展开更多
关键词 Numerical Simulation Fluid FLOW RADIATIVE Heat Transfer THERMOCAPILLARY Forces czochralski method OXIDES
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Er^(3+),Yb^(3+)∶Ba_(3)Gd(PO_(4))_(3)晶体的生长、光谱和1.5μm激光性能 被引量:1
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作者 黄建华 吴杰 +3 位作者 黄艺东 林炎富 龚兴红 陈雨金 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第7期1286-1295,共10页
采用提拉法生长了1.85%Er,23.95%Yb∶Ba_(3)Gd(PO_(4))_(3)和1.95%Er,55.73%Yb∶Ba_(3)Gd(PO_(4))_(3)两种晶体(式中Er、Yb浓度为原子数分数)。测量并分析了晶体在室温下的吸收系数谱、上转换荧光谱、发射截面谱、增益截面谱和荧光衰减... 采用提拉法生长了1.85%Er,23.95%Yb∶Ba_(3)Gd(PO_(4))_(3)和1.95%Er,55.73%Yb∶Ba_(3)Gd(PO_(4))_(3)两种晶体(式中Er、Yb浓度为原子数分数)。测量并分析了晶体在室温下的吸收系数谱、上转换荧光谱、发射截面谱、增益截面谱和荧光衰减曲线。1.85%Er,23.95%Yb∶Ba_(3)Gd(PO_(4))_(3)晶体在峰值荧光波长1537 nm处的发射截面、Er^(3+)的4 I 13/2多重态荧光寿命和Yb^(3+)→Er^(3+)的能量传递效率分别为0.54×10^(-20)cm^(2)、9.9 ms和90%;1.95%Er,55.73%Yb∶Ba_(3)Gd(PO_(4))_(3)晶体在峰值荧光波长1537 nm处的发射截面、Er^(3+)的4 I 13/2多重态荧光寿命和Yb^(3+)→Er^(3+)的能量传递效率则分别为0.58×10^(-20)cm^(2)、9.7 ms和93%。基于975 nm半导体激光端面泵浦,在1.85%Er,23.95%Yb∶Ba_(3)Gd(PO_(4))_(3)晶体中实现了97 mW最高功率和27.1%斜效率的1567 nm连续激光输出,在1.95%Er,55.73%Yb∶Ba_(3)Gd(PO_(4))_(3)晶体中实现了93 mW最高功率和17.1%斜效率的1567 nm连续激光输出。 展开更多
关键词 人眼安全1.5μm激光 激光晶体 Er^(3+) Yb^(3+)∶Ba_(3)Gd(PO_(4))_(3)晶体 提拉法 光谱性能 连续激光性能
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Gd_(3)(Al,Ga)_(5)O_(12):Ce晶体生长与闪烁性能研究
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作者 王海丽 李辉 +5 位作者 周南浩 石爽爽 苏健 张微 陈建荣 黄存新 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第12期2156-2160,共5页
掺铈钆铝镓石榴石(Gd_(3)(Al,Ga)_(5)O_(12)∶Ce,简称GAGG∶Ce)闪烁晶体是近年来发现的一种新型稀土闪烁晶体,具有光输出高、能量分辨率高、衰减时间短、无自辐射和不潮解等优点,在核医学成像、安检和环境监测等领域具有广阔的应用前景... 掺铈钆铝镓石榴石(Gd_(3)(Al,Ga)_(5)O_(12)∶Ce,简称GAGG∶Ce)闪烁晶体是近年来发现的一种新型稀土闪烁晶体,具有光输出高、能量分辨率高、衰减时间短、无自辐射和不潮解等优点,在核医学成像、安检和环境监测等领域具有广阔的应用前景。本文报道了GAGG∶Ce晶体的提拉法生长与闪烁性能表征。利用高温固相反应法合成GAGG∶Ce原料,采用XRD对合成的原料进行了物相分析,结果表明,在1500℃下煅烧12 h合成的多晶料为纯GAGG相。利用提拉法生长出尺寸φ50 mm×90 mm的GAGG∶Ce晶体,测试了其透过光谱、X射线激发发射光谱和脉冲高度谱,结果表明,7 mm厚样品550 nm的透过率为81.5%,晶体X射线激发发射峰中心波长位于550 nm,晶体的光输出为59000 photons/MeV,能量分辨率为6.2%@662 keV,晶体衰减时间快分量为149 ns,慢分量为748 ns。 展开更多
关键词 GAGG∶Ce 闪烁晶体 高温固相反应法 提拉法 闪烁性能
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Pr_3Co单晶的Czochralski pulling法制备研究
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作者 路莹 路庆凤 +1 位作者 梅原出 佐藤清雄 《洛阳师专学报(自然科学版)》 1999年第5期19-21,共3页
笔者对用Czochralskipulling法制备Pr_3Co单晶的生长条件进行了研究,首次用此法成功地制备了Pr_3Co单晶,为研究其物理特性提供了必要条件。
关键词 Pr3Co单晶 czochralskiPulling法 制备
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42°Y钽酸锂晶体生长及性能研究 被引量:3
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作者 于明晓 龙勇 +3 位作者 石自彬 陈哲明 邹少红 丁雨憧 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第1期26-28,共3页
钽酸锂晶体具有优异的压电性能,是声表面波(SAW)滤波器广泛使用的衬底材料。该文采用自主研制的提拉单晶炉,成功生长出4英寸、42°Y方向、外观完整的钽酸锂晶体。经可见及近红外分光光度计测试,晶体透过率接近80%;经X线摇摆测试,其... 钽酸锂晶体具有优异的压电性能,是声表面波(SAW)滤波器广泛使用的衬底材料。该文采用自主研制的提拉单晶炉,成功生长出4英寸、42°Y方向、外观完整的钽酸锂晶体。经可见及近红外分光光度计测试,晶体透过率接近80%;经X线摇摆测试,其半高全峰宽(FWHM)为28.4″,单晶性较好;采用差热分析仪对生长的晶体头尾进行居里温度测试,居里温度偏差为4.4℃。声表面波性能测试结果表明,钽酸锂晶体的声表面波速度、机电耦合系数和频率温度系数等指标均满足SAW滤波器的使用要求。 展开更多
关键词 钽酸锂 晶体 提拉法 声表面波滤波器
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基于ISOMAP-DE-SVM的Cz单晶硅等径阶段掉苞预测 被引量:1
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作者 侯少华 张宏帅 +2 位作者 姜宝柱 朱宾宾 田增国 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第1期25-33,55,共10页
针对目测法无法及时发现直拉单晶硅在等径生长阶段发生的掉苞问题,本文提出一种基于ISOMAP-DE-SVM的掉苞预测模型,可以在掉苞现象发生之前发出警告。首先剔除方差较小的参数,采用斯皮尔曼相关系数法剔除冗余参数,采用最大互信息法检验... 针对目测法无法及时发现直拉单晶硅在等径生长阶段发生的掉苞问题,本文提出一种基于ISOMAP-DE-SVM的掉苞预测模型,可以在掉苞现象发生之前发出警告。首先剔除方差较小的参数,采用斯皮尔曼相关系数法剔除冗余参数,采用最大互信息法检验剩余参数的非线性相关性;然后将关键参数的均值和标准差作为等度量映射和多维放缩的输入,得到两份样本数据;最后将这两份样本数据分别输入到经过差分算法、遗传算法优化的支持向量机预测模型,得到4份预测结果。预测结果表明:基于ISOMAP-DE-SVM的预测模型具有收敛速度快、准确度高的特点,平均预测准确率可以达到96%;同时,所使用的方法揭示了单晶硅等径阶段的数据具有非线性特点。通过实际应用验证表明模型具有一定的工程实用价值。 展开更多
关键词 直拉法 单晶硅 等径生长 支持向量机 等度量映射 掉苞 预测
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提拉法下Yb:YAG单晶缺陷的正电子湮没研究
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作者 石小兔 张庆礼 +7 位作者 孙贵花 罗建乔 窦仁勤 王小飞 高进云 张德明 刘建党 叶邦角 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第3期316-321,共6页
为满足固体激光器的应用需求,研究人员不断改进YAG激光晶体生长技术,其中控制YAG中的缺陷结构对于晶体的生长尤为重要。本工作对提拉法两种工艺制备的晶体样品进行了缺陷研究,特别是晶体散射点的起源。正电子湮没技术是一种对材料微观... 为满足固体激光器的应用需求,研究人员不断改进YAG激光晶体生长技术,其中控制YAG中的缺陷结构对于晶体的生长尤为重要。本工作对提拉法两种工艺制备的晶体样品进行了缺陷研究,特别是晶体散射点的起源。正电子湮没技术是一种对材料微观结构十分灵敏且有效的核物理技术分析表征手段,对空位缺陷、微孔等极为敏感。根据正电子湮没寿命谱与多普勒展宽谱的分析结果,无论工艺、有无散射点,样品的正电子寿命及多普勒展宽线性参数均存在差异。这说明晶体主要缺陷是YAG结构中的本征缺陷,散射点可能是空位团聚引起的纳米微孔,研究表明该技术可以灵敏地表征YAG晶体散射点。正电子湮没实验反映的晶体单晶质量差异与X射线衍射、单晶摇摆曲线、光透过率以及位错密度结果吻合。在研究晶体的物理性能和缺陷与材料微结构的关系上正电子湮没技术具有独特的技术优势,同时正电子湮没技术可以在微观尺度上有效反映晶体质量。 展开更多
关键词 晶体缺陷 正电子湮没 YB:YAG晶体 提拉法
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提拉法生长平肩同成分铌酸锂晶体的研究
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作者 秦娟 梁丹丹 +5 位作者 孙军 杨金凤 郝永鑫 李清连 张玲 许京军 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第8期978-986,共9页
提拉法生长的晶体肩部形状普遍为斜肩,但斜肩的肩部质量差且加工难度大,会降低晶体的利用率,生长平肩晶体可以解决该问题。然而,平肩晶体对热场和扩肩工艺要求非常高,扩肩阶段易出现多晶和包裹体缺陷。铌酸锂晶体作为一种多功能晶体材料... 提拉法生长的晶体肩部形状普遍为斜肩,但斜肩的肩部质量差且加工难度大,会降低晶体的利用率,生长平肩晶体可以解决该问题。然而,平肩晶体对热场和扩肩工艺要求非常高,扩肩阶段易出现多晶和包裹体缺陷。铌酸锂晶体作为一种多功能晶体材料,在电子技术、光通信技术、激光技术及集成光子学技术等领域得到了广泛应用。本研究以同成分铌酸锂晶体为例,利用数值模拟和实验方法,研究了提拉法生长平肩晶体的热场和扩肩工艺。结果表明:提拉法生长平肩晶体时,放肩阶段结晶前沿的界面形状需保持微凸;反射屏降低(10 mm)可减小结晶前沿的温度梯度,避免肩部生成多晶;扩肩速度以监控为主,微调加热功率保证扩肩趋势,适当增大扩肩初期(ϕ≤30 mm)的速度,降低中后期(ϕ≥35 mm)的扩肩速度,可达到不产生包裹体和缩短放肩周期的目的;采用小幅度(Δt=10 min)微调拉速(Δv=0.2 mm/h)和功率的策略,可实现拉速(0~1.5 mm/h)的快速变化(1.5~2 h)而不影响晶体扩肩趋势和质量。使用优化后的热场和扩肩工艺,获得了系列三英寸平肩同成分铌酸锂晶体,晶体光学均匀性良好。 展开更多
关键词 铌酸锂 热场设计 平肩晶体 提拉法 晶体生长
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横向磁场下坩埚转速对半导体级直拉单晶硅熔体中流场与氧浓度的影响机制 被引量:1
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作者 王黎光 芮阳 +7 位作者 盛旺 马吟霜 马成 陈炜南 邹啟鹏 杜朋轩 黄柳青 罗学涛 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第9期1641-1650,共10页
利用ANSYS有限元软件分析了横向磁场下不同坩埚转速对200 mm半导体级直拉单晶硅的流场及氧浓度的影响。研究结果表明:在横向磁场下,硅熔体的流场和氧浓度分布呈三维非对称性,熔体对流形式主要包括泰勒-普劳德曼漩涡、浮力-热毛细漩涡及... 利用ANSYS有限元软件分析了横向磁场下不同坩埚转速对200 mm半导体级直拉单晶硅的流场及氧浓度的影响。研究结果表明:在横向磁场下,硅熔体的流场和氧浓度分布呈三维非对称性,熔体对流形式主要包括泰勒-普劳德曼漩涡、浮力-热毛细漩涡及次漩涡,其中前两者有助于氧挥发,而次漩涡则起到抑制作用。当坩埚转速较低(0.5~1.0 r/min)时,较弱的熔体对流强度导致坩埚壁与固液界面间的热传导效率低,氧主要以扩散机制迁移至固液界面,熔硅中氧浓度高;当坩埚转速较高(2~2.5 r/min)时,氧通过强对流形式迁移至固液界面。随着坩埚转速增加,次漩涡和浮力-热毛细漩涡的作用强度提高,浮力-热毛细漩涡影响区域远离自由表面,使硅熔体中的氧浓度呈先下降后上升的趋势。数值模拟结果与实验结果均表明,在横向磁场条件下优选1.5 r/min的坩埚转速可获得平均氧浓度较低的单晶硅。上述分析结果可以为横向磁场下半导体级单晶硅拉晶参数优化提供参考依据。 展开更多
关键词 ANSYS有限元分析 200 mm半导体级单晶硅 直拉法 坩埚转速 流场 氧浓度
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直拉单晶硅中的缺陷形成机理及控制方法 被引量:1
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作者 芮阳 王黎光 +3 位作者 熊欢 曹启刚 闫龙 杨少林 《山东化工》 CAS 2023年第17期101-103,106,共4页
半导体级单晶硅作为半导体产业链中的重要原材料,其杂质、缺陷等品质对电子器件和集成电路的性能起着至关重要的作用。单晶硅生长和加工过程都不可避免地会形成各种缺陷。鉴于直拉法是目前主流的单晶硅制造方法,针对直拉法半导体级单晶... 半导体级单晶硅作为半导体产业链中的重要原材料,其杂质、缺陷等品质对电子器件和集成电路的性能起着至关重要的作用。单晶硅生长和加工过程都不可避免地会形成各种缺陷。鉴于直拉法是目前主流的单晶硅制造方法,针对直拉法半导体级单晶硅制造技术中的晶体缺陷工程问题进行了探讨。简要介绍了半导体级单晶硅中各种晶体缺陷以及它们的形成机理。最后,总结了控制缺陷形成的主要方法。 展开更多
关键词 直拉法 半导体级单晶硅 缺陷 形成机理 控制方法
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