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HT-7U装置第一壁抗热冲击SiC厚膜涂层研究 被引量:2
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作者 陈俊凌 梁荣庆 +1 位作者 何也熙 隋毅峰 《真空与低温》 2000年第4期207-212,共6页
为实现 HT- 7U装置长脉冲运行的物理目标,在碳石墨第一壁材料的改性研究中和为保证在稳定的长平顶阶段对大部分杂质和再循环的控制,提出了研制抗等离子体溅射腐蚀的梯度功能涂层的概念。研究了通过化学气相转化 CVR和化学气相渗透 CV... 为实现 HT- 7U装置长脉冲运行的物理目标,在碳石墨第一壁材料的改性研究中和为保证在稳定的长平顶阶段对大部分杂质和再循环的控制,提出了研制抗等离子体溅射腐蚀的梯度功能涂层的概念。研究了通过化学气相转化 CVR和化学气相渗透 CVI 2种技术实现 SiC厚膜梯度涂层的方法,通过实验研究发现 CVI法实现的 SiC涂层有更厚、更致密、更好的梯度性和很好的抗热冲击等综合性能,适于作为 HT- 7U装置第一壁高通量部件上的保护涂层。 展开更多
关键词 第一壁 HT-7U装置 抗热冲击 碳化硅涂层
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