低真空射频反应溅射 Ta_2O_5 减反射薄膜及其光伏应用

在低真空下，用射频反应溅射法在硅片和硅太阳电池上制备理想配比的非晶Ｔａ２Ｏ５减反射薄膜。测定表明，其减反射性能良好。