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Impact of thermal history of spherical silicon crystal on its crystal quality
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作者 TSUJIYA Kaoru MINEMOTO Takashi +2 位作者 MUROZONO Mikio TAKAKURA Hideyuki HAMAKAWA Yoshihiro 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第z1期127-132,共6页
Spherical Si solar cells were fabricated based on multicrystalline Si spheres produced by a dropping method. The thermal history of Si spheres were calculated by numerical simulation. The simulation result reveals tha... Spherical Si solar cells were fabricated based on multicrystalline Si spheres produced by a dropping method. The thermal history of Si spheres were calculated by numerical simulation. The simulation result reveals that heat transfered by convection is greater than heat transfered by radiation. Considering the calculation results, Si spheres were dropped in the free-fall tower at low pressure state (0.2×105-0.5×105 Pa) to slow heat transfer by convection. After dash etching for 60 min, low pressure Si spheres have less etch pits, i.e., 80% for etch pit density and 8% for etch pit-area ratio compared to normal one. Furthermore, the conversion efficiency was improved from 6.57% (normal pressure spherical Si solar cell) to 9.56% (low one), which is 45% relative increase. The improvement is due to decrease of undercooling and increase of crystal growth duration. These results demonstrate that the dropping method at low pressure state is useful for fabricating high performance spherical Si solar cells. 展开更多
关键词 solar cell SPHERE silicon UNDERCOOLING low pressure thermal history etch pit
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MEMS正装传感器复合钝化层高温可靠性的研究
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作者 刘润鹏 赵妍琛 +4 位作者 刘东 雷程 梁庭 冀鹏飞 王宇峰 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2024年第6期19-25,共7页
绝缘体上硅(SOI)所制备的压阻式正装压力传感器可在高温下良好工作,但高温环境下电阻条和金属引线长期暴露在环境中易受到氧化和腐蚀,对传感器的输出造成影响,使电学性能发生变化甚至失效,为避免这种情况,通常在表面进行钝化处理。文中... 绝缘体上硅(SOI)所制备的压阻式正装压力传感器可在高温下良好工作,但高温环境下电阻条和金属引线长期暴露在环境中易受到氧化和腐蚀,对传感器的输出造成影响,使电学性能发生变化甚至失效,为避免这种情况,通常在表面进行钝化处理。文中采用SiO_(2)-Si_(3)N_(4)复合钝化层对SOI正装传感器芯片进行钝化,并且对钝化层进行高温老化考核,模拟高温和恶劣环境,验证其高温可靠性。实验结果表明:按照SiO_(2)厚度为200 nm、Si_(3)N_(4)厚度为300 nm的SiO_(2)-Si_(3)N_(4)复合钝化层能在350℃高温下对正装传感器进行有效保护且电学性能完好,满足芯片在高温下可靠性的要求。 展开更多
关键词 绝缘体上硅(SOI) 压阻式正装压力传感器 复合钝化层 高温可靠性
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压阻式压力传感器硅电阻条浅槽刻蚀的研究
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作者 王天靖 梁庭 +2 位作者 雷程 王婧 冀鹏飞 《舰船电子工程》 2024年第4期199-202,共4页
MEMS压阻式压力传感器的电阻条刻蚀效果对传感器的性能及高温环境下工作寿命起着至关重要的作用。采用SPTS深硅刻蚀机以SF6为刻蚀气体,C4F8为保护气体进行刻蚀实验。通过改变刻蚀气体通入时长、保护气体通入时长以及射频功率进行参数匹... MEMS压阻式压力传感器的电阻条刻蚀效果对传感器的性能及高温环境下工作寿命起着至关重要的作用。采用SPTS深硅刻蚀机以SF6为刻蚀气体,C4F8为保护气体进行刻蚀实验。通过改变刻蚀气体通入时长、保护气体通入时长以及射频功率进行参数匹配,根据台阶仪和SEM电镜的观察数据对刻蚀效果进行评估,最终确定了刻蚀气体流量25 sccm,刻蚀气体通入的时长为2.5 s;保护气体流量50 sccm,保护气体的通入时长为2.5 s,射频功率为2 500 W的刻蚀条件。该条件下刻蚀速率为1.54μm/loop。刻蚀均匀性为2.9%. 展开更多
关键词 压力传感器 电阻条 深硅刻蚀 刻蚀 刻蚀速率 均匀性
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A review:crystalline silicon membranes over sealed cavities for pressure sensors by using silicon migration technology 被引量:1
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作者 Jiale Su Xinwei Zhang +3 位作者 Guoping Zhou Changfeng Xia Wuqing Zhou Qing'an Huang 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2018年第7期41-47,共7页
A silicon pressure sensor is one of the very first MEMS components appearing in the microsystem area.The market for the MEMS pressure sensor is rapidly growing due to consumer electronic applications in recent years. ... A silicon pressure sensor is one of the very first MEMS components appearing in the microsystem area.The market for the MEMS pressure sensor is rapidly growing due to consumer electronic applications in recent years. Requirements of the pressure sensors with low cost, low power consumption and high accuracy drive one to develop a novel technology. This paper first overviews the historical development of the absolute pressure sensor briefly. It then reviews the state of the art technology for fabricating crystalline silicon membranes over sealed cavities by using the silicon migration technology in detail. By using only one lithographic step, the membranes defined in lateral and vertical dimensions can be realized by the technology. Finally, applications of MEMS through using the silicon migration technology are summarized. 展开更多
关键词 silicon migration silicon on nothing pressure sensors deep reactive ion etching
原文传递
基于单晶硅的压阻效应压力传感器低气压输出异常分析
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作者 刘宝伟 王振廷 +3 位作者 宁金明 陈宝成 王元委 毕宏宇 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第10期15-18,共4页
某型号压阻式压力传感器在实际工程中出现低气压段输出偏高现象,结合该传感器的结构组成,建立导致该现象的故障树,依据故障树逐一进行排除,采用外观检查、绝缘电阻测试、替换可能的故障部件等方式,确定故障出现在压力芯体中;进一步对芯... 某型号压阻式压力传感器在实际工程中出现低气压段输出偏高现象,结合该传感器的结构组成,建立导致该现象的故障树,依据故障树逐一进行排除,采用外观检查、绝缘电阻测试、替换可能的故障部件等方式,确定故障出现在压力芯体中;进一步对芯体进行分析,通过显微镜、手捻法等方式方法,确定硅油中存在气泡导致传感器低气压段输出偏高,并对气泡中压力与输入压力之间的3类关系进行分析,得到输入压力小于气泡内部压力时,低气压段输出偏高故障现象的失效机理,并通过在空气环境下封装压力芯体,复现了故障现象,并建议增加对压力芯体进行低温低气压筛选试验。 展开更多
关键词 压阻效应 压力传感器 低气压输出 压力芯体 气泡
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单面多层结构硅微压传感器的研制 被引量:5
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作者 任建军 杨恒 +2 位作者 李昕欣 沈绍群 鲍敏杭 《传感技术学报》 CAS CSCD 1997年第4期1-6,共6页
提出并利用“掩模-无掩模”腐蚀的方法形成了一种新型单面多层结构的硅微压传感器,该传感器针对用体微机械双面加工的硅压阻式压力传感器的不足,从结构上给予了改进,文中给出了理论分析和实验结果。研制的微压传感器在400Pa的微小量程下... 提出并利用“掩模-无掩模”腐蚀的方法形成了一种新型单面多层结构的硅微压传感器,该传感器针对用体微机械双面加工的硅压阻式压力传感器的不足,从结构上给予了改进,文中给出了理论分析和实验结果。研制的微压传感器在400Pa的微小量程下,输出可达34mV/5V,非线性仅为±0.6%F.S. 展开更多
关键词 传感器 微压传感器 压阻 腐蚀 结构
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基于MEMS工艺的SOI高温压力传感器设计 被引量:20
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作者 李丹丹 梁庭 +2 位作者 李赛男 姚宗 熊继军 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第9期1315-1320,共6页
利用MEMS(微机电系统)工艺中的扩散,刻蚀,氧化,金属溅射等工艺制备出SOI高温压力敏感芯片,并通过静电键合工艺在SOI芯片背面和玻璃间形成真空参考腔,最后通过引线键合工艺完成敏感芯片与外部设备的电气连接。对封装的敏感芯片进行高温... 利用MEMS(微机电系统)工艺中的扩散,刻蚀,氧化,金属溅射等工艺制备出SOI高温压力敏感芯片,并通过静电键合工艺在SOI芯片背面和玻璃间形成真空参考腔,最后通过引线键合工艺完成敏感芯片与外部设备的电气连接。对封装的敏感芯片进行高温下的加压测试,高温压力测试结果表明,在21℃(常温)至300℃的温度范围内,传感器敏感芯片可在压力量程内正常工作,传感器敏感芯片的线性度从0.9 985下降为0.9 865,控制在较小的范围内。高温压力下的性能测试结果表明,该压力传感器可用于300℃恶劣环境下的压力测量,其高温下的稳定性能为压阻式高温压力芯片的研制提供了参考。 展开更多
关键词 高温压力传感器 压阻 敏感薄膜 SOI(绝缘体上硅) MEMS(微机电系统)
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超孔隙水压力对低塑性黏性土桩土界面抗剪强度的影响 被引量:15
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作者 王永洪 张明义 +1 位作者 刘俊伟 白晓宇 《岩土力学》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期831-838,871,共9页
研究黏性土中桩土界面的抗剪强度及其参数受超孔隙水压力影响的规律,对工程实践具有重要意义。利用自制的大型恒刚度直剪仪,完成了一系列不同界面粗糙度、不同试样含水率和不同剪切速率试验条件下的直剪试验,分析了在不同试验条件下超... 研究黏性土中桩土界面的抗剪强度及其参数受超孔隙水压力影响的规律,对工程实践具有重要意义。利用自制的大型恒刚度直剪仪,完成了一系列不同界面粗糙度、不同试样含水率和不同剪切速率试验条件下的直剪试验,分析了在不同试验条件下超孔隙水压力变化规律,进而得到考虑超孔隙水压力的桩土界面抗剪强度及其参数的变化规律。研究结果表明:随着界面粗糙度等级提高,桩土界面超孔隙水压力减小,桩土界面抗剪强度、有效黏聚力和有效摩擦系数增加;随着含水率的增加,桩土界面超孔隙水压力增加,桩土界面抗剪强度降低,含水率对桩土界面抗剪强度的影响主要是改变了桩土界面的黏聚力,黏聚力先增大后减小,对摩擦系数的影响较小;特定试验条件下,随着剪切速率的增加,桩土界面超孔隙水压力增加,桩土界面抗剪强度降低,桩土界面黏聚力先增大后又减小,变化幅度不超过2 k Pa,对摩擦系数的影响较小。因此,桩土界面抗剪强度及其参数是界面粗糙度、试样含水率和剪切速率变化引起超孔隙水压力变化共同影响的结果,试验结果可供相关工程设计参考。 展开更多
关键词 静压桩 超孔隙水压力 直剪试验 界面阻力 硅压阻式传感器
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电子探空仪气压传感器特性 被引量:5
9
作者 张伟星 王晓蕾 +1 位作者 陈晓颖 陈瑞林 《解放军理工大学学报(自然科学版)》 EI 北大核心 2011年第6期696-701,共6页
为了掌握电子探空仪气压传感器的测量性能及不同气压传感器的特性差异对测量准确度的影响,对硅压阻和电容膜盒2种气压传感器进行了一定时间的存储测试试验。利用同一环境下某一测试时间的气压标准值与传感器测量值的差值分析了2种气压... 为了掌握电子探空仪气压传感器的测量性能及不同气压传感器的特性差异对测量准确度的影响,对硅压阻和电容膜盒2种气压传感器进行了一定时间的存储测试试验。利用同一环境下某一测试时间的气压标准值与传感器测量值的差值分析了2种气压传感器的一致性,根据该差值随时间的变化分析了2种气压传感器的稳定性。结果表明,2种气压传感器的稳定性都没有一致的变化规律,但随时间的平均变化不超过±1.5hPa范围;2种气压传感器的一致性和稳定性特性对其测量性能影响较小;硅压阻气压传感器的一致性和稳定性均优于电容膜盒气压传感器。因此,硅压阻是一种较理想的电子探空仪气压传感器。 展开更多
关键词 探空仪 气压传感器 硅压阻 电容膜盒 一致性 稳定性
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SOI高温压力传感器的研究现状 被引量:9
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作者 张书玉 张维连 +1 位作者 张生才 姚素英 《河北工业大学学报》 CAS 2005年第2期14-19,共6页
SOI(silicononinsulator)高温压力传感器是一种新型的半导体高温压力传感器,具有耐高温、抗辐射、稳定性好等优点,能够解决石油、汽车、航空、航天等领域对高温压力传感器的迫切需求,在高温领域有很大的潜力.本文论述了SOI材料的制备方... SOI(silicononinsulator)高温压力传感器是一种新型的半导体高温压力传感器,具有耐高温、抗辐射、稳定性好等优点,能够解决石油、汽车、航空、航天等领域对高温压力传感器的迫切需求,在高温领域有很大的潜力.本文论述了SOI材料的制备方法-特别是硅片直接键合技术(SDB),简单介绍了SOI压力传感器的优势、制作工艺以及SOI压力传感器的发展现状. 展开更多
关键词 压力传感器 SOI SiO2层 各向异性腐蚀 硅片直接键合 硅单晶片
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一种MEMS高温压力传感器 被引量:10
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作者 王伟忠 何洪涛 +1 位作者 卞玉民 杨拥军 《微纳电子技术》 北大核心 2016年第6期387-393,共7页
基于硅压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术,研制了一种可用于多种领域的高温绝压压力传感器。为了达到耐高温的目标,传感器芯片采用绝缘体上硅(SOI)硅片加工,并利用有限元软件ANSYS对传感器芯片结构进行了应力仿真分析。同时,对传... 基于硅压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术,研制了一种可用于多种领域的高温绝压压力传感器。为了达到耐高温的目标,传感器芯片采用绝缘体上硅(SOI)硅片加工,并利用有限元软件ANSYS对传感器芯片结构进行了应力仿真分析。同时,对传感器的电阻结构、金属布线系统、传感器支撑层键合技术及流片工艺进行了设计,完成了芯片的加工。设计了传感器耐高温封装结构,完成了传感器的初级封装。最后,对常规MEMS压力传感器及研制的高温压力传感器的基本性能、电阻温度特性、漏电流温度特性进行了测试和对比,实验结果表明研制的高温压力传感器能够耐受350℃的高温。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 压力传感器 绝缘体上硅(SOI) 压阻效应 高温
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基于微机电系统的水下灵巧手触觉力测量传感器 被引量:4
12
作者 张建军 刘卫东 +1 位作者 张溢文 汤伟江 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期76-82,共7页
为了实现深水环境下水下灵巧手抓取目标的定位及触觉力感知,设计了阵列式触觉力测量传感器.以硅杯作为力敏感核心,利用胶囊式差压状结构实现了水的静态压力矢量叠加下的触觉力测量,并消除了水的静态压力对触觉力测量的影响.利用弹性力... 为了实现深水环境下水下灵巧手抓取目标的定位及触觉力感知,设计了阵列式触觉力测量传感器.以硅杯作为力敏感核心,利用胶囊式差压状结构实现了水的静态压力矢量叠加下的触觉力测量,并消除了水的静态压力对触觉力测量的影响.利用弹性力学与板壳理论分析了方形硅杯底部变形与应力的解析解,并与有限元法的分析结果加以对比.结果表明,所设计的灵巧手触觉力测量传感器具有样本抓取的触觉感知及位置感知,其胶囊式差压状结构使得触觉力测量传感器能够消除水的静态压力的影响,硅杯式测量结构具有灵敏度高、误差小、输出应力大的特点. 展开更多
关键词 水下灵巧手 触觉力测量 差压补偿 压阻式传感器 硅杯
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一种SOI高温压力传感器敏感芯片 被引量:3
13
作者 王伟 梁庭 +5 位作者 李赛男 洪应平 葛冰儿 郑庭丽 贾平岗 熊继军 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第4期243-248,共6页
从传感器的受力结构、能量转化结构和金属引线三个方面对SOI压阻式压力传感器芯片进行高温设计,计算出每个因素所造成的影响并与外部气压对传感器造成的影响进行对比,并给出了压阻的工艺尺寸和掺杂浓度。通过工艺制备和封装,研制出耐高... 从传感器的受力结构、能量转化结构和金属引线三个方面对SOI压阻式压力传感器芯片进行高温设计,计算出每个因素所造成的影响并与外部气压对传感器造成的影响进行对比,并给出了压阻的工艺尺寸和掺杂浓度。通过工艺制备和封装,研制出耐高温压力传感器芯片,常温压力测试结果表明传感器敏感芯片在常温下灵敏度较高,非线性误差在0.1%以下,迟滞性小于0.5%。高温下的性能测试结果表明,传感器可以用于350℃恶劣环境条件下的压力测量,为压阻式高温压力芯片的研制提供了参考。 展开更多
关键词 绝缘体上硅(SOI) 压阻 压力传感器 敏感芯片 高温
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微型双模式耐蚀压力传感器设计及特性分析(英文) 被引量:4
14
作者 余建平 李欣 +2 位作者 张玉良 姚喆赫 周兆忠 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第2期193-197,共5页
本文提出一种微型双模式耐蚀压力传感器设计并分析其测试特性,能够实现静态力和瞬时力的同步测量。该传感器由基于低温共烧陶瓷的压阻测量单元和基于硅橡胶的电容测量单元构成。并由压阻测量单元实现静态力的测量,电容测量单元实现瞬时... 本文提出一种微型双模式耐蚀压力传感器设计并分析其测试特性,能够实现静态力和瞬时力的同步测量。该传感器由基于低温共烧陶瓷的压阻测量单元和基于硅橡胶的电容测量单元构成。并由压阻测量单元实现静态力的测量,电容测量单元实现瞬时力的测量。文中分别计算了压阻测量单元和电容测量单元的数学分析模型,并通过有限元仿真研究传感器的静态特性和模态响应,考量传感器结构参数对其测量性能的影响。 展开更多
关键词 压阻式 电容式 压力传感器 低温共烧陶瓷 硅橡胶
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高精度硅压阻式气压计设计 被引量:3
15
作者 高磊 马英辉 +1 位作者 刘祎 毛万华 《工矿自动化》 北大核心 2013年第12期21-25,共5页
针对硅压阻式气压传感器因温漂、离散性大而使其应用受限的问题,设计了一种高精度硅压阻式数字气压计。该气压计采用全温度范围的曲面拟合算法进行温度补偿和线性化处理,解决了硅压阻式气压传感器的温漂和非线性问题;在ATmega88PA微控... 针对硅压阻式气压传感器因温漂、离散性大而使其应用受限的问题,设计了一种高精度硅压阻式数字气压计。该气压计采用全温度范围的曲面拟合算法进行温度补偿和线性化处理,解决了硅压阻式气压传感器的温漂和非线性问题;在ATmega88PA微控制器内采用软件实现压力数据的温度补偿,并通过RS485接口将数据发送给上位机。测试结果表明,在-40~+60℃范围内,该气压计测量误差在0.50‰以内,满足设计要求。 展开更多
关键词 气压计 硅压阻式气压传感器 曲面拟合 温度补偿
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压阻式压力传感器零点输出研究 被引量:5
16
作者 李晶晶 岳瑞峰 刘理天 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2002年第7期9-11,共3页
使用有限元方法 ,分析了压力传感器力敏电阻条工作时的自身发热对传感器零点输出的影响 ,结果表明 :由于电阻工作时的发热引起传感器温度分布的不均匀 ,即便组成压力传感器电桥的力敏电阻条参数完全匹配 ,传感器也可能存在零点输出。
关键词 压阻式 压力传感器 压阻效应 零点输出 力敏电阻条 温度分布
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高精度硅压阻式气压传感器系统设计 被引量:9
17
作者 周晓宇 张萌颖 +1 位作者 杜利东 赵湛 《传感器与微系统》 CSCD 2017年第4期97-99,共3页
为了消除环境温度对硅压阻式传感器输出的影响,大幅提升硅压阻式传感器的测量精度,将传感器芯片与热源和测温原件封装在一起,通过控制加热的方式使传感器工作在恒定50℃的环境中,对传感器进行线性标定和测试。结果显示:在-45~45℃环境下... 为了消除环境温度对硅压阻式传感器输出的影响,大幅提升硅压阻式传感器的测量精度,将传感器芯片与热源和测温原件封装在一起,通过控制加热的方式使传感器工作在恒定50℃的环境中,对传感器进行线性标定和测试。结果显示:在-45~45℃环境下,600~1 100 h Pa量程内气压传感器的测量误差小于0.3 h Pa。 展开更多
关键词 硅压阻式气压传感器 芯片加热 PID控制 温度补偿
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基于小波神经网络的压力传感器温度补偿方法 被引量:9
18
作者 姚敏 赵敏 邢力 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第7期13-15,共3页
介绍了硅压阻式压力传感器温度误差产生的原因及其特点,在比较了多种神经网络优缺点的基础上,提出了一种利用小波神经网络对压力传感器温度误差及非线性误差进行补偿的方法。该网络与BP神经网络相比,具有更快的收敛速度和更好的补偿精... 介绍了硅压阻式压力传感器温度误差产生的原因及其特点,在比较了多种神经网络优缺点的基础上,提出了一种利用小波神经网络对压力传感器温度误差及非线性误差进行补偿的方法。该网络与BP神经网络相比,具有更快的收敛速度和更好的补偿精度。经过实验证明该网络能够有效地补偿压力传感器的温度非线性误差,在-40~60℃范围内,使温度误差从原来的5.4%降到了0.2%。 展开更多
关键词 温度补偿 硅压阻式压力传感器 小波神经网络
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基于SOI晶圆材料的硅微压传感器 被引量:4
19
作者 李新 刘野 +1 位作者 刘沁 孙承松 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2012年第5期15-16,共2页
为解决硅微压传感器制作过程中存在的问题,以SOI晶圆材料为基础,使用有限元方法优化设计岛-膜型1kPa压力敏感结构,采用MEMS工艺完成传感器芯片制作,并对封装后的传感器进行了测试。测试结果表明,传感器输出灵敏度大于60 mV/kPa,非线性小... 为解决硅微压传感器制作过程中存在的问题,以SOI晶圆材料为基础,使用有限元方法优化设计岛-膜型1kPa压力敏感结构,采用MEMS工艺完成传感器芯片制作,并对封装后的传感器进行了测试。测试结果表明,传感器输出灵敏度大于60 mV/kPa,非线性小于0.1%FS,精度小于0.5%FS,器件具有较好的性能指标。 展开更多
关键词 硅微压传感器 岛-膜结构 SOI晶圆
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半导体高温压力传感器的研究 被引量:2
20
作者 毛赣如 姚素英 +1 位作者 曲宏伟 张维新 《测控技术》 CSCD 北大核心 1996年第2期16-17,共2页
介绍多晶硅压力传感器,由于采用二氧化硅介质膜作应变电阻之间的隔离,因而提高了传感器的工作温度。实验表明,该类传感器具有灵敏度高、精度高、温度特性好、工作温限高等特点。
关键词 压阻效应 多晶硅 压力传感器 传感器
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