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基于带电粒子追踪与蒙特卡洛方法的低真空SEM电子探测器仿真分析
1
作者
陈禹滔
阴达
+4 位作者
郑传懋
徐龙泉
卢志钢
曹峰
秦熙
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第2期208-215,共8页
低真空扫描电子显微镜对含水、含气以及不导电样品等的表征方面有着重要应用。国仪量子公司团队基于电子轨迹追踪模拟和粒子碰撞蒙特卡洛模拟,对低真空信号探测器的工作过程进行仿真和实测,分析了探测器在不同位置和气压大小对收集效率...
低真空扫描电子显微镜对含水、含气以及不导电样品等的表征方面有着重要应用。国仪量子公司团队基于电子轨迹追踪模拟和粒子碰撞蒙特卡洛模拟,对低真空信号探测器的工作过程进行仿真和实测,分析了探测器在不同位置和气压大小对收集效率的影响。根据模型所预测的探测电流的大致范围同实测探测电流较为一致。同时仿真分析的结果表明,空间中不同区域的放电强度有较大区别,局部区域的雪崩倍增剧烈程度与该区域的电场强度成正相关。这对探测器的形状和位置布局设计具有显著的指导意义。
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关键词
扫描电子显微镜
低真空探测器
带电粒子追踪
蒙特卡洛模拟
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职称材料
低真空扫描电镜技术在材料研究中的应用
被引量:
4
2
作者
周广荣
《分析仪器》
CAS
2012年第6期25-28,共4页
本文介绍了低真空电镜扫描电镜技术在材料研究中的应用。对低真空扫描电镜像与同一样品的二次电子信号成像相比,给出了观察与检测的实例。结果表明:在低真空操作模式下,可以减少荷电、降低样品污染和损坏,对多孔和含水样品可以得到理想...
本文介绍了低真空电镜扫描电镜技术在材料研究中的应用。对低真空扫描电镜像与同一样品的二次电子信号成像相比,给出了观察与检测的实例。结果表明:在低真空操作模式下,可以减少荷电、降低样品污染和损坏,对多孔和含水样品可以得到理想的电镜照片,为一些材料的微观形态观察提供了一种新的手段。
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关键词
扫描电镜
低真空技术
检测器
应用
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职称材料
题名
基于带电粒子追踪与蒙特卡洛方法的低真空SEM电子探测器仿真分析
1
作者
陈禹滔
阴达
郑传懋
徐龙泉
卢志钢
曹峰
秦熙
机构
国仪量子(合肥)技术有限公司
中国科学技术大学近代物理系
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第2期208-215,共8页
文摘
低真空扫描电子显微镜对含水、含气以及不导电样品等的表征方面有着重要应用。国仪量子公司团队基于电子轨迹追踪模拟和粒子碰撞蒙特卡洛模拟,对低真空信号探测器的工作过程进行仿真和实测,分析了探测器在不同位置和气压大小对收集效率的影响。根据模型所预测的探测电流的大致范围同实测探测电流较为一致。同时仿真分析的结果表明,空间中不同区域的放电强度有较大区别,局部区域的雪崩倍增剧烈程度与该区域的电场强度成正相关。这对探测器的形状和位置布局设计具有显著的指导意义。
关键词
扫描电子显微镜
低真空探测器
带电粒子追踪
蒙特卡洛模拟
Keywords
scanning electron microscope
low vacuum detector
charged particle tracking
Monte Carlo simulation
分类号
O561.4 [理学—原子与分子物理]
TH73 [机械工程—精密仪器及机械]
TH702 [机械工程—精密仪器及机械]
TH706 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
低真空扫描电镜技术在材料研究中的应用
被引量:
4
2
作者
周广荣
机构
聚合物分子工程国家重点实验室复旦大学高分子科学系
出处
《分析仪器》
CAS
2012年第6期25-28,共4页
文摘
本文介绍了低真空电镜扫描电镜技术在材料研究中的应用。对低真空扫描电镜像与同一样品的二次电子信号成像相比,给出了观察与检测的实例。结果表明:在低真空操作模式下,可以减少荷电、降低样品污染和损坏,对多孔和含水样品可以得到理想的电镜照片,为一些材料的微观形态观察提供了一种新的手段。
关键词
扫描电镜
低真空技术
检测器
应用
Keywords
scanning electron microscopy
low
vacuum
level technique
detector
application
分类号
TH83 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
基于带电粒子追踪与蒙特卡洛方法的低真空SEM电子探测器仿真分析
陈禹滔
阴达
郑传懋
徐龙泉
卢志钢
曹峰
秦熙
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023
0
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职称材料
2
低真空扫描电镜技术在材料研究中的应用
周广荣
《分析仪器》
CAS
2012
4
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职称材料
已选择
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参考文献
引证文献
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