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基于带电粒子追踪与蒙特卡洛方法的低真空SEM电子探测器仿真分析
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作者 陈禹滔 阴达 +4 位作者 郑传懋 徐龙泉 卢志钢 曹峰 秦熙 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第2期208-215,共8页
低真空扫描电子显微镜对含水、含气以及不导电样品等的表征方面有着重要应用。国仪量子公司团队基于电子轨迹追踪模拟和粒子碰撞蒙特卡洛模拟,对低真空信号探测器的工作过程进行仿真和实测,分析了探测器在不同位置和气压大小对收集效率... 低真空扫描电子显微镜对含水、含气以及不导电样品等的表征方面有着重要应用。国仪量子公司团队基于电子轨迹追踪模拟和粒子碰撞蒙特卡洛模拟,对低真空信号探测器的工作过程进行仿真和实测,分析了探测器在不同位置和气压大小对收集效率的影响。根据模型所预测的探测电流的大致范围同实测探测电流较为一致。同时仿真分析的结果表明,空间中不同区域的放电强度有较大区别,局部区域的雪崩倍增剧烈程度与该区域的电场强度成正相关。这对探测器的形状和位置布局设计具有显著的指导意义。 展开更多
关键词 扫描电子显微镜 低真空探测器 带电粒子追踪 蒙特卡洛模拟
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低真空扫描电镜技术在材料研究中的应用 被引量:4
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作者 周广荣 《分析仪器》 CAS 2012年第6期25-28,共4页
本文介绍了低真空电镜扫描电镜技术在材料研究中的应用。对低真空扫描电镜像与同一样品的二次电子信号成像相比,给出了观察与检测的实例。结果表明:在低真空操作模式下,可以减少荷电、降低样品污染和损坏,对多孔和含水样品可以得到理想... 本文介绍了低真空电镜扫描电镜技术在材料研究中的应用。对低真空扫描电镜像与同一样品的二次电子信号成像相比,给出了观察与检测的实例。结果表明:在低真空操作模式下,可以减少荷电、降低样品污染和损坏,对多孔和含水样品可以得到理想的电镜照片,为一些材料的微观形态观察提供了一种新的手段。 展开更多
关键词 扫描电镜 低真空技术 检测器 应用
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