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高抗激光损伤阈值光栅后处理抛光技术研究
1
作者
洪小兰
姜晨
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第14期2071-2079,共9页
脉冲压缩光栅是实现高能量激光的核心光学元器件,其制造过程中产生的表面污染物和微结构缺陷成为限制高功率激光系统发展的技术瓶颈,为了提升光栅的激光诱导损伤阈值,提出利用磁性复合流体进行脉冲压缩光栅(PCG)后处理抛光研究。对抛光...
脉冲压缩光栅是实现高能量激光的核心光学元器件,其制造过程中产生的表面污染物和微结构缺陷成为限制高功率激光系统发展的技术瓶颈,为了提升光栅的激光诱导损伤阈值,提出利用磁性复合流体进行脉冲压缩光栅(PCG)后处理抛光研究。对抛光前后光栅样品的微观结构,表面形貌、表面粗糙度、衍射效率和激光诱导损伤阈值等参数进行测量,进行抛光前后光栅表面质量和光栅性能的评估。研究发现,磁性复合流体抛光能够在不破坏实际光栅结构的前提下抑制加工过程产生的毛刺,微结构缺陷等;经3 min抛光后,光栅顶部表面粗糙度从21.36 nm下降到3.73 nm;激光诱导损伤阈值从2.8 J/cm^(2)提高到3.8 J/cm^(2),抗激光损伤性能提升35.7%,且不影响衍射效率。实验结果表明:磁性复合流体抛光是一种可以提高光栅元件表面质量,提升光栅元件光学性能的有效方法。
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关键词
脉冲压缩光栅
多层介质膜光栅
磁性复合流体
激光诱导损伤阈值
表面形貌
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职称材料
题名
高抗激光损伤阈值光栅后处理抛光技术研究
1
作者
洪小兰
姜晨
机构
上海理工大学机械工程学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第14期2071-2079,共9页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51475310)
机械系统与振动国家重点实验室课题资助(No.MSV202315)。
文摘
脉冲压缩光栅是实现高能量激光的核心光学元器件,其制造过程中产生的表面污染物和微结构缺陷成为限制高功率激光系统发展的技术瓶颈,为了提升光栅的激光诱导损伤阈值,提出利用磁性复合流体进行脉冲压缩光栅(PCG)后处理抛光研究。对抛光前后光栅样品的微观结构,表面形貌、表面粗糙度、衍射效率和激光诱导损伤阈值等参数进行测量,进行抛光前后光栅表面质量和光栅性能的评估。研究发现,磁性复合流体抛光能够在不破坏实际光栅结构的前提下抑制加工过程产生的毛刺,微结构缺陷等;经3 min抛光后,光栅顶部表面粗糙度从21.36 nm下降到3.73 nm;激光诱导损伤阈值从2.8 J/cm^(2)提高到3.8 J/cm^(2),抗激光损伤性能提升35.7%,且不影响衍射效率。实验结果表明:磁性复合流体抛光是一种可以提高光栅元件表面质量,提升光栅元件光学性能的有效方法。
关键词
脉冲压缩光栅
多层介质膜光栅
磁性复合流体
激光诱导损伤阈值
表面形貌
Keywords
pulse
com
pression gratings(PCG)
multilayer dielectric grating(MDG)
magnetic
com
⁃pound
fluid
(
mcf
)
laser induced damage threshold(LIDT)
surface topography
分类号
TH745 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高抗激光损伤阈值光栅后处理抛光技术研究
洪小兰
姜晨
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
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