用于制备磁隧道结的模板套准新方法及装置

简述了现有掩模技术制备磁隧道结的过程 ;指出了采用定位图形套准模板存在的弊端 ;介绍了 1种将基片固定 ,利用定位螺栓套准模板的装置。实践表明 :采用该装置可显著提高制备磁隧道结的完好率 。