期刊文献+
共找到87篇文章
< 1 2 5 >
每页显示 20 50 100
满族面具图案模数化再设计研究
1
作者 岳维广 杨猛 《包装工程》 CAS 北大核心 2024年第6期250-262,共13页
目的基于用户需求视角探讨满族面具图案的优化再设计,提高图案自身的时代性与功能性,使其更受新时代用户青睐,促进满族面具图案的活态发展与传承。方法首先,运用KANO模型对图案再设计的用户需求进行属性划分;其次,使用AHP(层次分析法)... 目的基于用户需求视角探讨满族面具图案的优化再设计,提高图案自身的时代性与功能性,使其更受新时代用户青睐,促进满族面具图案的活态发展与传承。方法首先,运用KANO模型对图案再设计的用户需求进行属性划分;其次,使用AHP(层次分析法)构建需求层次模型,计算各层级的权重系数及优先级排序,并结合需求属性进行设计策略分析;再次,根据设计策略,制定图案文化内涵、情绪价值以及造型特征属性的设计方案;最后,根据现存问题引入模数化方法,进行图案网格形态、特征线条、填充色彩的再设计实践及应用,以验证设计方案的可行性。结果运用KANO模型、AHP(层次分析法)以及模数化方法集成的再设计模型,得到一套更受用户喜欢的满族面具再设计图案作品。结论通过用户需求视角的策略分析与模数化方法的设计实践,进一步提高了满族面具图案再设计作品的用户认可度,为满族面具图案及相关传统图案的创新设计提供了思路参考。 展开更多
关键词 KANO模型 AHP(层次分析法) 模数化 满族面具图案 设计再生
下载PDF
基于多尺度融合与USM的蒙古族家具纹样增强研究
2
作者 院霖享 董霙达 +1 位作者 多化琼 王明涛 《林产工业》 北大核心 2024年第2期29-33,共5页
为提高蒙古族家具纹样图像的全局对比度、颜色和精细细节,提出了一种基于改进的多尺度融合和USM的图像增强算法。首先对图像采用非锐化掩模技术增强纹样的细节区域,在此基础上进行白平衡处理,然后根据对比度的需求定义权重,最后进行多... 为提高蒙古族家具纹样图像的全局对比度、颜色和精细细节,提出了一种基于改进的多尺度融合和USM的图像增强算法。首先对图像采用非锐化掩模技术增强纹样的细节区域,在此基础上进行白平衡处理,然后根据对比度的需求定义权重,最后进行多尺度融合能更好地体现出图像中有价值的信息和样式。结果表明:该算法能突出纹样的细节部位,图像颜色更加自然直观,有效地增强了蒙古族家具纹样的图片;该方法可为缺失纹路的蒙古族家具纹样复原提供技术支撑,同时对蒙古族家具纹样的保护具有重要意义。 展开更多
关键词 多尺度融合增强 归一化权重 图像增强 非锐化掩模技术 蒙古族家具纹样
下载PDF
南丰傩面具图案在箱包中的应用探究 被引量:1
3
作者 揭红琴 吴镇江 黄少青 《皮革科学与工程》 CAS 北大核心 2024年第3期94-100,共7页
作为传统民俗文化中的瑰宝,南丰傩面具的艺术底蕴和文化价值十分丰富。文章对南丰傩面具进行概述,阐析其艺术形态在造型、色彩、装饰方面的特征,分析南丰傩面具图案在箱包中的设计思路及原则,从图案适应箱包与服从箱包的角度进行对应的... 作为传统民俗文化中的瑰宝,南丰傩面具的艺术底蕴和文化价值十分丰富。文章对南丰傩面具进行概述,阐析其艺术形态在造型、色彩、装饰方面的特征,分析南丰傩面具图案在箱包中的设计思路及原则,从图案适应箱包与服从箱包的角度进行对应的图案设计及应用研究。以皮革制品作为南丰傩面具艺术元素延续和传承的物质载体,将南丰傩面具艺术符号应用于现代箱包设计中,拓宽南丰傩面具艺术符号的开发思路和应用价值。 展开更多
关键词 南丰傩面具 傩文化 图案设计 箱包设计
下载PDF
莆仙戏脸谱图案艺术特征探析
4
作者 谢杰玲 孙雪梅 吴伟东 《梧州学院学报》 2024年第1期28-36,共9页
莆仙戏脸谱是莆仙戏演员塑造形象的重要载体之一。文章以莆仙戏脸谱图案为研究对象,以田野调查和资料整合为出发点,分析莆仙戏脸谱图案的文字、动物、线条、器物纹理、纹理夸张化和行为具象化的勾画艺术特征,以及早期与现代的配色艺术特... 莆仙戏脸谱是莆仙戏演员塑造形象的重要载体之一。文章以莆仙戏脸谱图案为研究对象,以田野调查和资料整合为出发点,分析莆仙戏脸谱图案的文字、动物、线条、器物纹理、纹理夸张化和行为具象化的勾画艺术特征,以及早期与现代的配色艺术特征,并以莆仙戏脸谱“张公”、戏神脸谱“田公元帅”为例,论证莆仙戏脸谱有受到莆仙民间所信仰的神灵形象的影响,民间信仰活动也为莆仙戏戏班的生存提供了广阔的空间。最后,概括总结了不同的脸谱艺术图案特征与图案折射出的源自生活的图案含义,进而以莆仙戏较为特色早期的“包拯”脸谱为例,比较分析莆仙戏“包拯”脸谱与其他剧种脸谱的差异性及成因。对莆仙戏脸谱图案的研究有助于推动莆仙戏脸谱文化和非遗莆仙戏的传承与保护。 展开更多
关键词 莆仙戏 脸谱图案 艺术特征
下载PDF
激光制造阻焊图形新方法探讨
5
作者 岳湘禄 《印制电路信息》 2024年第7期15-19,共5页
激光制造阻焊图形的新方法是在印制电路板(PCB)制造过程中,当导电线路图形完成后,将在制板上热压非光敏的聚酰亚胺(PI)薄膜作为阻焊材料,直到装联现场再用激光去除覆盖在焊接区表面的PI膜,制造出阻焊图案。在制造阻焊图案的同时,对需去... 激光制造阻焊图形的新方法是在印制电路板(PCB)制造过程中,当导电线路图形完成后,将在制板上热压非光敏的聚酰亚胺(PI)薄膜作为阻焊材料,直到装联现场再用激光去除覆盖在焊接区表面的PI膜,制造出阻焊图案。在制造阻焊图案的同时,对需去除的阻焊材料下面的铜箔表面进行可焊性处理,并趁铜箔表面新鲜、可焊性良好之际,涂覆焊料,贴装元器件,完成焊接,从而实现激光加工非光敏材料,而且不使用可焊性涂覆层等助焊手段的裸铜焊接。通过实验中的新技术方案,给出了实验流程及其涉及的材料、设备、操作,分析了结果,总结了新技术的优点。 展开更多
关键词 激光 聚酰亚胺(PI) 裸铜焊接 阻焊图形 可焊性
下载PDF
一种基于IC电路设计的多次图形化方法
6
作者 王雷 张顾斌 张雪 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第8期713-718,共6页
集成电路光刻工艺中的多次图形化技术在版图拆分时着重强化图形分辨率,而非考虑电路复杂程度带来的图形复杂度和拆分难度,拆分后的版图依然包含多个电路设计单元,具有多种复杂结构,不利于光刻条件的进一步优化。以存储器为例,提出了一... 集成电路光刻工艺中的多次图形化技术在版图拆分时着重强化图形分辨率,而非考虑电路复杂程度带来的图形复杂度和拆分难度,拆分后的版图依然包含多个电路设计单元,具有多种复杂结构,不利于光刻条件的进一步优化。以存储器为例,提出了一种基于电路设计的多次图形化方法,根据电路功能单元或器件工作电压对设计版图进行识别分组。将版图进行重新布局拆分,使拆分后图形具备类似的空间周期和图形特征,克服了传统光刻工艺需要兼顾各种图形带来的缺陷。对图形结构空间周期进行全周期优化和最大化优化,降低了对光刻设备的依赖程度,为多次图形化技术提供了一种新的思路和可行性方案。 展开更多
关键词 多次图形化 版图拆分 存储器 光罩 工艺窗口 光学临近效应修正(OPC)
下载PDF
萍乡湘东傩面具元素在国潮服装设计中的应用
7
作者 张雪 王勇 《服装设计师》 2024年第10期54-59,共6页
萍乡湘东傩面具作为中国傩文化中重要的组成部分,是中国数千年假面文化的产物,其不仅具有独特的复合文化个性,还蕴含着深厚的历史文化积淀。将萍乡湘东傩面具元素与国潮服装设计相结合,设计出本土化的国潮服装,并以更丰富的形式呈现国... 萍乡湘东傩面具作为中国傩文化中重要的组成部分,是中国数千年假面文化的产物,其不仅具有独特的复合文化个性,还蕴含着深厚的历史文化积淀。将萍乡湘东傩面具元素与国潮服装设计相结合,设计出本土化的国潮服装,并以更丰富的形式呈现国潮服装。文章围绕萍乡湘东傩面具元素在国潮服装设计中的融合应用进行研究,通过对萍乡湘东傩面具进行介绍,从结构、色彩、纹样三个方面提取其元素,着重探讨萍乡湘东傩面具元素与国潮服装现代化设计的结合,提取关键要点并加以分析,以时代和个性化的视角加以融合,促进萍乡湘东傩面具在当代社会中的传承与活化。 展开更多
关键词 萍乡湘东傩面具元素 国潮 服装设计 图案设计
下载PDF
用于堆叠装配技术的转接板制作探讨
8
作者 旷成龙 张俊杰 《印制电路信息》 2024年第1期15-20,共6页
转接板通过堆叠装配技术连接上下面高密度互连(HDI)板,可使电子产品减小体积,并实现更多应用功能。此类产品对图形精度、树脂塞孔、铜厚及阻焊油墨厚度等有较高要求。在制作过程中,需要结合具体的产品需求和技术要求,选择合适的制作工... 转接板通过堆叠装配技术连接上下面高密度互连(HDI)板,可使电子产品减小体积,并实现更多应用功能。此类产品对图形精度、树脂塞孔、铜厚及阻焊油墨厚度等有较高要求。在制作过程中,需要结合具体的产品需求和技术要求,选择合适的制作工艺和材料,并进行严格的工艺参数控制,才能保证转接板的质量和性能。通过对一款转接板进行研究,探讨其制作难点和相应控制方法,可为同行制作此类产品提供参考。 展开更多
关键词 转接板 堆叠装配 图形精度 树脂塞孔 铜厚 阻焊厚度
下载PDF
面向虹膜识别的多方向中心对称局部二值模式
9
作者 叶学义 廖奕艺 +2 位作者 王鹤澎 陈华华 王浩 《计算机辅助设计与图形学学报》 EI CSCD 北大核心 2023年第8期1269-1278,共10页
为了提升虹膜纹理的表征效果,获得稳定的局部纹理信息表达,提出基于多方向中心对称局部二值模式的虹膜识别算法.首先通过眼睑边缘快速定位生成掩膜,抑制眼睑区域噪声;然后在多方向的基础上,提出多方向中心对称的局部二值模式完成虹膜纹... 为了提升虹膜纹理的表征效果,获得稳定的局部纹理信息表达,提出基于多方向中心对称局部二值模式的虹膜识别算法.首先通过眼睑边缘快速定位生成掩膜,抑制眼睑区域噪声;然后在多方向的基础上,提出多方向中心对称的局部二值模式完成虹膜纹理特征的表征;最后利用汉明距离判定虹膜是否匹配.针对由于类内与类间匹配次数失衡导致评价指标正确识别率存在的不足,提出修正的正确识别率.在CASIA.V1,CASIA.V3-Interval,JUL6.0和CASIA.V4-Lamp虹膜库上的实验结果表明,所提算法的修正的正确识别率分别为99.857%,99.940%,99.640%和97.973%,等错误率下降0.03%~5.96%;该算法能够有效地表征虹膜纹理信息,具有良好的识别性能和鲁棒性. 展开更多
关键词 虹膜识别 多方向中心对称局部二值模式 掩膜 汉明距离 修正的正确识别率
下载PDF
基于形状文法的凤翔马勺纹样创新设计研究 被引量:5
10
作者 杜杰 王垲寓 郭晓 《设计》 2023年第11期22-25,共4页
传承和保护陕西关中民间文化,推动马勺脸谱元素在现代设计中的应用,挖掘传统纹样潜在创新的同时满足市场及消费者对历史文化在现代设计中的需求。对凤翔马勺图案进行收集整理,运用形状文法对其进行代表性因子提取、推演、细化及再设计,... 传承和保护陕西关中民间文化,推动马勺脸谱元素在现代设计中的应用,挖掘传统纹样潜在创新的同时满足市场及消费者对历史文化在现代设计中的需求。对凤翔马勺图案进行收集整理,运用形状文法对其进行代表性因子提取、推演、细化及再设计,丰富其表现形式之后运用到现代设计中。设计出具有创新性的凤翔马勺脸谱元素形象。将马勺脸谱图案元素与现代形象设计结合,旨在推动马勺脸谱文化的保护和发展,并为此类设计提供新的思路。 展开更多
关键词 马勺脸谱图案 凤翔 形状文法 形象设计 纹样创新
下载PDF
风沙两相流PIV测量算法研究 被引量:12
11
作者 王大伟 王元 杨斌 《力学学报》 EI CSCD 北大核心 2006年第3期302-308,共7页
在风沙两相流图像特征的基础上,提出了一种基于模式识别动态聚类方法中K-均值算法的数字面具 (Digital Mask)自动生成算法来求解风沙两相流动.简化了传统生成Digital Mask过程中手动设置参数的操作,减少了人为误差,为批量处理风沙两相... 在风沙两相流图像特征的基础上,提出了一种基于模式识别动态聚类方法中K-均值算法的数字面具 (Digital Mask)自动生成算法来求解风沙两相流动.简化了传统生成Digital Mask过程中手动设置参数的操作,减少了人为误差,为批量处理风沙两相流PIV图像提供了一种安全快捷的方法.并将该算法应用于风沙两相流的PIV实际测量,分别得到了不同流动状态下的气流、沙粒以及风沙气固两相流的速度场. 展开更多
关键词 风沙两相流 PIV DIGITAL mask 模式识别 K-均值算法
下载PDF
SU-8紫外深度光刻的误差及修正(英文) 被引量:4
12
作者 郑津津 陈有梅 +4 位作者 周洪军 田杨超 刘刚 李晓光 沈连婠 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1926-1931,共6页
在深紫外LIGA加工中,制作高精度大高宽比的微器件是很困难的。难点在于SU-8光刻胶对紫外光的吸收系数随着波长变短而很快变大,而且其穿透深度也相应迅速变小;同时由于紫外光的衍射效应,获得高精度的大高宽比结构并不容易。本文深入研究... 在深紫外LIGA加工中,制作高精度大高宽比的微器件是很困难的。难点在于SU-8光刻胶对紫外光的吸收系数随着波长变短而很快变大,而且其穿透深度也相应迅速变小;同时由于紫外光的衍射效应,获得高精度的大高宽比结构并不容易。本文深入研究了影响紫外深度光刻图形转移精度的如下因素:衍射效应、曝光剂量、紫外光波长和蝇眼透镜的分布等等。建立了基于模型区域的校正系统,该校正系统采用了分类分区域的思想将掩模图形按其畸变的特点进行了分类,在校正过程中对不同的类别分别建立校正区域,在每一校正区域内进行校正优化处理和校正评价,这种基于模型的分类分区域评价思想,使得校正过程有效且实时,该校正方法不仅降低了校正的复杂性,同时提高了校正的效率。 展开更多
关键词 SU-8光刻胶 紫外深度光刻 掩模 图形转移 误差修正
下载PDF
碳化硅ICP刻蚀的掩膜材料 被引量:6
13
作者 孙亚楠 石云波 +2 位作者 王华 任建军 杨阳 《微纳电子技术》 北大核心 2017年第7期499-504,共6页
SiC材料由于具有非常强的化学稳定性与机械硬度,不能用酸或碱性溶液对其进行腐蚀,在MEMS制备工艺中,通常采用干法刻蚀来制备SiC结构。针对干法刻蚀中遇到的问题,比较了光刻胶、Al和Ni等多种掩膜材料对SiC刻蚀的影响以及SiC与掩膜材料的... SiC材料由于具有非常强的化学稳定性与机械硬度,不能用酸或碱性溶液对其进行腐蚀,在MEMS制备工艺中,通常采用干法刻蚀来制备SiC结构。针对干法刻蚀中遇到的问题,比较了光刻胶、Al和Ni等多种掩膜材料对SiC刻蚀的影响以及SiC与掩膜材料的选择比。实验证明,光刻胶作为掩膜,与SiC的选择比约为1.67,并且得到的台阶垂直度较差。Al与SiC的选择比约为7,但是致密性差,并且有微掩膜效应。金属Ni与SiC的选择比约为20,并且得到的台阶比较垂直且刻蚀形貌良好。最后,使用Ni作为掩膜材料对SiC压阻式加速度传感器的背腔和压敏电阻进行了电感耦合等离子体(ICP)刻蚀。 展开更多
关键词 碳化硅(SiC) 电感耦合等离子体(ICP)刻蚀 掩膜图形化 选择比 刻蚀形貌
下载PDF
Moore响度模型的数值计算方法 被引量:18
14
作者 马元锋 陈克安 王娜 《声学技术》 CSCD 北大核心 2008年第3期390-395,共6页
响度是最重要的声音属性之一,响度的计算是进行客观评价的基础,也是计算大多数心理声学评价参数的基础,在心理声学和声品质评价等领域具有重要意义。文章对基于Moore模型的响度计算方法进行了详细研究,阐述了算法的基本原理和计算技巧,... 响度是最重要的声音属性之一,响度的计算是进行客观评价的基础,也是计算大多数心理声学评价参数的基础,在心理声学和声品质评价等领域具有重要意义。文章对基于Moore模型的响度计算方法进行了详细研究,阐述了算法的基本原理和计算技巧,给出了许多典型的计算结果,并对模型的改进提出了建议。 展开更多
关键词 Moore模型 响度 激励模型 掩蔽
下载PDF
面成型光固化快速成形技术发展的关键要素的研究现状 被引量:10
15
作者 宗学文 王丹 +1 位作者 肖涵 徐文博 《制造技术与机床》 北大核心 2017年第10期31-38,共8页
全面介绍了光固化技术的分类,针对扫描式光固化技术存在的问题,提出了面成型技术的概念,指出了面成型工艺的优势以及存在的问题;阐述了面成型工艺的组成部分,根据制造基准面的不同,面成型工艺方法可以分为自由液面式和约束液面式,并针... 全面介绍了光固化技术的分类,针对扫描式光固化技术存在的问题,提出了面成型技术的概念,指出了面成型工艺的优势以及存在的问题;阐述了面成型工艺的组成部分,根据制造基准面的不同,面成型工艺方法可以分为自由液面式和约束液面式,并针对两种成型方式的优缺点进行了对比;以精度为衡量指标,重点介绍了影响面成型工艺精度的掩模图形精度、光源与树脂匹配性、升降台运动精度的国内外研究现状;以强度为衡量指标,阐述了扫描式光固化强度的研究现状、面成型光固化树脂收缩变形以及面成型工艺强度优化方法的研究现状;最后,根据以上的分析对面成型技术未来的发展进行了展望,提出了连续液面生长技术的概念,未来面成型工艺需要解决的问题包括氧阻聚膜厚的控制、加工分辨率的提高、光源的改变。 展开更多
关键词 面成型 精度 掩模图形 强度 氧阻聚
下载PDF
基于可变形部件模板的扣件状态识别 被引量:4
16
作者 何彪 李柏林 +1 位作者 熊鹰 范宏 《铁道学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期91-96,共6页
针对在铁路钢轨扣件状态自动识别中断裂扣件与正常扣件难以区分的问题,基于DPM算法思路提出DPTM算法用于扣件状态自动检测。为屏蔽扣件图像中背景区域的干扰,根据扣件几何形状设计相应的掩膜模板,并对扣件进行分块得到扣件部件模型。采... 针对在铁路钢轨扣件状态自动识别中断裂扣件与正常扣件难以区分的问题,基于DPM算法思路提出DPTM算法用于扣件状态自动检测。为屏蔽扣件图像中背景区域的干扰,根据扣件几何形状设计相应的掩膜模板,并对扣件进行分块得到扣件部件模型。采用弹簧模型度量部件之间相对位置关系、余弦相似性度量HOG特征点之间的相似度,加权融合特征点相似度得到部件相似度,根据各个部件重要性的权重系数组合建立扣件状态分类准则。理论分析和实验结果表明,DPTM算法能够较好地区分正常、断裂和丢失三种状态的扣件,并在优先保证较低漏检率的同时取得较低的误检率。 展开更多
关键词 扣件 可变形部件 掩膜模板 模式识别 余弦相似性
下载PDF
基于萍乡傩面具纹样的旅游商品开发研究 被引量:6
17
作者 谢琼梅 姚松奇 《包装工程》 CAS 北大核心 2018年第8期232-237,共6页
目的在保护萍乡傩活态生存的地方民俗环境下,对萍乡傩面具纹样的旅游商品进行开发研究,通过实地考察、调研、分析来论证地方特色礼品包装的合理性和可行性。方法寻找萍乡傩面具纹样在历史发展演变和纹样类别特征研究两条线索帮助人们在... 目的在保护萍乡傩活态生存的地方民俗环境下,对萍乡傩面具纹样的旅游商品进行开发研究,通过实地考察、调研、分析来论证地方特色礼品包装的合理性和可行性。方法寻找萍乡傩面具纹样在历史发展演变和纹样类别特征研究两条线索帮助人们在地域特色旅游商品设计开发过程中理清思路和提供研究基础,为萍乡傩面具合理的保护和发展提供文脉传承的有益探索;通过对萍乡傩面具特色旅游商品市场现状分析和具体旅游商品开发案例的研究探讨地域文化对旅游商品设计创作的影响,帮助设计师在设计具有地域特色旅游商品时获得设计思路和案例借鉴。结论借助特色旅游商品创新设计思维,将旅游商品设计的符号化和情感化作为重要的思路与方法,创造富含地域文化情感和特色的旅游商品。 展开更多
关键词 萍乡傩面具 纹样 旅游商品
下载PDF
论楚国丝绸中的蟠龙飞凤纹与商周兽面纹的传承关系 被引量:4
18
作者 张庆 方敏 杨朝辉 《丝绸》 CAS CSCD 北大核心 2020年第1期55-61,共7页
蟠龙飞凤纹出自战国时期马山1号楚墓,构图精巧,装饰华丽,是先秦时期风格独特的纹样类型。通过分析图像中的各个构成元素,分别从题材、构图等角度比较蟠龙飞凤纹和商代、西周青铜器中流行的系列兽面纹,可知楚国丝绸中的蟠龙飞凤纹由兽面... 蟠龙飞凤纹出自战国时期马山1号楚墓,构图精巧,装饰华丽,是先秦时期风格独特的纹样类型。通过分析图像中的各个构成元素,分别从题材、构图等角度比较蟠龙飞凤纹和商代、西周青铜器中流行的系列兽面纹,可知楚国丝绸中的蟠龙飞凤纹由兽面纹演变而来,其中延续了商代、西周的文化基因,表现了以北极星为中心、龙凤为辅的星象系统,在题材种类、造型方式、色彩等方面融入了楚人的审美喜好,主要体现了楚人的天体崇拜理念,最终也证明商、西周、楚国的纹样之间存在清晰的传承关系。 展开更多
关键词 楚国丝绸 蟠龙飞凤纹 商周兽面纹 天体崇拜 传承关系
下载PDF
大面积复杂掩模图形的快速光刻仿真研究 被引量:1
19
作者 李木军 沈连婠 +2 位作者 赵玮 郑津津 周杰 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期671-677,共7页
大面积复杂掩模图形的光刻仿真,要同时满足高精度和高效率两个要求。为克服现有方法积分区域大,计算效率低等问题,提出了一种基于最有效影响区域的简化计算方法。该方法首先利用波前分割的方法确定影响光刻胶目标场点光强的最有效影响区... 大面积复杂掩模图形的光刻仿真,要同时满足高精度和高效率两个要求。为克服现有方法积分区域大,计算效率低等问题,提出了一种基于最有效影响区域的简化计算方法。该方法首先利用波前分割的方法确定影响光刻胶目标场点光强的最有效影响区域,以此局部区域替代原来的整体积分区域作光强的计算,将积分区域由整个掩模图形缩小为图形的一小部分。试验结果表明,该算法与现有方法比较,精度上非常接近,但速度显著加快,且稳定可靠。该方法能够快速准确地对大面积复杂掩模图形进行光刻仿真,具有重要的应用价值。 展开更多
关键词 光刻仿真 复杂掩模图形 波前分割 计算效率
下载PDF
基于ITO掩膜的键合片深硅刻蚀 被引量:2
20
作者 蔡萌 司朝伟 +2 位作者 韩国威 宁瑾 杨富华 《微纳电子技术》 北大核心 2020年第11期905-910,共6页
提出了用氧化铟锡(ITO)作为掩膜对硅与玻璃的键合片进行深硅刻蚀的工艺。ITO薄膜采用直流溅射工艺常温生长,避免了传统等离子体化学气相沉积(PECVD)方式生长氧化硅掩膜高温对器件制备造成的影响。对不同的ITO薄膜图形化方式进行了研究,... 提出了用氧化铟锡(ITO)作为掩膜对硅与玻璃的键合片进行深硅刻蚀的工艺。ITO薄膜采用直流溅射工艺常温生长,避免了传统等离子体化学气相沉积(PECVD)方式生长氧化硅掩膜高温对器件制备造成的影响。对不同的ITO薄膜图形化方式进行了研究,结果表明垂直或正锥形台阶的光刻胶剥离工艺制备的ITO薄膜边缘光滑,尺寸误差小,是实现ITO薄膜图形化的理想方式。进一步研究了基于ITO掩膜的键合片深硅刻蚀能力,在硅刻蚀深度达到150μm时,掩膜只消耗了5.66 nm,刻蚀选择比高达26500∶1,没有发现微掩膜效应。因此利用ITO掩膜实现键合片的深硅刻蚀,掩膜的生长和图形化都在常温下进行,特别适合基于硅玻璃(SOG)键合刻蚀工艺的MEMS器件制备。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 键合片 深硅刻蚀 氧化铟锡(ITO)掩膜 图形化 刻蚀选择比
下载PDF
上一页 1 2 5 下一页 到第
使用帮助 返回顶部