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题名电容式微加速度计开环模式的非线性模型
被引量:2
- 1
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作者
戴强
王向展
罗谦
杨洪东
杨谟华
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机构
电子科技大学微电子与固体电子学院
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期512-515,共4页
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基金
国防科技重点实验室基金资助(51439010204DZ0219)
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文摘
针对当前电容式微加速度计量程不高、开环模式非线性误差大的特点,根据力学理论和电路读出原理,并基于非线性特性中最大可测量加速度、初始工作点和吸合点与动定电极间距d的变化规律,提出了电容式微加速度计非线性模型.模型指出,随着输出电压的增加,可测量加速度近似成线性增加,在靠近最大可测量加速度αmax时斜率增大,其后随输出电压的增加而减小至吸合点;αmax由d和微结构梁弹性常数与质量之比λ决定,且d的作用优于λ;d在小于初始工作点时加速度计不能工作,该点由传感头参数η决定,且η的最佳取值范围为1×1019~2×1019,此时准静态条件下吸合点大于整个动电极行程的95%.该模型的提出对开环式加速度计的非线性误差纠正提供了理论支持,对加速度计的结构设计具有参考价值.
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关键词
电容式微加速度计
非线性模型
开环模式
输入输出特性曲线
最大可测加速度
初始工作点
吸合点
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Keywords
micro-machined capacitive accelerometer nonlinear model open-loop mode input and output characteristic curve maximum measurand acceleration critical point pull in point
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分类号
TN401
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名测量系统中的DSP的开发环境
被引量:1
- 2
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作者
吴建华
李华
王延明
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机构
东北大学
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出处
《测试技术学报》
1996年第2期516-520,共5页
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文摘
数字信号处理器(DSP)用于实现被测量重构,成为测量系统的组成部分。本文介绍了被测量重构的意义及算法,介绍了一个测量系统中的DSP的开发环境,并对这个环境的主要部分作了说明。
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关键词
数字信号处理器
被测量重构算法
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Keywords
Digital signal processor, measurand reconstruction Algorithm
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分类号
TP332
[自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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题名基于神经网络的被测量重构方法研究
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作者
温明会
张铁岩
王晓文
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机构
沈阳电力高等专科学校电力系
沈阳电力高等专科学校
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出处
《沈阳工程学院学报(自然科学版)》
2001年第1期8-11,共4页
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文摘
提出了基于神经网络的被测量重构方法 ;针对神经网络中误差反向传播算法收敛速度慢的问题对目标函数等三方面进行了改进 ,将改进的多层前向网络、误差反向传播算法用于被测量重构。在实际的测量系统中 ,进行了仿真研究 ,结果表明 ,神经网络用于被测量重构 ,方法是可行的 ;解决了重构之前建立数学模型问题和多影响量情况下的被测量重构问题。
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关键词
被测量重构
神经网络
方法
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Keywords
measurand reconstruction
neural network
algorithm
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分类号
TM7-55
[电气工程—电力系统及自动化]
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题名OEM压力传感器零点输出失效原因分析
被引量:2
- 4
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作者
徐淑霞
王彤
胡竞
马文龙
常伟
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机构
沈阳仪表科学研究院
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009年第B11期72-73,共2页
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文摘
OEM硅压阻压力传感器是采用半导体平面工艺和微机械加工工艺及传感器专用封装工艺制造的。因此不合格传感器的失效原因是很复杂的。在长期从事传感器质量检验过程中,归纳出不合格的主要原因是零点输出发生变化。文中尝试从半导体工艺原理和制造工艺方面对不合格品的失效原因进行分析,并提出相应的改进方法。
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关键词
压力传感器
零点输出
失效
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Keywords
pressure sensor
zero-measurand output
failure
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名浅谈测量不确定度在化学检测领域的应用及评定
被引量:2
- 5
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作者
占丽霞
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机构
欧陆检测技术服务(上海)有限公司
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出处
《广东化工》
CAS
2014年第14期210-210,230,共2页
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文摘
文章根据测量不确定度的相关知识,并举例介绍了化学分析检测领域测量不确定的简化评估及其表述,阐述了测量不确定度与误差的区别与联系,以及不确定度在化学检测领域的应用。
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关键词
化学检测
被测量
测量结果
测量不确度度
误差
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Keywords
chemical testing
measurand
measurement result
measurement uncertainty
error
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分类号
O65
[理学—分析化学]
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