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Ohmic contacts for atomically-thin transition metal dichalcogenide semiconductors
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作者 Ning Wang 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2020年第7期1-3,共3页
Motivated by the success of graphene research,atomically-thin transition metal dichalcogenide(TMDC)semiconductors are considered as promising field-effect transistor(FET)channel materials for fundamental research and ... Motivated by the success of graphene research,atomically-thin transition metal dichalcogenide(TMDC)semiconductors are considered as promising field-effect transistor(FET)channel materials for fundamental research and potential applications.Bridging atomically-thin TMDC channels to external circuitry using metallic leads is one of the most critical steps towards high-performance devices and cutting-edge materials physics research. 展开更多
关键词 Ohmic contacts atomically-thin transition metal semiconductorS
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不同相NbS_(2)与GeS_(2)构成的二维金属-半导体异质结的电接触性质
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作者 李景辉 曹胜果 +2 位作者 韩佳凝 李占海 张振华 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第13期238-250,共13页
金属-半导体异质结(MSJ)是研发新型器件的基础.本文考虑利用不同相的金属H-和T-NbS_(2)与半导体GeS_(2)组成不同的二维范德瓦耳斯MSJ,并对它们的结构稳定性、电子特性以及电接触性质进行深入研究,重点在探索MSJ电接触性质对不同相金属... 金属-半导体异质结(MSJ)是研发新型器件的基础.本文考虑利用不同相的金属H-和T-NbS_(2)与半导体GeS_(2)组成不同的二维范德瓦耳斯MSJ,并对它们的结构稳定性、电子特性以及电接触性质进行深入研究,重点在探索MSJ电接触性质对不同相金属的依赖关系.计算的结合能、声子谱、AIMD模拟以及力学性质研究表明,两异质结高度稳定,可实验制备,且用于电子器件设计可行.本征态H-NbS_(2)/GeS_(2)和T-NbS_(2)/GeS_(2)异质结分别形成了p型肖特基接触和准n型欧姆接触.同时发现它们的肖特基势垒高度(SBH)和电接触类型可以通过外加电场和双轴应变来有效调控.例如,对于H-NbS_(2)/GeS_(2)异质结,无论施加正/负电场或平面双轴压缩,均能实现欧姆接触,而T-NbS_(2)/GeS_(2)异质结,仅在施加负电场时,才能实现欧姆接触,但需要的负电场很低,平面双轴拉伸能导致其实现准欧姆接触.也就是说,当以半导体GeS_(2)单层为场效应晶体管沟道材料,与不同相的金属NbS_(2)接触形成MSJ时,其界面肖特基势垒有明显区别,且在不同情形(本征或物理调控)中各有优势.所以,本研究对于理解H(T)-NbS_(2)/GeS_(2)异质结电接触的物理机制具有重要意义,特别是为如何选择合适金属电极以研发高性能电子器件提供了理论参考. 展开更多
关键词 金属-半导体异质结 肖特基势垒 肖特基接触 欧姆接触 物理场调控
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Universal transfer of full-class metal electrodes for barrier-free two-dimensional semiconductor contacts
3
作者 Mengyu Hong Xiankun Zhang +7 位作者 Yu Geng Yunan Wang Xiaofu Wei Li Gao Huihui Yu Zhihong Cao Zheng Zhang Yue Zhang 《InfoMat》 SCIE CSCD 2024年第1期96-107,共12页
Metal–semiconductor contacts are crucial components in semiconductor devices.Ultrathin two-dimensional transition-metal dichalcogenide semiconductors can sustain transistor scaling for next-generation integrated circ... Metal–semiconductor contacts are crucial components in semiconductor devices.Ultrathin two-dimensional transition-metal dichalcogenide semiconductors can sustain transistor scaling for next-generation integrated circuits.However,their performance is often degraded by conventional metal deposition,which results in a high barrier due to chemical disorder and Fermi-level pinning(FLP).Although,transferring electrodes can address these issues,they are limited in achieving universal transfer of full-class metals due to strong adhesion between pre-deposited metals and substrates.Here,we propose a nanobelt-assisted transfer strategy that can avoid the adhesion limitation and enables the universal transfer of over 20 different types of electrodes.Our contacts obey the Schottky–Mott rule and exhibit a FLP of S=0.99.Both the electron and hole contacts show record-low Schottky barriers of 4.2 and 11.2 meV,respectively.As a demonstration,we construct a doping-free WSe_(2) inverter with these high-performance contacts,which exhibits a static power consumption of only 58 pW.This strategy provides a universal method of electrode preparation for building high-performance post-Moore electronic devices. 展开更多
关键词 metal electrode transfer metalsemiconductor contacts Schottky barrier two-dimensional semiconductors
原文传递
Electronic properties of the SnSe–metal contacts:First-principles study
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作者 戴宪起 王小龙 +1 位作者 李伟 王天兴 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第11期473-477,共5页
The geometries and electronic properties of SnSe/metal contact have been investigated using first-principles calcula- tion. It is found that the geometries of monolayer SnSe were affected slightly when SnSe adsorbs on... The geometries and electronic properties of SnSe/metal contact have been investigated using first-principles calcula- tion. It is found that the geometries of monolayer SnSe were affected slightly when SnSe adsorbs on M (M = Ag,Au,Ta) substrate. Compared with the corresponding free-standing monolayer SnSe, the adsorbed SnSe undergoes a semiconductor- to-metal transition. The potential difference AV indicates that SnSefra contact is the best candidate for the Schottky contact of the three SnSe/M contacts. Two types of current-in-plane (CIP) structure, where a freestanding monolayer SnSe is con- nected to SnSe/M, are identified as the n-type CIP structure in SnSe/Ag contact and p-type CIP structure in SnSe/Au and SnSe/Ta contact. The results can stimulate further investigation for the multifunctional SnSe/metal contact. 展开更多
关键词 FIRST-PRINCIPLES monolayer SnSe metal-semiconductor contact current-in-plane structure
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Drain-induced barrier lowering effect for short channel dual material gate 4H silicon carbide metal-semiconductor field-effect transistor
5
作者 张现军 杨银堂 +3 位作者 段宝兴 柴常春 宋坤 陈斌 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第9期455-459,共5页
Sub-threshold characteristics of the dual material gate 4H-SiC MESFET (DMGFET) are investigated and the analytical models to describe the drain-induced barrier lowering (DIBL) effect are derived by solving one- an... Sub-threshold characteristics of the dual material gate 4H-SiC MESFET (DMGFET) are investigated and the analytical models to describe the drain-induced barrier lowering (DIBL) effect are derived by solving one- and two- dimensional Poisson's equations. Using these models, we calculate the bottom potential of the channel and the threshold voltage shift, which characterize the drain-induced barrier lowering (DIBL) effect. The calculated results reveal that the dual material gate (DMG) structure alleviates the deterioration of the threshold voltage and thus suppresses the DIBL effect due to the introduced step function, which originates from the work function difference of the two gate materials when compared with the conventional single material gate metal-semiconductor field-effect transistor (SMGFET). 展开更多
关键词 silicon carbide metal-semiconductor contact dual material gate
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Study of electrophysical properties of metal–semiconductor contact by the theory of complex systems
6
作者 Sh.G.Askerov L.K.Abdullayeva M.G.Hasanov 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2020年第10期17-20,共4页
The purpose of this work is to analyze the electrical properties of the metal–semiconductor contact(MSC)in the framework of the theory of complex systems.The effect of inhomogeneity of the different microstructures:p... The purpose of this work is to analyze the electrical properties of the metal–semiconductor contact(MSC)in the framework of the theory of complex systems.The effect of inhomogeneity of the different microstructures:polycrystalline,monocrystalline,amorphous metal–semiconductor contact surface is investigated,considering a Schottky diode(SD)as a parallel connection of numerous subdiodes.It has been shown that the polycrystallinity of the metal translates a homogeneous contact into a complex system,which consists of parallel connected numerous elementary contacts having different properties and parameters. 展开更多
关键词 Schottky diode metalsemiconductor contact current–voltage characteristics interfaces HETEROGENEITY complex systems
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测量计算金属-半导体接触电阻率的方法 被引量:13
7
作者 李鸿渐 石瑛 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期155-159,共5页
如何测量、计算得到精确接触电阻值已凸显重要。介绍了多种测量计算金属-半导体欧姆接触电阻率的模型和方法,如矩形传输线模型、圆点传输线模型、多圆环传输线模型等,对各方法的利弊进行了讨论,并结合最新的研究进展进行了评述和归纳。... 如何测量、计算得到精确接触电阻值已凸显重要。介绍了多种测量计算金属-半导体欧姆接触电阻率的模型和方法,如矩形传输线模型、圆点传输线模型、多圆环传输线模型等,对各方法的利弊进行了讨论,并结合最新的研究进展进行了评述和归纳。综合多种因素考虑,认为圆点传输线模型是一种较好的测量金属半导体接触电阻率的方法。 展开更多
关键词 金属-半导体接触 接触电阻率 传输线模型
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蒙特卡罗方法模拟金属-半导体接触的直接隧穿效应(英文) 被引量:2
8
作者 孙雷 杜刚 +1 位作者 刘晓彦 韩汝琦 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第11期1364-1368,共5页
运用自洽的蒙特卡罗方法模拟了肖特基接触的隧穿效应 .模拟的内容包括具有不同的势垒高度的金属 -半导体接触在正向和反向偏置下的工作状态 .分析模拟结果可知 ,隧穿电流在反向偏置下起主要的作用 .同时还模拟了引入肖特基效应后 ,SBD... 运用自洽的蒙特卡罗方法模拟了肖特基接触的隧穿效应 .模拟的内容包括具有不同的势垒高度的金属 -半导体接触在正向和反向偏置下的工作状态 .分析模拟结果可知 ,隧穿电流在反向偏置下起主要的作用 .同时还模拟了引入肖特基效应后 ,SBD的工作特性 ,验证了模拟使用的物理模型 .得到了与理论计算值符合的模拟结果 .分析模拟结果表明 ,由于肖特基效应形成的金属 -半导体接触势垒的降低 ,会在很大程度上影响金属 展开更多
关键词 蒙特卡罗法 金属-半导体接触 直接隧穿效应 Schottky效应
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退火对不同金属薄膜上的BN/MoS_(2)异质结构形貌、结构和电性能的影响
9
作者 刘春泉 熊芬 +5 位作者 马佳仪 周锦添 蒋玉琳 贺紫怡 陈敏纳 张颖 《材料热处理学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期142-151,共10页
以过渡金属硫化物、氮化硼等二维层状材料为基础,研究了一种简单可靠的集成电路制造方法。在这项工作中,采用射频磁控溅射在室温下逐层制备了M/BN/MoS_(2)(M=Al、Ti、Mo和Ag)纳米薄膜,其中BN/MoS_(2)为未发生化学反应的异质结构,然后在... 以过渡金属硫化物、氮化硼等二维层状材料为基础,研究了一种简单可靠的集成电路制造方法。在这项工作中,采用射频磁控溅射在室温下逐层制备了M/BN/MoS_(2)(M=Al、Ti、Mo和Ag)纳米薄膜,其中BN/MoS_(2)为未发生化学反应的异质结构,然后在500℃进行退火。结果表明:所制备的金属(Al、Ti、Mo和Ag)、BN和MoS_(2)薄膜均匀连续,特别是BN/MoS_(2)异质结构界面清晰、结合紧密。退火后,顶层MoS_(2)薄膜颗粒大小、粗糙度和结晶性显著提高,且杂质减少甚至消失,其中Ag/BN膜基底上MoS_(2)薄膜结晶性最好,且出现了较大的片层状形态。电性能测试显示金属/BN和BN/MoS_(2)异质结构界面的肖特基势垒使得样品的I-V特性曲线呈明显的非线性。Ti基由于退火后氧化,电阻率最大,Mo基功函数最大,电阻率其次,Ag基功函数相对较低所以电阻率较低,而Al则由于低的功函数、结构匹配及载流子浓度等因素导致其电阻率最低。 展开更多
关键词 BN/MoS_(2)异质结构 金半接触 连续逐层沉积 退火 射频磁控溅射
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电子显微镜在金属-半导体纳米线界面原位合金化中的应用
10
作者 王岩国 《分析仪器》 CAS 2012年第5期23-27,共5页
利用原位电子显微方法研究了金属-ZnSe半导体纳米线界面合金化过程,结果表明:在脉冲电流的作用下,ZnSe纳米线可以产生明显的焦耳热效应,导致金属-ZnSe纳米线界面发生合金化反应。通过调整纳米线与金属电极的接触面积,可将焦耳热效应准... 利用原位电子显微方法研究了金属-ZnSe半导体纳米线界面合金化过程,结果表明:在脉冲电流的作用下,ZnSe纳米线可以产生明显的焦耳热效应,导致金属-ZnSe纳米线界面发生合金化反应。通过调整纳米线与金属电极的接触面积,可将焦耳热效应准确控制在界面内,进而实现纳米尺度的合金化反应。 展开更多
关键词 电子显微镜 原位合金化 金属-半导体界面
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金属-砷化镓研究
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作者 许振嘉 《半导体情报》 1992年第6期6-9,56,共5页
本文评述了金属-半导体接触的各种机理以及这个接触在半导体枝术中的实际应用。
关键词 金属-半导体 欧姆接触 砷化镓
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β-Ga2O3欧姆接触的研究进展 被引量:1
12
作者 杨凯 刁华彬 +1 位作者 赵超 罗军 《微纳电子技术》 北大核心 2019年第9期681-690,共10页
近年来,随着氧化镓(Ga2O3)晶体生长技术取得突破性进展,氧化镓材料及器件的研究与应用成为国际上超宽禁带半导体领域的研究热点。综述了β-Ga2O3衬底的一些优点以及面临的挑战,重点介绍了如何实现良好的欧姆接触。围绕采用低功函数金属... 近年来,随着氧化镓(Ga2O3)晶体生长技术取得突破性进展,氧化镓材料及器件的研究与应用成为国际上超宽禁带半导体领域的研究热点。综述了β-Ga2O3衬底的一些优点以及面临的挑战,重点介绍了如何实现良好的欧姆接触。围绕采用低功函数金属、表面预处理、衬底掺杂和引入中间层的方法,阐述了目前国际上金属/β-Ga2O3欧姆接触的最新研究进展。总结了不同实验条件下可以获得的比接触电阻,目前可以获得的最低比接触电阻是4.6×10^-6Ω·cm^2。最后,预测未来金属/β-Ga2O3欧姆接触的主要研究方向是提高欧姆接触的热稳定性。 展开更多
关键词 β-Ga2O3 欧姆接触 功率器件 金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET) 金属电极
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半导体物理学课程课内创新实践探究--以金属/半导体的肖特基接触为例
13
作者 张胜利 石晓琴 +1 位作者 李静 曾海波 《高教学刊》 2022年第29期35-38,共4页
在当前我国半导体行业人才紧缺的背景下,如何培养高质量的本科人才是每一位高校教师都应深刻思考的问题。为进一步提高教学质量,在半导体物理学课程中开设课内创新实践,该文以金属/半导体的肖特基接触为例进行探究。学生通过这种案例式... 在当前我国半导体行业人才紧缺的背景下,如何培养高质量的本科人才是每一位高校教师都应深刻思考的问题。为进一步提高教学质量,在半导体物理学课程中开设课内创新实践,该文以金属/半导体的肖特基接触为例进行探究。学生通过这种案例式创新实践得到一次工程锻炼,激发学生的主观能动性,对于培养学生的创新能力和工程实践能力提供一定的保障。 展开更多
关键词 半导体物理学 课内创新实践 肖特基接触 金属 半导体
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Physical model for the exotic ultraviolet photo-conductivity of ZnO nanowire films
14
作者 潘跃武 任守田 +1 位作者 曲士良 王强 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第11期634-639,共6页
Employing a simple and efficient method of electro-chemical anodization, ZnO nanowire films are fabricated on Zn foil, and an ultraviolet (UV) sensor prototype is formed for investigating the electronic transport th... Employing a simple and efficient method of electro-chemical anodization, ZnO nanowire films are fabricated on Zn foil, and an ultraviolet (UV) sensor prototype is formed for investigating the electronic transport through back-to-back double junctions. The UV (365 nm) responses of surface-contacted ZnO film are provided by I-V measurement, along with the current evolution process by on/off of UV illumination. In this paper, the back-to-back metal-seconductor-metal (M-S-M) model is used to explain the electronic transport of a ZnO nanowire film based structure. A thermionic-field electron emission mechanism is employed to fit and explain the as-observed UV sensitive electronic transport properties of ZnO film with surface-modulation by oxygen and water molecular coverage. 展开更多
关键词 ZnO nanowires metal-semiconductor-metal contact water modulated surface barrier thermionic-field electron emission
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金刚石肖特基二极管的研究进展
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作者 彭博 李奇 +3 位作者 张舒淼 樊叔维 王若铮 王宏兴 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第5期732-745,共14页
金刚石具有宽带隙(5.47 eV)、高载流子迁移率(空穴3800 cm^(2)/(V·s)、电子4500 cm^(2)/(V·s))、高热导率(22 W·cm^(-1)·K^(-1))、高临界击穿场强(>10 MV/cm),以及最优的Baliga器件品质因子,使得金刚石半导体器... 金刚石具有宽带隙(5.47 eV)、高载流子迁移率(空穴3800 cm^(2)/(V·s)、电子4500 cm^(2)/(V·s))、高热导率(22 W·cm^(-1)·K^(-1))、高临界击穿场强(>10 MV/cm),以及最优的Baliga器件品质因子,使得金刚石半导体器件在高温、高频、高功率,以及抗辐照等极端条件下有良好的应用前景。随着单晶金刚石CVD生长技术和p型掺杂的突破,以硼掺杂金刚石为主的肖特基二极管(SBD)的研究广泛展开。本文详细介绍了金刚石SBD的工作原理,探讨了高掺杂p型厚膜、低掺杂漂移区p型薄膜的生长工艺,研究了不同金属与金刚石形成欧姆接触、肖特基接触的条件,分析了横向、垂直、准垂直器件结构的制备工艺,以及不同结构对SBD正向、反向、击穿特性的影响,阐述了场板、钝化层、边缘终端等器件结构对SBD内部电场的调制作用,进而提升器件反向击穿电压,最后总结了金刚石SBD的应用前景及面临的挑战。 展开更多
关键词 金刚石 肖特基二极管 金属-半导体接触 场板 钝化层 边缘终端
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基于应变锗的金属—半导体—金属光电探测器
16
作者 李鸿翔 张倩 +1 位作者 刘冠宇 薛忠营 《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第9期747-754,共8页
通过对锗(Ge)半导体材料进行拉伸应变和n型掺杂,可以提高其电子迁移率和发光性能。将薄膜卷曲技术与微电子加工技术相结合,制备出悬浮的Ge微米带结构,实现了单轴和双轴2种不同的应变状态,并且可以通过调整光刻图案来控制Ge的应变状态和... 通过对锗(Ge)半导体材料进行拉伸应变和n型掺杂,可以提高其电子迁移率和发光性能。将薄膜卷曲技术与微电子加工技术相结合,制备出悬浮的Ge微米带结构,实现了单轴和双轴2种不同的应变状态,并且可以通过调整光刻图案来控制Ge的应变状态和大小。利用这一方法,制备出了高性能双轴应变Ge对称型肖特基接触金属-半导体-金属(MSM)光电探测器。经测试,在1 V偏压和入射功率为1 000 nW的863 nm激光下,该探测器具有低至nA量级的暗电流和高达713的电流开/关比。该性能的实现主要是依赖于双轴应变和掺杂对Ge能带的修饰。研究结果展示了应变Ge在光电探测领域的优势,也证明了其在Si兼容光学通信设备中的应用潜力。 展开更多
关键词 绝缘体上锗(GOI) 应变锗(Ge) 肖特基接触 光电探测器 金属-半导体-金属(MSM)
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95%Ar+5%H_(2)气氛中退火对M/MoS_(2)(M=Ti、Al、Mo和Ag)薄膜形貌、结构和电学性能的影响
17
作者 刘春泉 熊芬 +4 位作者 周锦添 张颖 林思源 李飞 周文萍 《材料热处理学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第10期174-182,共9页
采用射频(RF)磁控溅射在硅基片上连续逐层沉积制备了M/MoS_(2)(M=Ti、Al、Mo和Ag)纳米薄膜,随后对其在95%Ar+5%H_(2)混合气氛中进行了500℃的退火处理。采用原子力显微镜(AFM)、扫描电镜(SEM)、拉曼光谱(Raman)、X射线光电子能谱(XPS)... 采用射频(RF)磁控溅射在硅基片上连续逐层沉积制备了M/MoS_(2)(M=Ti、Al、Mo和Ag)纳米薄膜,随后对其在95%Ar+5%H_(2)混合气氛中进行了500℃的退火处理。采用原子力显微镜(AFM)、扫描电镜(SEM)、拉曼光谱(Raman)、X射线光电子能谱(XPS)和两探针等研究了退火处理及不同金属膜基底对MoS_(2)薄膜表面形貌、结构和金半接触电性能的影响。结果表明:所制备的纳米膜均匀且连续,界面紧密且清洁;95%Ar+5%H_(2)混合气氛中退火处理能强烈影响顶部MoS_(2)层的形貌并可有效去除MoS_(2)中的杂质氧,改善其结晶性、稳定性和结构完整性;拉曼光谱结果显示在4种金属基底上的MoS_(2)薄膜均为块状结构,其中Ag和Mo基底上的MoS_(2)薄膜结晶性相对较好,Ag基底上MoS_(2)薄膜出现了呈片层与颗粒的混合形态;对比实验数据和综合性能得出Mo作为MoS_(2)的组成元素,与MoS_(2)金半接触电阻最低更适合作为MoS_(2)基电子器件的电极材料。 展开更多
关键词 M/MoS_(2)薄膜 金半接触 连续逐层沉积 退火
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Silicon-processes-compatible contact engineering for twodimensional materials integrated circuits
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作者 Li Gao Zhangyi Chen +3 位作者 Chao Chen Xiankun Zhang Zheng Zhang Yue Zhang 《Nano Research》 SCIE EI CSCD 2023年第11期12471-12490,共20页
Two-dimensional(2D)semiconductors,especially transition metal dichalcogenides(TMDCs),have been proven to be excellent channel materials for the next-generation integrated circuit(IC).However,the contact problem betwee... Two-dimensional(2D)semiconductors,especially transition metal dichalcogenides(TMDCs),have been proven to be excellent channel materials for the next-generation integrated circuit(IC).However,the contact problem between 2D TMDCs and metal electrodes has always been one of the main factors restricting their development.In this review,we summarized recent work on 2D TMDCs contact from the perspective of compatible integration with silicon processes and practical application requirements,including the contact performance evaluation indicators,special challenges encountered in 2D TMDCs,and recent optimization methods.Specifically,we sorted out and highlighted the performance indicators of 2D TMDCs contacts,including contact resistance(RC),contact scaling,contact stability,and contact electrical/thermal conductivity.Special challenges of 2D TMDCs and metal contact,such as severe Fermi level pinning,large RC,and difficult doping,are systematically discussed.Furthermore,typical methods for optimizing 2D TMDCs RC,edge contact strategies for scaling contact lengths,and solutions for improving contact stability are reviewed.Based on the current research and problems,the development direction of 2D TMDCs contacts that meet the silicon-based compatible process and application performance requirements is proposed. 展开更多
关键词 two-dimensional(2D)semiconductors transition metal dichalcogenides field effect transistors contact engineering
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CTLM测量金属/半导体欧姆接触电阻率 被引量:6
19
作者 孙燕杰 何山虎 +3 位作者 甄聪棉 龚恒翔 杨映虎 王印月 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第4期241-244,共4页
系统地介绍了用圆形传输线模型( C T L M) 测量金属/ 半导体欧姆接触电阻率的基本原理。以 Al/ Si 接触为例研究了不同掺杂浓度和不同温度退火对接触特性和接触电阻率ρ C 的影响。测量得到 Al/ Si 欧姆接触电阻率的... 系统地介绍了用圆形传输线模型( C T L M) 测量金属/ 半导体欧姆接触电阻率的基本原理。以 Al/ Si 接触为例研究了不同掺杂浓度和不同温度退火对接触特性和接触电阻率ρ C 的影响。测量得到 Al/ Si 欧姆接触电阻率的最小值约为2 .4 ×10 - 5 Ω·cm 2 。 展开更多
关键词 圆形传输线模型 金属/半导体接触 接触电阻率
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欧姆接触电阻率测量方法的比较研究 被引量:4
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作者 赵安邦 谭开洲 吴国增 《重庆邮电大学学报(自然科学版)》 2006年第z1期238-241,共4页
根据材料的厚度对金属-半导体间的欧姆接触电阻率的测量方法做了分类,并分别介绍了各种方法的原理。分析了它们的误差形成原因以及对结果的影响,比较了它们的优劣,探讨了在不同情况下最合适的办法。
关键词 金属-半导体 欧姆接触 接触电阻率 传输线模型法
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