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Solid-liquid solvent extraction of metal ions 被引量:1
1
作者 Bo Peng, Haiyan Fan, and Jinzhang GaoDepartment of Chemistry, Northwest Normal University, Lanzhou 730070, China 《Journal of University of Science and Technology Beijing》 CSCD 2003年第3期1-7,共7页
An overview of extraction of some trace metal ions using molten solvent (lowmelting substance) during last two decades is presented. The development of this technique since itsinception is briefly traced. The comparis... An overview of extraction of some trace metal ions using molten solvent (lowmelting substance) during last two decades is presented. The development of this technique since itsinception is briefly traced. The comparison of extraction efficiency, thermodynamics and kineticsmainly involving extraction of rare earth ions between molten solvent extraction at high temperatureand usual liquid-liquid extraction at room temperature are discussed in detail. The variousparameters obtained from the previous and present studies such as equilibrium extraction constantK_(ex), pH_(1/2), thermodynamic and kinetic data are displayed in tabular form. Finally, the currentdemands, disadvantages and future prospects are also evaluated. 展开更多
关键词 solid-liquid solvent extraction metal ions THERMODYNAMICS KINETICS DETERMINATion
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Transport of yttrium metal ions through fibers supported liquid membrane solvent extraction
2
作者 A.G.Gaikwad A.M.Rajput 《Journal of Rare Earths》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第1期1-6,共6页
A novel idea of transport of yttrium(Ⅲ) metal ions through fibers supported liquid membrane in two stage processes namely source to membrane and membrane to receiving phase has been proposed.The fibers supported liqu... A novel idea of transport of yttrium(Ⅲ) metal ions through fibers supported liquid membrane in two stage processes namely source to membrane and membrane to receiving phase has been proposed.The fibers supported liquid membrane was impregnated with different concentrations carrier.The experimental variables explored were concentration of yttrium(Ⅲ) ions,pH of source phase,PC-88A concentration in membrane phase,acid concentration in receiving phase and stirring speed.The pre-concentration of yttrium(Ⅲ) ions ... 展开更多
关键词 fibers supported liquid membrane solvent extraction yttrium metal ion channel EXTRACTion STRIPPING PC-88A rare earths
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改性膨润土对污水中重金属离子吸附实验研究
3
作者 陈卫琴 黄树梅 +1 位作者 李杨 孙超 《矿产综合利用》 CAS 2024年第3期50-57,共8页
这是一篇陶瓷及复合材料领域的论文。为了研究改性膨润土对污水中重金属离子的吸附效果,分析pH值、初始浓度、时间、固液比、温度和粒径对膨润土吸附效果的影响,并采用微观手段研究在吸附重金属离子前后膨润土内部矿物成分的变化以及红... 这是一篇陶瓷及复合材料领域的论文。为了研究改性膨润土对污水中重金属离子的吸附效果,分析pH值、初始浓度、时间、固液比、温度和粒径对膨润土吸附效果的影响,并采用微观手段研究在吸附重金属离子前后膨润土内部矿物成分的变化以及红外光谱图的变化规律。结果表明:当改性膨润土掺量为0.2 g、吸附时间为1.5 h、温度设置为40℃,pH值设定为6,初始浓度均设定为200 mg/L和固液比设置为0.8 g/L时,改性膨润土的吸附效果达到较佳。改性膨润土经过吸附实验后,可以检测到明显的CuSO_(4)衍射峰,但是改性膨润土内部其他矿物成分不变,这说明改性膨润土可以有效地吸附污水中的铜离子。 展开更多
关键词 陶瓷及复合材料 重金属离子 改性膨润土 矿物成分 红外光谱图 固液比 粒径
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过渡金属离子液相催化氧化SO_(2)的研究进展
4
作者 苏伟康 谢世娜 《云南化工》 CAS 2024年第7期26-31,共6页
阐述了过渡金属离子液相催化氧化SO_(2)研究进展及多种因素对脱硫效果的影响。介绍了过渡金属离子液相催化氧化SO_(2)的机理、SO_(2)在气液两相的传质过程及实验装置,最后对过渡金属离子液相催化氧化法的应用和发展方向进行展望。
关键词 过渡金属离子 二氧化硫 液相催化氧化 机理 烟气脱硫
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脱除废剥离液中金属离子的研究进展
5
作者 于成钢 李罡峰 +3 位作者 傅瑞德 郭依亮 吴晗松 渠娅娟 《绿色科技》 2024年第8期199-204,209,共7页
电子产品的废弃液晶面板是废弃物资源利用的重要组成内容,其中回收废剥离液中的金属离子不仅可以减少金属离子对于环境的污染,还可以实现资源的回收利用。综述了废剥离液中金属离子脱除的研究现状、方法和技术,重点介绍了固液分离法、... 电子产品的废弃液晶面板是废弃物资源利用的重要组成内容,其中回收废剥离液中的金属离子不仅可以减少金属离子对于环境的污染,还可以实现资源的回收利用。综述了废剥离液中金属离子脱除的研究现状、方法和技术,重点介绍了固液分离法、化学沉淀法、电化学提取法、膜分离法等方法的原理、优缺点和应用,总结了目前废剥离液中的金属离子的分离回收装置。这些方法和装置在废剥离液中金属离子的脱除方面具有显著的效果,但是在处理金属离子时存在着部分局限与挑战,寻找高效、绿色环保且经济效益显著的脱除方法及装置显得尤为重要。因此,需要进一步的研究和技术创新,以期实现废剥离液中金属离子的高效脱除和资源化利用,为环境保护和可持续发展作出贡献。 展开更多
关键词 废剥离液 金属离子 脱除 回收 液晶面板
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储能电池建模与状态估计研究进展 被引量:3
6
作者 李卓昊 杨添强 +1 位作者 石琼林 蒋凯 《新型电力系统》 2024年第2期140-161,共22页
储能电池具有能够平滑可再生能源输出,提高电力系统灵活性和应对电力需求峰谷等优势,有助于推动可再生能源发展,从而应对环境污染和能源紧缺的双重压力。目前市场主流的储能电池为锂离子电池,具有高比能特性,同时新型储能电池也在蓬勃发... 储能电池具有能够平滑可再生能源输出,提高电力系统灵活性和应对电力需求峰谷等优势,有助于推动可再生能源发展,从而应对环境污染和能源紧缺的双重压力。目前市场主流的储能电池为锂离子电池,具有高比能特性,同时新型储能电池也在蓬勃发展,其中全钒液流电池具有高安全性的优势,液态金属电池具有超长循环寿命,在电力储能领域具有重要应用前景。储能电池的建模和状态估计对提高储能电池系统性能,确保其安全性以及优化维护效率至关重要,因此文中对锂离子电池、全钒液流电池和液态金属电池的建模和状态估计进行综述。首先,介绍了储能电池状态估计的整体框架,对基于实验的方法、基于模型的方法和基于数据驱动的方法进行整体介绍,并对荷电状态(state of charge,SOC)、健康状态(state of health,SOH)和剩余使用寿命(remaining useful life,RUL)进行概括;然后,从原理出发,分别总结了不同储能电池体系的内部工作过程、模型构建、状态估计与电池管理过程;最后,对不同储能电池体系的主要工作特性进行横向对比和总结,旨在为储能电池选择和发展提供启示。 展开更多
关键词 储能电池 锂离子电池 全钒液流电池 液态金属电池 电池管理系统 状态估计
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Separations of Metal Ions Using Ionic Liquids: The Challenges of Multiple Mechanisms
7
作者 Violina A. Cocalia John D. Holbrey +2 位作者 Keith E. Gutowski Nicholas J. Bridges Robin D. Rogers 《Tsinghua Science and Technology》 SCIE EI CAS 2006年第2期188-193,共6页
Ionic liquids are a distinct sub-set of liquids, comprising only of cations and anions, often with negligible vapor pressure. As a result of the low or non-volatility of these fluids, ionic liquids are often considere... Ionic liquids are a distinct sub-set of liquids, comprising only of cations and anions, often with negligible vapor pressure. As a result of the low or non-volatility of these fluids, ionic liquids are often considered in liquid/liquid separation schemes where the goal is to replace volatile organic solvents. Unfortunately, it is often not yet recognized that the ionic nature of these solvents can result in a variety of extraction mechanisms, including solvent ion-pair extraction, ion exchange, and simultaneous combinations of these. This paper discusses current ionic liquid-based separations research where the effects of the nature of the solvent ions, ligands, and metal ion species were studied in order to be able to understand the nature of the challenges in utilizing ionic liquids for practical applications. 展开更多
关键词 metal ion liquid-liquid separation ionic liquid solvent extraction
原文传递
SiO_(2)@CTS-g-(AA-co-AM)吸水树脂的吸液性能研究
8
作者 张克举 夏卿 +5 位作者 谢雷 吴凡 申盛伟 邓芳 徐玉萍 刘勇 《化学研究与应用》 CAS 北大核心 2024年第5期1084-1091,共8页
正硅酸乙酯(TEOS)经碱性催化水解缩合、去模板等工艺合成介孔二氧化硅(SiO_(2)),羧甲基壳聚糖(CTS)作为合成复合吸水树脂的基材,与丙烯酰胺(AM)和丙烯酸(AA)的共聚物接枝共聚,制备了SiO_(2)@CTS-g-(AA-co-AM)复合吸水树脂。傅立叶红外... 正硅酸乙酯(TEOS)经碱性催化水解缩合、去模板等工艺合成介孔二氧化硅(SiO_(2)),羧甲基壳聚糖(CTS)作为合成复合吸水树脂的基材,与丙烯酰胺(AM)和丙烯酸(AA)的共聚物接枝共聚,制备了SiO_(2)@CTS-g-(AA-co-AM)复合吸水树脂。傅立叶红外光谱仪、透射电子显微镜和热重分析仪对复合树脂进行了表征,并在不同环境下探讨了吸水树脂的吸液性能及对重金属离子的吸附性能。结果表明,亲水性的SiO_(2)加入,能有效改善吸水树脂耐温保水性能,树脂在80℃条件下干燥6h,其保水率最高可达91.8%。SiO_(2)使得复合树脂形成稳定的三维网络结构,具有较强的耐盐性能,表现出更佳的吸附性能。 展开更多
关键词 高倍率吸水树脂 杂化 吸液性能 重金属离子
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表面处理废液资源化利用技术的研究进展
9
作者 季立峰 彭伟名 贺志刚 《山东化工》 CAS 2024年第15期137-139,共3页
金属表面处理工艺常使用强酸溶液(例如:硝酸、盐酸等)去除金属工件表面的氧化物,以提高电镀层的强度和金属工件的耐腐蚀能力,因此表面处理废液中含有大量的金属离子和废酸。沉淀法、蒸发法和离子交换法等技术通过沉淀金属离子、分离酸... 金属表面处理工艺常使用强酸溶液(例如:硝酸、盐酸等)去除金属工件表面的氧化物,以提高电镀层的强度和金属工件的耐腐蚀能力,因此表面处理废液中含有大量的金属离子和废酸。沉淀法、蒸发法和离子交换法等技术通过沉淀金属离子、分离酸液、提高母液中金属离子浓度等途径实现表面处理废酸液的资源化利用。各类表面处理废酸液资源化利用手段的机理不同,沉淀法利用羟基中和反应和金属硫化物沉淀等原理实现金属离子与废酸液的分离;蒸发法利用部分酸液易挥发和金属盐溶解度不同等特性实现酸液和金属离子的资源化利用;离子交换树脂通过选择性吸附-洗脱这一过程实现目标离子的回收再利用;渗析法是利用膜的选择透过性或电场力实现酸和金属盐的分离。利用工业余热、增加预处理工艺、耦合其他工艺、降低二次污染物产出以降低表面处理废酸液资源化利用成本、提高资源化利用效率是未来该领域的研究重点。 展开更多
关键词 表面处理废液 蒸发法 离子交换树脂 重金属 资源化利用
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金属离子对霍山石斛类原球茎增殖及植株再生的影响 被引量:8
10
作者 查学强 罗建平 +1 位作者 石玮 姜绍通 《园艺学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期179-181,共3页
采用单因素浓度试验和正交试验研究了Mg2+、Ca2+、Fe2+、Mn2+和Zn2+离子对液体培养霍山石斛类原球茎增殖的影响。结果表明,5种金属离子对类原球茎增殖影响的主次顺序为Fe2+>Mn2+>Mg2+>Ca2+>Zn2+,促进类原球茎增殖的优化组合... 采用单因素浓度试验和正交试验研究了Mg2+、Ca2+、Fe2+、Mn2+和Zn2+离子对液体培养霍山石斛类原球茎增殖的影响。结果表明,5种金属离子对类原球茎增殖影响的主次顺序为Fe2+>Mn2+>Mg2+>Ca2+>Zn2+,促进类原球茎增殖的优化组合为Mg2+1.5 mmol.L-1、Ca2+4.5 mmol.L-1、Fe2+0.1mmol.L-1、Mn2+0.5 mmol.L-1、Zn2+0.06 mmol.L-1。经优化的液体培养基增殖的类原球茎能保持植株再生能力,平均每克类原球茎增殖后可再生植株1 985.2株,是相同时间内对照类原球茎再生植株数的4.2倍。 展开更多
关键词 霍山石斛 类原球茎 金属离子 液体培养 植株再生
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Cu(Ⅱ)-Co(Ⅱ)液相催化氧化净化PH_3研究 被引量:8
11
作者 李军燕 宁平 瞿广飞 《武汉理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第10期63-65,69,共4页
用液相催化氧化法对低浓度PH3的净化进行实验研究,分别考察了Co(Ⅱ)与Cu(Ⅱ)不同配比条件下气体流量、O2浓度、入口PH3浓度、温度等对脱磷率的影响。结果表明:当反应温度低于45℃、混合气含氧量为11%—25%条件下,Co(Ⅱ)∶Cu(Ⅱ)为3∶1... 用液相催化氧化法对低浓度PH3的净化进行实验研究,分别考察了Co(Ⅱ)与Cu(Ⅱ)不同配比条件下气体流量、O2浓度、入口PH3浓度、温度等对脱磷率的影响。结果表明:当反应温度低于45℃、混合气含氧量为11%—25%条件下,Co(Ⅱ)∶Cu(Ⅱ)为3∶1的吸收液的脱磷率较高;反应温度为45—80℃,混合气含氧量为25%—80%时,Co(Ⅱ)∶Cu(Ⅱ)为1∶1的吸收液的脱磷率较高;在其他条件均相同的情况下,Co(Ⅱ)∶Cu(Ⅱ)为1∶1的吸收液较易承受混合气中O2含量、PH3浓度波动及气体流量变化的影响。 展开更多
关键词 低浓度磷化氢 过渡金属离子 液相 催化氧化 净化
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过渡金属离子液相催化氧化烟气脱硫 被引量:19
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作者 张玉 周集体 《现代化工》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期15-18,20,共5页
烟气脱硫技术属我国环保市场急需的关键技术。过渡金属离子液相催化氧化烟气脱硫技术可以利用产生的稀硫酸制取石膏、肥料和聚合硫酸铁等多种高附加值的副产品。阐述了烟气脱硫的反应机理、脱硫吸收液和脱硫装置 ,以及吸收液酸度、温度... 烟气脱硫技术属我国环保市场急需的关键技术。过渡金属离子液相催化氧化烟气脱硫技术可以利用产生的稀硫酸制取石膏、肥料和聚合硫酸铁等多种高附加值的副产品。阐述了烟气脱硫的反应机理、脱硫吸收液和脱硫装置 ,以及吸收液酸度、温度、液气比、气速和入口浓度等因素对脱硫效率的影响。评述了金属离子的协同作用。 展开更多
关键词 过渡金属离子 液相催化氧化 烟气脱硫 协同作用 工艺路线 副产物
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过渡金属离子液相催化氧化低浓度烟气脱硫 被引量:9
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作者 朱德庆 潘建 潘润润 《中南工业大学学报》 CSCD 北大核心 2003年第5期489-493,共5页
对Mn2+,Fe2+,Zn2+3种过渡金属离子液相催化氧化低浓度烟气脱硫的效果进行了对比,并对Mn2+液相催化氧化烟气脱硫的相关工艺参数进行了优化;运用溶液化学原理,对SO2及Mn2+在溶液中的组分进行了计算,研究了Mn2+液相催化氧化烟气脱硫的机理... 对Mn2+,Fe2+,Zn2+3种过渡金属离子液相催化氧化低浓度烟气脱硫的效果进行了对比,并对Mn2+液相催化氧化烟气脱硫的相关工艺参数进行了优化;运用溶液化学原理,对SO2及Mn2+在溶液中的组分进行了计算,研究了Mn2+液相催化氧化烟气脱硫的机理.研究结果表明:Mn2+,Fe2+和Zn2+3种过渡金属离子对烟气脱硫都有催化作用,Mn2+的催化效果最佳;在烟气中,当SO2体积分数为1.4%,O2体积分数为10%,烟气流量为140L/h,吸收液体积为200mL,温度为24℃,吸收液pH为5~6及吸收液中Mn2+浓度为0.15mol/L时,经过一段吸收反应,SO2转化率大于80%,烟气脱硫率大于75%;当吸收液pH=5~6时,锰主要以Mn2+形式存在,SO2主要以HSO-3的形成存在;其催化反应的机理为:Mn2+与HSO-3反应形成络合物,成为反应链的引发剂来诱发氧化反应. 展开更多
关键词 二氧化硫烟气 过渡金属离子 液相催化氧化脱硫 环境保护
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离子液基萃取金属离子的研究进展 被引量:14
14
作者 孙晓琦 徐爱梅 +1 位作者 陈继 李德谦 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期597-604,共8页
室温离子液体作为一种新型绿色溶剂,因其具有不挥发、不易燃等重要特性,故近年来在各种金属离子液/液萃取领域的应用日益受到关注。本文系统评述了离子液基萃取金属离子的分配规律、萃取机理、缺陷和克服方法,并展望了该分离方法在环境... 室温离子液体作为一种新型绿色溶剂,因其具有不挥发、不易燃等重要特性,故近年来在各种金属离子液/液萃取领域的应用日益受到关注。本文系统评述了离子液基萃取金属离子的分配规律、萃取机理、缺陷和克服方法,并展望了该分离方法在环境分析化学领域的应用前景。 展开更多
关键词 室温离子液体 金属离子 萃取 评述
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离子液体在金属离子萃取分离中的应用 被引量:24
15
作者 沈兴海 徐超 +1 位作者 刘新起 褚泰伟 《核化学与放射化学》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期129-138,共10页
离子液体作为绿色溶剂是溶剂萃取分离金属离子方面研究的热点。介绍了以离子液体为溶剂时,萃取分离各种金属离子的效果,包括碱金属、碱土金属、过渡金属、稀土及锕系金属,以及核燃料后处理涉及的铀、钚及裂变产物等多种离子,深入探讨了... 离子液体作为绿色溶剂是溶剂萃取分离金属离子方面研究的热点。介绍了以离子液体为溶剂时,萃取分离各种金属离子的效果,包括碱金属、碱土金属、过渡金属、稀土及锕系金属,以及核燃料后处理涉及的铀、钚及裂变产物等多种离子,深入探讨了其萃取机理。展望了离子液体取代有毒、易挥发、易造成环境污染的有机溶剂的发展和应用前景。 展开更多
关键词 离子液体 萃取 分离 金属离子
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不同金属离子对灵芝多糖液态发酵的影响 被引量:16
16
作者 叶盛权 吴晖 +2 位作者 余以刚 陈娜 李金燕 《食品研究与开发》 CAS 北大核心 2011年第1期106-108,共3页
研究不同金属离子对灵芝多糖含量的影响,发现K+、Mg2+和Fe2+可以促进灵芝多糖液态发酵,其中含Fe2+发酵培养基所产生物量和多糖最多,分别为7.299 g/L和0.720 g/L。在种子液培养基基础上加入0.2%Fe2+更有利于灵芝多糖产量的提高;在整个发... 研究不同金属离子对灵芝多糖含量的影响,发现K+、Mg2+和Fe2+可以促进灵芝多糖液态发酵,其中含Fe2+发酵培养基所产生物量和多糖最多,分别为7.299 g/L和0.720 g/L。在种子液培养基基础上加入0.2%Fe2+更有利于灵芝多糖产量的提高;在整个发酵罐扩大培养过程中,胞外粗多糖含量均是先上升后下降,在1 d~3 d时,胞外粗多糖含量呈轻微上升趋势,变化幅度较小。4 d~6 d时,胞外粗多糖含量有明显的上升趋势,而pH变化幅度较小,利于灵芝菌体产生多糖。在6 d时达到最大值。在同等条件下进行的发酵罐扩大培养摇比摇瓶发酵培养所得含量略高。说明发酵罐培养比摇瓶培养更利于生产灵芝多糖。 展开更多
关键词 灵芝多糖 液态发酵 金属离子
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几类面向电网的储能电池介绍 被引量:112
17
作者 蒋凯 李浩秒 +1 位作者 李威 程时杰 《电力系统自动化》 EI CSCD 北大核心 2013年第1期47-53,共7页
储能技术在现代电力系统中的作用日益凸显,储能电池则是大规模储能技术的重要发展方向。文中就目前比较成熟的储能电池体系,包括铅酸电池、锂离子电池、液流电池和钠硫电池的发展历史、研发现状,以及不同电池体系应用到电网储能的优势... 储能技术在现代电力系统中的作用日益凸显,储能电池则是大规模储能技术的重要发展方向。文中就目前比较成熟的储能电池体系,包括铅酸电池、锂离子电池、液流电池和钠硫电池的发展历史、研发现状,以及不同电池体系应用到电网储能的优势和存在的问题进行了讨论。文中重点介绍了钠离子电池和液态金属电池等2类新兴的电化学储能技术的研究现状、技术优势及现存挑战等。通过比较,认为在进一步提高现有电池性能、降低储能价格的同时,亟需发展下一代能满足大规模储能应用的电化学储能新体系。 展开更多
关键词 电化学储能 钠离子电池 液态金属电池 铅酸电池 锂离子电池 液流电池 钠硫电池
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PH_3液相催化氧化净化 被引量:3
18
作者 李军燕 宁平 瞿广飞 《昆明理工大学学报(理工版)》 2007年第3期80-82,86,共4页
研究了以Co2+与Cu2+不同配比混合液为催化剂对低浓度PH3液相催化氧化净化的过程.分别考察了Co2+与Cu2+不同配比条件下气体流量、O2浓度、入口PH3浓度、温度等对脱磷率的影响.实验结果表明,当反应温度低于45℃、混合气含氧量为11%~25%... 研究了以Co2+与Cu2+不同配比混合液为催化剂对低浓度PH3液相催化氧化净化的过程.分别考察了Co2+与Cu2+不同配比条件下气体流量、O2浓度、入口PH3浓度、温度等对脱磷率的影响.实验结果表明,当反应温度低于45℃、混合气含氧量为11%~25%条件下,m(Co2+):m(Cu2+)为3:1的吸收液的脱磷率较高;反应温度为45~80℃,混合气含氧量为25%~80%时,m(Co2+):m(Cu2+)为1:1的吸收液的脱磷率较高;在其他条件均相同的情况下,m(Co2+):m(Cu2+)为1:1的吸收液较易承受混合气中O含量、PH浓度波动及气体流量变化的影响. 展开更多
关键词 磷化氢 催化氧化 过渡金属离子 液相
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功能性离子液体在金属萃取分离中的研究进展 被引量:10
19
作者 王威 陈继 +4 位作者 刘红召 杨华玲 曹耀华 高照国 张博 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2015年第7期733-742,共10页
近年来,离子液体在金属萃取领域的研究受到广泛关注,主要集中在两个方面,一是疏水性离子液体作为"绿色"溶剂用于金属离子萃取;二是带有官能团的功能性离子液体作为萃取剂用于金属离子萃取,其中,后者是目前研究的热点。本文主... 近年来,离子液体在金属萃取领域的研究受到广泛关注,主要集中在两个方面,一是疏水性离子液体作为"绿色"溶剂用于金属离子萃取;二是带有官能团的功能性离子液体作为萃取剂用于金属离子萃取,其中,后者是目前研究的热点。本文主要对近年来功能性离子液体萃取分离放射性金属、重金属和稀土金属等研究进行综述,并对其未来发展进行了展望。 展开更多
关键词 功能性离子液体 萃取 金属离子
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液态金属离子源聚焦离子束系统在微米/纳米技术中的应用 被引量:6
20
作者 董桂芳 张克潜 +1 位作者 汪健如 应根裕 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第6期110-114,共5页
随着微米/纳米科学技术的发展,微细加工微区分析所用的主要技术之一──聚焦离子束技术引人注目.本文简述了具有液态金属离子源的聚焦离子束技术的主要功能,着重报道了近年来该技术在下述领域中的应用:(1)半导体大规模集成电路... 随着微米/纳米科学技术的发展,微细加工微区分析所用的主要技术之一──聚焦离子束技术引人注目.本文简述了具有液态金属离子源的聚焦离子束技术的主要功能,着重报道了近年来该技术在下述领域中的应用:(1)半导体大规模集成电路器件的集成、失误诊断和修复.(2)光电子集成技术中量子阱激光器和光纤相位掩模的制备及量子效应研究.(3)超导器件和真空微电子器件的研制.(4)二次离子质谱分析和透射电子显微镜样品的制备. 展开更多
关键词 聚焦离子束 液态金属离子源 IC 微米/纳米技术
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