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17. 1 nm 极紫外滤光片的制备 被引量:2
1
作者 牛筱茜 缪鹏飞 +2 位作者 王瀚林 王孝东 陈波 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第2期141-149,共9页
为了预警空间天气,需对日地空间物理过程进行监测,极紫外(Extreme Ultraviolet, EUV)滤光片是极紫外成像仪其中的重要组成部分,用来去除太阳辐射光谱中的非工作波段的辐射。为了优化EUV滤光片在17.1 nm波长处的透过率,本文基于比尔-朗... 为了预警空间天气,需对日地空间物理过程进行监测,极紫外(Extreme Ultraviolet, EUV)滤光片是极紫外成像仪其中的重要组成部分,用来去除太阳辐射光谱中的非工作波段的辐射。为了优化EUV滤光片在17.1 nm波长处的透过率,本文基于比尔-朗伯定律通过理论计算和软件模拟确定17.1 nm EUV滤光片的材料及厚度。首先,采用真空热蒸发的方式在熔石英基底沉积脱膜层和金属薄膜,成功制备了以镍网为支撑的EUV滤光片。经测试,滤光片在17.1 nm处的透过率约为43.81%,表面光滑平整且无明显针孔。接下来为了说明氧化层对透过率的影响,使用椭圆偏振光谱仪测量滤光膜样品,得到放置不同时间的氧化层膜厚,并测得粗糙度来优化模拟滤光片透过率。利用IMD拟合样品氧化层厚度及粗糙度,调整层厚达到与实际测量值最为接近的曲线。实验结果表明滤光片透过率的模拟值与测量值绝对误差约1%,符合良好。本文为17.1 nm EUV滤光片提供了制备方法以及优化思路,在空间探测领域有重要应用价值。 展开更多
关键词 金属薄膜 滤光片 栅网支撑 极紫外 氧化层
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金属网滤芯焊接尺寸精度控制技术研究
2
作者 王华伟 《工程技术研究》 2023年第20期114-116,共3页
在金属网类滤芯焊接过程中,焊接变形易造成近缝区尺寸超差,从而影响过滤器的整体装配质量。文章分析了金属网滤芯加工过程中焊接变形的机理及影响因素,提出了定位焊、工艺参数优化、设计防变形刚性夹具、预留变形量等一系列工艺措施,旨... 在金属网类滤芯焊接过程中,焊接变形易造成近缝区尺寸超差,从而影响过滤器的整体装配质量。文章分析了金属网滤芯加工过程中焊接变形的机理及影响因素,提出了定位焊、工艺参数优化、设计防变形刚性夹具、预留变形量等一系列工艺措施,旨在达到控制近焊缝部位尺寸精度的目标,避免焊后二次加工对滤芯产生污染,保证整体质量。 展开更多
关键词 金属网滤芯 焊接变形 焊后尺寸 精度控制
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柴油机微粒金属丝网过滤体特性及反吹再生的初步研究 被引量:6
3
作者 宁智 资新运 +2 位作者 张春润 刘建华 况春江 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第7期123-127,共5页
根据柴油机排气微粒净化的需要,开发出一种新型烧结金属丝网过滤体。对金属丝网过滤体的阻力特性和微粒捕集特性进行了试验研究;同时根据金属丝网过滤体的特点,设计了压缩空气脉冲反吹过滤体再生系统,并进行了初步的再生试验。研究结果... 根据柴油机排气微粒净化的需要,开发出一种新型烧结金属丝网过滤体。对金属丝网过滤体的阻力特性和微粒捕集特性进行了试验研究;同时根据金属丝网过滤体的特点,设计了压缩空气脉冲反吹过滤体再生系统,并进行了初步的再生试验。研究结果表明,金属丝网过滤体具有良好的特性,完全能够满足柴油机排气微粒捕集的要求;金属丝网过滤体反吹再生是可行的。 展开更多
关键词 柴油机 微粒 金属丝网过滤体 反吹再生 排气净化
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烧结金属丝网除尘技术的研究 被引量:10
4
作者 吴晓风 宋亚强 沈来宏 《锅炉技术》 北大核心 2005年第2期9-12,53,共5页
建立烧结金属丝网过滤器的二维结构模型,定义了多孔介质边界条件,利用Fluent6.1对过滤元件内的二维气体流动进行数学模拟计算。由此分析了丝网过滤体内的过滤状况,阐述了烧结金属丝网过滤除尘机理,将过滤过程分为4个阶段;分析了过滤参... 建立烧结金属丝网过滤器的二维结构模型,定义了多孔介质边界条件,利用Fluent6.1对过滤元件内的二维气体流动进行数学模拟计算。由此分析了丝网过滤体内的过滤状况,阐述了烧结金属丝网过滤除尘机理,将过滤过程分为4个阶段;分析了过滤参数等对过滤压降的影响。为金属丝网过滤器的设计和优化提供了一定的参考依据。 展开更多
关键词 烧结金属丝网 过滤机理 压降
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生物质燃气高温过滤材料的研究 被引量:4
5
作者 李晓霞 闫桂焕 +1 位作者 孙荣峰 许敏 《环境工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1389-1392,共4页
日趋严格的环保要求和某些工艺过程的特殊需要,对生物质燃气中灰尘的数量和粒度提出了更高的要求,即对生物质气化系统中的过滤工艺有了新的要求。针对生物质气化工艺的特点及其灰尘的特性,重点研究了针刺过滤毡和金属多孔材料两类高温... 日趋严格的环保要求和某些工艺过程的特殊需要,对生物质燃气中灰尘的数量和粒度提出了更高的要求,即对生物质气化系统中的过滤工艺有了新的要求。针对生物质气化工艺的特点及其灰尘的特性,重点研究了针刺过滤毡和金属多孔材料两类高温过滤材料。通过研究比较,两种材料各有优缺点,针刺过滤毡过滤精度高,运行工况比较稳定,但是过滤气速小,适用温度低,设备比较庞大;金属多孔材料过滤精度相对较低,但是过滤气速和使用温度高,设备相对紧凑。 展开更多
关键词 生物质燃气 高温过滤 针刺过滤毡 金属多孔材料
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同心扫描法制作凹球面等距网栅的误差分析 被引量:2
6
作者 冯晓国 卢俊 +1 位作者 徐峰林 孙连春 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期251-255,共5页
纬线与纬线相交可形成球面等距网栅,而采用“同心扫描”的运动方式可在凹球面上生成纬线。“同心扫描”要求直写物镜光轴、直写物镜水平转轴、工件回转轴和工件分度轴四轴交于工件凹面球心。采用两两相交误差几何分析的方法,得到了同心... 纬线与纬线相交可形成球面等距网栅,而采用“同心扫描”的运动方式可在凹球面上生成纬线。“同心扫描”要求直写物镜光轴、直写物镜水平转轴、工件回转轴和工件分度轴四轴交于工件凹面球心。采用两两相交误差几何分析的方法,得到了同心误差与离焦量和栅距误差的变化关系:随着同心误差增加,系统离焦量和栅距误差也增加,且二者的变化趋势基本一致。因为网栅线宽一般要求达到微米量级,与之匹配的栅距则往往为几百微米,所以栅距误差与栅距相比可以忽略,系统离焦量对网栅线宽的影响却必须认真考虑。采用几何光学基本公式对物镜系统的进一步分析表明,为了制作细且均匀的网栅线条,必须采用小光斑,而小光斑对应的焦深也小,从而要求离焦量小,对同心误差要求严格;反之,则可放宽对同心误差的要求。 展开更多
关键词 滤波器 电磁屏蔽 光刻 金属网栅 球面
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钢丝绳金属网柔性滤水挡墙的应用 被引量:1
7
作者 曹连喜 《矿业研究与开发》 CAS 北大核心 1996年第S1期112-116,共5页
本文阐述了井下充填用挡墙的作用与发展状况,着重介绍了国内新发展的轻型钢丝绳金属网柔性滤水挡墙的结构形式、受力计算和构筑工序;通过柔性挡墙与木质挡墙的比较,肯定了柔性滤水挡墙的优点,及其在矿山地下开采中的应用前景.
关键词 钢丝绳 金属网 柔性滤水挡墙
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车载式除尘装煤车在攀钢的应用
8
作者 张初永 卢瑜 《燃料与化工》 2007年第5期16-19,共4页
介绍了车载式除尘装煤车的技术特点及应用条件,根据攀钢实际应用情况,对车载式除尘装煤车进行了改进,采用了增加伸缩套筒、用金属过滤网替代除尘布袋等措施后,除尘效果显著提高。改造后的除尘装煤车与除尘地面站相比,投资省,占地面积少... 介绍了车载式除尘装煤车的技术特点及应用条件,根据攀钢实际应用情况,对车载式除尘装煤车进行了改进,采用了增加伸缩套筒、用金属过滤网替代除尘布袋等措施后,除尘效果显著提高。改造后的除尘装煤车与除尘地面站相比,投资省,占地面积少,运行成本大幅度降低。 展开更多
关键词 装煤车 车载式除尘 伸缩套筒 金属过滤网
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柴油发动机丝网过滤器压降数值模拟方法研究 被引量:3
9
作者 田聪 李涛 尚涛 《液压气动与密封》 2012年第10期24-27,共4页
分析两种典型金属丝网滤芯的物理模型,依据Darcy-Forchheimer定律,建立金属丝网压降计算的数学模型,通过实验法确定模型中渗透率和惯性系数两个参数值。采用计算流体动力学(CFD)软件FLUENT对回形和柱形滤芯进行了数值模拟,验证得出所建... 分析两种典型金属丝网滤芯的物理模型,依据Darcy-Forchheimer定律,建立金属丝网压降计算的数学模型,通过实验法确定模型中渗透率和惯性系数两个参数值。采用计算流体动力学(CFD)软件FLUENT对回形和柱形滤芯进行了数值模拟,验证得出所建模型适用于丝网滤器压降的数值模拟。研究结果为采用工程仿生学原理并进一步研究仿生耦合不粘滤器提供了理论分析基础。 展开更多
关键词 微粒捕集器 金属丝网 压降 数值模拟
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金属丝网除尘器内部的气固两相流分析
10
作者 张婉婧 魏小林 +1 位作者 李腾 李森 《锅炉制造》 2013年第5期23-27,36,共6页
本文选择金属丝网除尘器作为研究对象,利用Fluent软件模拟了除尘器在不同的过滤速度、滤袋渗透率和气体温度条件下的气固两相流场。模拟结果表明,金属丝网滤料可以采用高于传统纤维滤料的过滤速度,滤袋不同位置的过滤速度有较大差别;较... 本文选择金属丝网除尘器作为研究对象,利用Fluent软件模拟了除尘器在不同的过滤速度、滤袋渗透率和气体温度条件下的气固两相流场。模拟结果表明,金属丝网滤料可以采用高于传统纤维滤料的过滤速度,滤袋不同位置的过滤速度有较大差别;较高的入口温度导致速度场分布的不均匀性增加;适当提高滤料的面渗透率,有利于降低系统压降,促进流场均匀性的改善。可以尝试滤袋的分区和分段过滤,最大程度提高除尘器的材料利用率,延长滤袋寿命,节约成本。 展开更多
关键词 烧结金属丝网 高温除尘器 气固两相流
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空气过滤器配置形式对燃气锅炉性能的影响
11
作者 孙云帆 廖永章 《煤气与热力》 2018年第7期17-20,共4页
在煤改气项目中,为避免锅炉房内空气中残留煤粉(灰)悬浮颗粒物堵塞金属纤维网,在预混器空气进口前设置空气过滤器。采用试验方法,比较空气过滤器配置形式对燃气锅炉热功率的影响。试验针对3座实施煤改气施工不久的燃气锅炉房,每座燃气... 在煤改气项目中,为避免锅炉房内空气中残留煤粉(灰)悬浮颗粒物堵塞金属纤维网,在预混器空气进口前设置空气过滤器。采用试验方法,比较空气过滤器配置形式对燃气锅炉热功率的影响。试验针对3座实施煤改气施工不久的燃气锅炉房,每座燃气锅炉房均配置1台额定热功率为280 kW的燃气锅炉(编号为锅炉1~3)。锅炉1不配置空气过滤器,锅炉2配置单级过滤器,锅炉3配置组合式过滤器(采用两级过滤)。采用燃气锅炉实际最大热功率与初始最大热功率之比(以下简称热功率比例)作为评价金属纤维网堵塞程度的指标。与未配置空气过滤器、配置单级过滤器的锅炉相比,配置组合式过滤器的锅炉,在整个试验期间保持较高的热功率比例,仅在距试验首日的第9周更换第一级空气过滤器,在第16周同时更换两级过滤器。配置组合式过滤器可有效缓解金属纤维网的堵塞,保证燃气锅炉的高效运行。 展开更多
关键词 稀薄预混燃烧 金属纤维网 空气过滤器 配置形式
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