金刚石膜的微结构研究

金刚石特殊的晶体结构决定其在很多方面具有优异的性质,金刚石膜的截面特性在一定程度上反映了整个沉积过程中金刚石膜生长的一些规律。文章通过研究金刚石膜截面特点来分析金刚石膜生长的规律,进而总结出制备高品质金刚石膜的方法。