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Wear characteristics of Ⅴ shape diamond tool for micro prism pattern with Al alloys 被引量:2
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作者 Eun-Suk PARK Tae-Jin JE +2 位作者 Hwan-Jin CHOI Eun-Chae JEON Myung-Chang KANG 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2012年第S3期769-774,共6页
The ultra-precision machining process using a single crystal diamond tool has been mainly used for machining molds of optical components.Since the micro patterns of various shapes having excellent surface roughness ca... The ultra-precision machining process using a single crystal diamond tool has been mainly used for machining molds of optical components.Since the micro patterns of various shapes having excellent surface roughness can be machined by using ultra-precision machine tools,the micro pattern on a large light guide plate (LGP) is mainly machined using a diamond tool.The tool wear occurs due to long machining distances and time while machining a large-area LGP mold.The deformation and dimensional error of micro pattern are caused by tool wear,as a result,the light efficiency of LGP declines.The characteristics of tool wear should be analyzed in order to precisely machine large-area LGP mold from all sorts of materials.The experiments were performed in order to compare wear characteristics of a V90° diamond tool using Al3003,5052,6061 and 7075.The prism pattern of depth 10 μm was machined in order to analyze characteristics of tool wear according to machining distances (0.5,1 and 1.5 km).The effects of tool wear on pattern shape were analyzed by applying overlapped cutting depths (Rough machining is (10+8+7) μm and Finish machining is (5+3+2+1) μm) by continuously machining a prism pattern of W shape of 25 μm in depth. 展开更多
关键词 diamond tool wear Al alloys micro PRISM PATTERN PLANER
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Novel Pretreatment of Hard Metal Substrate for Better Performance of Diamond Coated Cutting Tools
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作者 LUFan-xiu TANGWei-zhong +3 位作者 MIAOJin-qi HELi-fu LICheng-ming CHENGuang-chao 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期35-40,共6页
A surface engineering approach for a novel pre-treatment of hard metal tool substrate for optimum adhesion of diamond coatings is presented. Firsfly, an alkaline solution was used to etch the WC grains to generate a r... A surface engineering approach for a novel pre-treatment of hard metal tool substrate for optimum adhesion of diamond coatings is presented. Firsfly, an alkaline solution was used to etch the WC grains to generate a rough surface for better mechanical interlocking. Subsequently, surface Co was removed by etching in acid solution. Then the hard metal substrate was boronized to form a compound interlayer which acted as an efficient diffusion barrier to prevent the outward diffusion of Co. Novel nano-microcrystalline composite diamond film coatings with a very smooth surface was deposited on the surface engineering pre-treated hard metal surface. Promising results of measurement in adhesion strength as well as field cutting tests have been obtained. 展开更多
关键词 硬金属基底 预处理 金刚石涂层 切割工具
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Heat Resistant Properties of Some Elements-Incorporated Diamond-Like Carbon Films and Their Trial Applications for Micro End Mill Coatings
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作者 Chavin Jongwannasiri Nutthanun Moolsradoo Shuichi Watanabe 《Materials Sciences and Applications》 2015年第1期9-15,共7页
In this article, the results obtained from a study carried out on the some elements-incorporated diamond-like carbon (DLC) films are reported. All the films were deposited using plasma-based ion implantation (PBII) te... In this article, the results obtained from a study carried out on the some elements-incorporated diamond-like carbon (DLC) films are reported. All the films were deposited using plasma-based ion implantation (PBII) technique. The deposited films were annealed at 400℃, 650℃ and 900℃ in an air atmosphere for 1 hour. The effects of adding hydrogen, silicon/oxygen and silicon/nitrogen into the DLC film on chemical composition, friction coefficient and corrosion resistance were investigated. The films coated micro end mills performance was also assessed. The results indicate that all the films showed almost constant atomic contents of C, Si, O and N until annealing at 400℃. However, the films were completely destroyed at 650℃ with the increased Si and O contents, while the C content decreased. The incorporation of silicon/oxygen and silicon/nitrogen into the DLC exhibited lower values of friction coefficients than the hydrogenated DLC (DLC and H-DLC) before and after annealing at 400℃, whereas all the films presented the same values of friction coefficients after annealing at 650℃ due to the completely destroy of the films. Furthermore, the incorporation of silicon/nitrogen into the DLC also exhibited better corrosion resistance and unbroken micro end mills performance on their surfaces. Thus, the incorporation of silicon/nitrogen into the DLC film can be considered beneficial in improving the micro end mills performance. 展开更多
关键词 CUTTING tools diamond-LIKE Carbon micro END MILLS
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Design and Manufacturing of Ultra-Hard Micro-Milling Tool
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作者 战忠波 李亮 +2 位作者 何宁 卞荣 赵孟 《Transactions of Tianjin University》 EI CAS 2014年第6期415-421,共7页
Based on the study of existing typical micro-milling tools and the actual demand for micro-milling tools, the P3 design principle and design flow for ultra-hard micro-milling tool were introduced to give basic guidanc... Based on the study of existing typical micro-milling tools and the actual demand for micro-milling tools, the P3 design principle and design flow for ultra-hard micro-milling tool were introduced to give basic guidance for the optimization of micro-milling tools. Then, according to the P3 design flow, the manufacturing process of polycrystalline diamond(PCD) micro-milling tool was proposed, and the PCD micro-milling tool with diameter of 0.5 mm was developed. Finally, the micro-milling test on the slot was carried out to study the milling performance of PCD micromilling tool. 展开更多
关键词 micro-MILLING micro-MILLING tool ultra-hard material POLYCRYSTALLINE diamond (PCD) finite elementanalysis
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Influence of tool deflection on micro channel pattern of 6:4 brass with rectangular tool 被引量:1
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作者 Tae-Jin JE Kang-Won LEE +4 位作者 Sang-Cheon PARK Jae-Gu KIM Doo-Sun CHOI Kyoung-Taik PARK Kyung-Hyun WHANG 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2009年第B09期164-170,共7页
Machining experiment of micro channel structure with 6:4 brass was carried out by shaping process using a single crystal diamond tool. FEM simulation using solid cantilever beam model was analyzed. In result of experi... Machining experiment of micro channel structure with 6:4 brass was carried out by shaping process using a single crystal diamond tool. FEM simulation using solid cantilever beam model was analyzed. In result of experiment, tool deflection is observed as machining characteristics through result of experiments such as surface roughness, cutting force and burr formations. And the influence of tool deflection is experimentally proved. 展开更多
关键词 金刚石工具 挠度 通道模式 黄铜 矩形 实验证明 加工特性 有限元模拟
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单晶硅纳米切削过程中微沟槽结构金刚石刀具切削性能的分子动力学模拟 被引量:1
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作者 马世泽 付婷 +1 位作者 曾良才 刘正阳 《武汉科技大学学报》 CAS 北大核心 2023年第1期47-52,共6页
基于分子动力学,利用LAMMPS和OVITO软件对单晶硅纳米切削过程进行模拟,研究了V形微沟槽结构对金刚石刀具切削性能的影响。结果表明,在金刚石刀具后刀面构建一定深度的V形微沟槽能够减少工件亚表面损伤,同时也对工件加工质量及刀具抗磨... 基于分子动力学,利用LAMMPS和OVITO软件对单晶硅纳米切削过程进行模拟,研究了V形微沟槽结构对金刚石刀具切削性能的影响。结果表明,在金刚石刀具后刀面构建一定深度的V形微沟槽能够减少工件亚表面损伤,同时也对工件加工质量及刀具抗磨损性能产生了明显影响,当微沟槽深度为0.75 nm时,金刚石刀具切削性能最佳。 展开更多
关键词 单晶硅 纳米切削 微沟槽结构 金刚石刀具 切削性能 分子动力学模拟
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铜/镍-金刚石旋转圆柱复合电沉积的研究进展
7
作者 赵紫怡 王晓丽 周鑫 《电镀与精饰》 CAS 北大核心 2023年第3期75-82,共8页
铜-金刚石复合镀层用于电火花加工的工作电极,可以提高电极在电火花加工中的耐久性;镍-金刚石复合镀层用于硬脆材料的精加工,能提高精度且不损伤材料。本文总结了影响镀层性能的诸多因素,分析了铜/镍-金刚石复合电沉积研究现状,介绍了... 铜-金刚石复合镀层用于电火花加工的工作电极,可以提高电极在电火花加工中的耐久性;镍-金刚石复合镀层用于硬脆材料的精加工,能提高精度且不损伤材料。本文总结了影响镀层性能的诸多因素,分析了铜/镍-金刚石复合电沉积研究现状,介绍了旋转式电极的复合电沉积发展进程,采用旋转圆柱电极方式的复合电沉积工艺可以细化晶粒,抑制边缘效应,提高镀层质量。因此,铜/镍-金刚石旋转圆柱复合电沉积的研究将有利于旋转刀具镀层的制备,发展前景广阔。 展开更多
关键词 铜/镍-金刚石 旋转圆柱电沉积 微型铣削刀具
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微圆弧金刚石刀具刀尖圆弧的测量及评价 被引量:8
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作者 周京博 李增强 +2 位作者 王亚奇 孙涛 宗文俊 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2013年第4期334-340,共7页
为实现对微圆弧金刚石刀具刀尖圆弧的评价,提出了一种基于高分辨率扫描电镜图像的评价方法,并对刀尖圆弧轮廓提取、轮廓曲线拟合、圆弧度评价等算法进行了研究.首先,运用Canny边缘检测算子提取刀尖圆弧图像的二维轮廓数据,并用移动最小... 为实现对微圆弧金刚石刀具刀尖圆弧的评价,提出了一种基于高分辨率扫描电镜图像的评价方法,并对刀尖圆弧轮廓提取、轮廓曲线拟合、圆弧度评价等算法进行了研究.首先,运用Canny边缘检测算子提取刀尖圆弧图像的二维轮廓数据,并用移动最小二乘法对该数据进行拟合,使所提取轮廓光滑化;接着,建立了基于最小二乘准则的刀尖圆弧评价模型,并采用二次序列规划法对模型进行求解;最后,分析了轮廓拟合误差、测量不垂直度误差对刀尖圆弧评价结果的影响,并计算了刀尖圆弧半径及圆弧度不确定度值.实验结果表明所评价微圆弧金刚石刀具的刀尖圆弧半径为30.213μm,圆弧半径不确定度为351 nm,圆弧度为0.114μm,圆弧度不确定度为24 nm.由评价结果可以看出,本文所提出的方法可以实现微圆弧金刚石刀具刀尖圆弧纳米级精度的测量及评价. 展开更多
关键词 微圆弧金刚石刀具 刀尖圆弧评价 刀尖圆弧半径 刀尖圆弧度 不确定度
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金刚石飞切加工微结构表面的工艺参数优化 被引量:24
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作者 赵清亮 郭兵 +1 位作者 杨辉 王义龙 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第10期2512-2519,共8页
为了获得具有纳米级表面质量的微结构表面,利用‘Nanosys-300’超精密复合加工系统实现了微结构表面的三维金刚石飞切加工,研究了主轴转速、进给量以及背吃刀量对微结构表面粗糙度的影响。理论分析表明,金刚石飞切加工微结构时理论表面... 为了获得具有纳米级表面质量的微结构表面,利用‘Nanosys-300’超精密复合加工系统实现了微结构表面的三维金刚石飞切加工,研究了主轴转速、进给量以及背吃刀量对微结构表面粗糙度的影响。理论分析表明,金刚石飞切加工微结构时理论表面粗糙度沿法线方向并没有变化,而沿进给方向存在着周期变化。减小进给量和金刚石飞刀前端角或增大切削半径可以降低理论粗糙度值。实验分析表明,表面粗糙度值Ra随进给量的增加而增加,主轴转速对Ra影响不大。切削聚碳酸酯(PC)时,在5~40μmRa随背吃刀量的增加而增加;而切削铝合金(LY12)时,在2~10μmRa随背吃刀量的增加而减小。实验中Ra最好可达38 nm(LY12)和43 nm(PC)。最后,利用优化工艺参数加工出了微沟槽阵列和微金字塔矩阵微结构。 展开更多
关键词 超精密加工 微结构表面 飞切加工 金刚石刀具 表面粗糙度
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微钻实验台的研制与应用 被引量:3
10
作者 史晓亮 段隆臣 +2 位作者 吴来杰 汤凤林 陈小松 《煤田地质与勘探》 CAS CSCD 北大核心 2002年第1期63-64,共2页
微钻实验台是检测技术、计算机技术、机械技术与钻探技术相结合的高科技成果。它可在室内从事各种微钻实验,包括岩样可钻性分析、金刚石钻具时效、寿命等实验。根据实验结果优化金刚石钻具,对岩样进行可钻性分级,提高钻探效率,动态... 微钻实验台是检测技术、计算机技术、机械技术与钻探技术相结合的高科技成果。它可在室内从事各种微钻实验,包括岩样可钻性分析、金刚石钻具时效、寿命等实验。根据实验结果优化金刚石钻具,对岩样进行可钻性分级,提高钻探效率,动态监测钻进过程,绘制相应的动态关系曲线,具有重大的实际和理论意义。 展开更多
关键词 微钻实验台 金刚石钻具 岩样可钻性 计算机技术 使用寿命 时效
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金刚石刀具的圆柱母光栅微加工基础研究 被引量:2
11
作者 兀伟 陈津平 +3 位作者 徐宗伟 刘婷 曹克雄 李万里 《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期455-462,共8页
精密长光栅作为高档数控机床中的核心部件,其制造能力和精度直接影响着数控机床的制造水平.针对纳米滚压印技术制备长光栅中的核心部件即圆柱母光栅的制造开展了深入研究,探讨了母光栅刻划用金刚石刀具的聚焦离子束(FIB)制备技术,以及... 精密长光栅作为高档数控机床中的核心部件,其制造能力和精度直接影响着数控机床的制造水平.针对纳米滚压印技术制备长光栅中的核心部件即圆柱母光栅的制造开展了深入研究,探讨了母光栅刻划用金刚石刀具的聚焦离子束(FIB)制备技术,以及微刻划过程中切削参数对圆柱母光栅加工质量的影响规律.研究发现,聚焦离子束加工单晶金刚石材料时会存在沟道效应,影响所制备的金刚石刀具及其加工母光栅的形状精度.从改善离子束束流分布的均匀性、FIB加工参数优化等角度建立了有效克服FIB加工沟道效应的方法.通过DEFORM有限元模拟实验和超精密母光栅刻划实验,优化金刚石刀具刀尖角和微刻划加工速度,研究了抑制母光栅加工中微尺度毛刺的有效方法,最终获得了高精度母光栅刻划结果. 展开更多
关键词 微纳制造 聚焦离子束 微刻划 金刚石刀具 沟道效应
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单晶锗微结构的超声振动辅助微切削加工 被引量:2
12
作者 陈俊云 张洁 靳田野 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第1期69-75,共7页
为解决单晶锗微结构元件超精密金刚石切削加工的技术难题,提出采用超声振动辅助切削技术提高单晶锗的临界未变形切屑厚度,并推导了微结构切削中切屑厚度的理论计算公式.进行微圆弧金刚石刀具的振动辅助微切削实验,研究临界未变形切屑厚... 为解决单晶锗微结构元件超精密金刚石切削加工的技术难题,提出采用超声振动辅助切削技术提高单晶锗的临界未变形切屑厚度,并推导了微结构切削中切屑厚度的理论计算公式.进行微圆弧金刚石刀具的振动辅助微切削实验,研究临界未变形切屑厚度随振幅的变化规律,分析微槽表面加工质量和切屑形貌等.分析4.5μm和10.0μm深的十字槽、矩形凸台等微结构的加工质量,针对微槽边缘的加工损伤问题,采用"切深递减"同时结合横向进给的工艺方法.实验结果表明:微槽切削中切削深度的理论计算值存在较大的误差,应选用直接测量法;振动辅助切削的临界未变形切屑厚度随着振幅的增加而增大,最高达到了704 nm,是普通切削深度的5.2倍.与普通切削相比,振动辅助加工可以在一定程度上降低微槽表面粗糙度.采用振动辅助微切削技术能够在大切深条件下加工出具有较高表面质量和轮廓精度的微结构,能够有效解决微槽侧面加工损伤问题,微槽表面粗糙度R_a值低至3.09 nm. 展开更多
关键词 单晶锗 振动辅助切削 临界未变形切屑厚度 微结构 微金刚石刀具
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单晶金刚石刀具研磨多功能夹具系统的研制 被引量:1
13
作者 夏志辉 张元良 +1 位作者 杜文浩 关微微 《工具技术》 北大核心 2006年第2期30-33,共4页
在单晶金刚石刀具的研磨过程中,研磨压力是一个影响研磨效率、表面质量、刃口质量等的关键工艺参数。设计了一个智能夹具系统,实现了研磨压力控制、效率控制及工艺参数检测等多项功能,为实现单晶金刚石刀具研磨的完全自动化奠定了基础。
关键词 单晶金刚石刀具 微动平台 柔性铰链
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微细电极精密车削技术 被引量:3
14
作者 黄燕华 董申 +2 位作者 袁光辉 张昭瑞 罗青 《电加工与模具》 2003年第4期14-16,共3页
对微细电极的精密车削工艺进行了研究 ,用人造金刚石刀具 ,加工出直径 7μm的微细电极 ,用车削的 1 1 μm微细电极成功地加工出 1 9μm的微细孔。研究结果表明 ,在微细电极的加工中 ,切削用量不仅对电极表面质量产生影响 。
关键词 微细电极 精密车削 人造金刚石刀具 微细电火花加工
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金刚石刀具刃口的动态微观机械强度各向异性评价方法 被引量:2
15
作者 宗文俊 胡振江 +2 位作者 李增强 孙涛 苑世剑 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2012年第6期549-554,共6页
为了评价金刚石刀具刃口动态微观机械强度的各向异性,对金刚石晶体的动态微观机械强度进行了理论建模,包括抗拉、剪切和抗压强度.通过比较分析动态微观机械强度的各向异性分布特征,提出了基于金刚石晶体动态微观抗拉强度的刀具刃口微观... 为了评价金刚石刀具刃口动态微观机械强度的各向异性,对金刚石晶体的动态微观机械强度进行了理论建模,包括抗拉、剪切和抗压强度.通过比较分析动态微观机械强度的各向异性分布特征,提出了基于金刚石晶体动态微观抗拉强度的刀具刃口微观机械强度各向异性评价新方法,即刀具刃口强度评价因子.刀具刃口强度评价因子越高,其对应的刀具刃磨质量或刀具耐用度就越好.最后,分别采用刃磨工艺实验和刀具耐用度实验对刃口强度评价因子的评价适用性进行了验证,实验数据和理论分析结果具有很好的一致性. 展开更多
关键词 金刚石刀具 动态微观机械强度 刃口强度评价因子 各向异性
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基于快速伺服刀架技术的菲涅尔微结构金刚石超精密加工及其控制技术 被引量:6
16
作者 赵清亮 王义龙 +3 位作者 于光 谢大纲 杨元华 卢猛 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期179-186,共8页
微结构功能表面的金刚石超精密加工技术是近年来国外兴起的一项新技术,国内在这一研究领域处于起步阶段。并且由于受加工设备所限,使得该技术在国内的开展显得异常艰难,为了克服这一困难,自行设计带有快速伺服刀架(Fasttoolservo,FTS)... 微结构功能表面的金刚石超精密加工技术是近年来国外兴起的一项新技术,国内在这一研究领域处于起步阶段。并且由于受加工设备所限,使得该技术在国内的开展显得异常艰难,为了克服这一困难,自行设计带有快速伺服刀架(Fasttoolservo,FTS)的超精密加工机床,提出按照自适应指数趋近律来设计滑动模态控制律,并将滑膜变结构控制策略引入FTS的控制中,同时,将FTS的PID控制策略和滑膜变结构控制策略进行试验对比,试验结果显示,在滑模变结构控制策略下,FTS的响应时间与PID控制相近,但滑模变结构控制算法下几乎无超调,稳态精度高,正弦跟踪控制效果优于常规PID控制算法;最后,根据滑膜变结构控制策略对菲涅尔微结构表面进行金刚石超精密车削加工试验,成功地加工出半径5mm,浮雕深度10μm,表面粗糙度约35nm的菲涅尔微结构。 展开更多
关键词 微结构功能表面 金刚石超精密加工 快速伺服刀架 滑膜变结构控制
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超精密切削面临的课题 被引量:5
17
作者 赵清亮 王景贺 +1 位作者 李旦 董申 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 1999年第11期5-8,共4页
文章对在光学、电子和机械元器件的加工达到微米或亚微米级型面精度及纳米级表面粗糙度的超精密切削技术进行了综述。讨论了机床、测量及控制、刀具及其它相关技术,对于切屑的去除过程和与微切削相关的现象进行了物理特性的讨论分析。
关键词 超精密切削 切屑 微切削 切削
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电沉积纳米镍-钴合金在金刚石工具制备中的应用研究 被引量:6
18
作者 黄志伟 王磊 +1 位作者 王琳 李云东 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2014年第2期40-43,47,共5页
采用纳米镍-钴镀层制备电镀金刚石工具以期提高工具的性能。通过考察脉冲参数、细化添加剂、硫酸钴对镀层显微硬度的影响,得出结论:细化添加剂、硫酸钴都能细化晶粒,两者有竞争关系;改变峰值电流密度和开通时间可以细化晶粒,脉冲周期过... 采用纳米镍-钴镀层制备电镀金刚石工具以期提高工具的性能。通过考察脉冲参数、细化添加剂、硫酸钴对镀层显微硬度的影响,得出结论:细化添加剂、硫酸钴都能细化晶粒,两者有竞争关系;改变峰值电流密度和开通时间可以细化晶粒,脉冲周期过短会造成晶粒粗化。镀层中钴的质量分数为9%,表面较光整,平均晶粒尺寸在14nm左右,显微硬度达到609HV。确定了制造金刚石工具最佳的电镀工艺参数,由其制得的工具平均寿命比纳米镍镀层材料工具高16%。 展开更多
关键词 金刚石工具 纳米镍钴镀层 显微硬度 脉冲参数
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基于微纳米金刚石过渡层的cBN刀具涂层制备 被引量:2
19
作者 徐锋 左敦稳 +3 位作者 张旭辉 户海峰 张骋 王珉 《南京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期43-48,共6页
立方氮化硼(Cubic Boron Nitride,cBN)是仅次于金刚石的超硬材料,比金刚石具有更高的化学稳定性,可以胜任铁系金属的加工。本文在YG6硬质合金上基于微纳米金刚石过渡层开展cBN涂层的制备研究。本文在热丝化学气相沉积系统中制备微纳米... 立方氮化硼(Cubic Boron Nitride,cBN)是仅次于金刚石的超硬材料,比金刚石具有更高的化学稳定性,可以胜任铁系金属的加工。本文在YG6硬质合金上基于微纳米金刚石过渡层开展cBN涂层的制备研究。本文在热丝化学气相沉积系统中制备微纳米金刚石过渡层(Micro/nanocrystalline diamond,M/NCD),在射频磁控溅射系统中制备cBN涂层,并对M/NCD与cBN涂层进行了成分、微观形貌与结合性能的研究。研究结果发现,在硬质合金基体上,M/NCD过渡层的结合性能明显优于NCD过渡层。磁控溅射制备cBN涂层过程中,存在适合cBN沉积的衬底偏压阈值,过高或过低的衬底偏压均不利于cBN含量的提高。 展开更多
关键词 立方氮化硼 刀具涂层 磁控溅射 微纳米金刚石 过渡层
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强电流直流伸展电弧法制备硬质合金微型工具的SiC过渡层和金刚石涂层
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作者 黑鸿君 李义锋 +2 位作者 刘艳青 唐伟忠 马世杰 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期1172-1176,共5页
采用强电流直流伸展电弧化学气相沉积(HCDCA CVD)技术在硬质合金微型工具表面沉积了SiC涂层作为过渡层,并在此基础之上制备了金刚石涂层。实验结果表明,采用HCDCA CVD技术在硬质合金表面制备的SiC纳米涂层连续、致密;此过渡层可有效地... 采用强电流直流伸展电弧化学气相沉积(HCDCA CVD)技术在硬质合金微型工具表面沉积了SiC涂层作为过渡层,并在此基础之上制备了金刚石涂层。实验结果表明,采用HCDCA CVD技术在硬质合金表面制备的SiC纳米涂层连续、致密;此过渡层可有效地抑制硬质合金基体中Co的外向扩散,确保在不进行酸蚀去Co预处理的情况下,金刚石涂层对硬质合金基体具有良好的附着力。切削检测的结果表明,实验所制备的SiC过渡层/金刚石涂层的微型铣刀与未涂层微型铣刀相比,切削刃没有切削屑的粘结,且加工后的工件表面上毛刺较少。这些结果表明,SiC过渡层/金刚石涂层硬质合金微型工具将具有优异的加工性能。 展开更多
关键词 强电流直流伸展弧化学气相沉积(HCDCA CVD) SiC过渡层 金刚石涂层 微型工具
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