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Accuracy improvement of GPS/MEMS-INS integrated navigation system during GPS signal outage for land vehicle navigation 被引量:15
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作者 Honglei Qin Li Cong Xingli Sun 《Journal of Systems Engineering and Electronics》 SCIE EI CSCD 2012年第2期256-264,共9页
To improve the reliability and accuracy of the global po- sitioning system (GPS)/micro electromechanical system (MEMS)- inertial navigation system (INS) integrated navigation system, this paper proposes two diff... To improve the reliability and accuracy of the global po- sitioning system (GPS)/micro electromechanical system (MEMS)- inertial navigation system (INS) integrated navigation system, this paper proposes two different methods. Based on wavelet threshold denoising and functional coefficient autoregressive (FAR) model- ing, a combined data processing method is presented for MEMS inertial sensor, and GPS attitude information is also introduced to improve the estimation accuracy of MEMS inertial sensor errors. Then the positioning accuracy during GPS signal short outage is enhanced. To improve the positioning accuracy when a GPS signal is blocked for long time and solve the problem of the tra- ditional adaptive neuro-fuzzy inference system (ANFIS) method with poor dynamic adaptation and large calculation amount, a self-constructive ANFIS (SCANFIS) combined with the extended Kalman filter (EKF) is proposed for MEMS-INS errors modeling and predicting. Experimental road test results validate the effi- ciency of the proposed methods. 展开更多
关键词 functional coefficient autoregressive (FAR) global po- sitioning system (GPS) micro electromechanical system (mems inertial navigation system (ins self-constructive adaptive neuro- fuzzy inference system (SCANFIS).
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一种Iridium机会信号/MEMS-INS组合定位技术
2
作者 秦红磊 杜岩松 《导航定位学报》 CSCD 2023年第3期45-52,共8页
针对铱星(Iridium)系统作为一种天基机会信号源可以实现载体静态定位功能,但是其可见星较少,无法实现独立动态定位的问题,提出一种Iridium机会信号/MEMS-INS组合定位技术:分析Iridium信号体制及Iridium多普勒观测量提取算法;然后建立基... 针对铱星(Iridium)系统作为一种天基机会信号源可以实现载体静态定位功能,但是其可见星较少,无法实现独立动态定位的问题,提出一种Iridium机会信号/MEMS-INS组合定位技术:分析Iridium信号体制及Iridium多普勒观测量提取算法;然后建立基于扩展卡尔曼滤波(EKF)的Iridium/惯导(INS)动态组合定位模型,并提出一种基于新息的自适应抗差EKF算法(AR-EKF);最后搭建微机电惯导(MEMS-INS)与Iridium信号组合定位系统。实验结果表明,提出的Iridium/INS组合定位AR-EKF算法相比EKF算法定位精度可提高40%以上,相比单INS定位精度可提高90%以上,可为GNSS失效场景下动态定位提供参考。 展开更多
关键词 全球卫星导航系统(GNSS)失效 机会信号 铱星 微机电惯导 扩展卡尔曼滤波(EKF) 自适应抗差
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基于改进LSTM网络的无人机MEMS-IMU零偏在线标定方法
3
作者 程向红 吴昕怡 +1 位作者 刘丰宇 钟志伟 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第3期213-218,共6页
针对在卫星信号拒止、视觉系统退化场景中无人机MEMS-IMU零偏无法准确估计并补偿导致导航误差迅速发散的问题,提出一种基于改进长短时记忆(LSTM)网络的零偏在线标定方法。首先,为解决MEMS-IMU零偏数据非线性强、传统循环时间网络训练效... 针对在卫星信号拒止、视觉系统退化场景中无人机MEMS-IMU零偏无法准确估计并补偿导致导航误差迅速发散的问题,提出一种基于改进长短时记忆(LSTM)网络的零偏在线标定方法。首先,为解决MEMS-IMU零偏数据非线性强、传统循环时间网络训练效果差的问题,设计序列到序列的LSTM神经网络结构,引入教师强迫机制,提高了网络特征学习能力。然后,在导航过程中使用训练后的网络对MEMS-IMU零偏在线标定,补偿后的IMU量测与视觉信息联合优化,保证了导航定位精度。实验结果表明,在纯惯性导航实验中,所提方法的绝对位置误差比传统LSTM方法减小了6.5%;在EUROC数据集下进行的视觉惯性组合导航实验中,所提方法的平均绝对位置误差比传统LSTM方法减小了15%。 展开更多
关键词 无人机导航定位 微惯性测量单元 在线标定 长短时记忆神经网络
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一种抗野值自适应滤波算法及在MEMS-SINS/GPS中应用 被引量:15
4
作者 石静 缪玲娟 倪茂林 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期2711-2716,共6页
针对噪声统计特性不准确以及量测信号中出现的野值对滤波的不利影响,提出一种基于Kalman滤波的抗野值自适应滤波算法。该算法通过对估计误差的实时监测来调整渐消因子或进行抗野值计算,使滤波器在统计特性不准确或存在野值干扰的情况下... 针对噪声统计特性不准确以及量测信号中出现的野值对滤波的不利影响,提出一种基于Kalman滤波的抗野值自适应滤波算法。该算法通过对估计误差的实时监测来调整渐消因子或进行抗野值计算,使滤波器在统计特性不准确或存在野值干扰的情况下仍为最优估计。将其应用到MEMS-SINS/GPS组合导航系统中,仿真结果表明该算法能有效降低统计特性不准确及野值给系统造成的不利影响。 展开更多
关键词 组合导航 捷联惯性导航系统 微机电系统 自适应 抗野值
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基于视觉/GPS/MEMS-INS数据融合的MUAV导航方案 被引量:3
5
作者 邵玮 祝小平 赵刚 《系统仿真技术》 2011年第1期77-81,共5页
提出了基于视觉/GPS/MEMS-SINS的微小型无人机(MUAV)数据融合导航方案,利用视觉测量和GPS测量分别与INS组成子滤波器系统,依靠主滤波器对2个子滤波器的估计值进行数据融合。通过仿真验证,说明提出的组合导航方案具有很高的导航精度,能... 提出了基于视觉/GPS/MEMS-SINS的微小型无人机(MUAV)数据融合导航方案,利用视觉测量和GPS测量分别与INS组成子滤波器系统,依靠主滤波器对2个子滤波器的估计值进行数据融合。通过仿真验证,说明提出的组合导航方案具有很高的导航精度,能够有效抑制MEMS-INS的漂移,并且在GPS信号失效时,具有很高的容错性能,能够保证导航系统的稳定性,具有一定的应用价值。 展开更多
关键词 微小型无人机 视觉导航 GPS mems-ins 组合导航
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鲁棒容错滤波算法及在MEMS_SINS/GPS中的应用 被引量:1
6
作者 石静 缪玲娟 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期146-149,159,共5页
针对MEMS_SINS/GPS组合导航系统中,GPS量测输出信息中常含有故障信号的问题,提出一种鲁棒容错滤波算法.将GPS量测输出中可能含有的故障信号扩充为系统的状态,通过鲁棒滤波算法在线实时估计出来,并对系统进行补偿,达到容错的目的.用MEMS_... 针对MEMS_SINS/GPS组合导航系统中,GPS量测输出信息中常含有故障信号的问题,提出一种鲁棒容错滤波算法.将GPS量测输出中可能含有的故障信号扩充为系统的状态,通过鲁棒滤波算法在线实时估计出来,并对系统进行补偿,达到容错的目的.用MEMS_SINS/GPS组合导航系统中得到的实验数据对该算法进行离线仿真验证.结果表明,该算法能有效降低GPS中故障信号的不利影响,使系统在此期间仍能工作在正常范围内. 展开更多
关键词 组合导航 捷联惯性导航系统 微机电系统 故障估计 容错滤波
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应用于MEMS_SINS/GPS组合导航系统的H_∞容错滤波算法
7
作者 石静 杨建华 刘慧英 《空间控制技术与应用》 CSCD 北大核心 2015年第2期18-23,共6页
针对基于微机电系统(MEMS,micro electro mechanical system)的捷联惯性导航系统(SINS,strapdown inertial navigation system)与全球定位系统(GPS,global positioning system)组成的组合导航系统中存在不确定干扰并且GPS量测输出中经... 针对基于微机电系统(MEMS,micro electro mechanical system)的捷联惯性导航系统(SINS,strapdown inertial navigation system)与全球定位系统(GPS,global positioning system)组成的组合导航系统中存在不确定干扰并且GPS量测输出中经常含有故障信号的情况,提出一种H∞容错滤波算法,能够对不确定噪声干扰具有鲁棒性,并且能够在检测到故障信号后进行容错计算,使滤波精度始终保持在要求的范围内.基于H∞滤波器,在状态估计方程中加入加权因子,使滤波器具有容错的功能,并且适用于组合导航中量测分量的数量级相差很大的情况.仿真试验结果表明,该算法能有效降低GPS中故障信号的不利影响,使系统在故障存在期间仍能正常工作. 展开更多
关键词 组合导航 捷联惯性导航系统 微机电系统 H∞滤波 容错滤波
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MEMS-INS室内行人定位三维地图匹配算法 被引量:2
8
作者 任明荣 孟娟 王普 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第1期111-116,共6页
提高基于微机械(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)惯性导航系统(Inertial Navigation System,INS)的室内行人三维定位精度一直是一个研究热点和难点,其中器件误差是影响MEMS-INS精度的一个棘手问题.由于器件误差产生的机理十分复... 提高基于微机械(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)惯性导航系统(Inertial Navigation System,INS)的室内行人三维定位精度一直是一个研究热点和难点,其中器件误差是影响MEMS-INS精度的一个棘手问题.由于器件误差产生的机理十分复杂,采用现有的修正技术无法准确地对误差进行估计建模,导致MEMS-INS的位置精度不高.本文从室内环境结构分析入手,提出了一种三维地图匹配的条件随机场算法.通过设计导航输出的位姿信息与室内状态点的数学关系,结合最佳轨迹求取的算法建立室内三维地图匹配的算法模型.最后通过算法求解出的最佳匹配点坐标修正惯性导航输出的位置误差. 展开更多
关键词 微机械惯性导航系统 室内行人定位 条件随机场 室内地图匹配
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基于MEMS的GPS/SINS组合导航技术发展现状 被引量:3
9
作者 康岳林 高杨 高立 《船电技术》 2011年第5期26-29,共4页
对比了GPS、捷联式惯导系统、微电子机械系统(MEMS)惯性传感器各自的优缺点。针对目前以惯性技术为基础的组合导航系统得到了重视和发展,介绍了基于MEMS的GPS/捷联式惯导组合过程中存在的各种技术问题和解决这些技术难题的技术途径。
关键词 mems GPS/Sins 组合导航
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Robust fault detection filter and its application in MEMS-based INS/GPS 被引量:2
10
作者 Jing Shi Lingjuan Miao Maolin Ni 《Journal of Systems Engineering and Electronics》 SCIE EI CSCD 2011年第1期113-119,共7页
Since any disturbance and fault may lead to significant performance degradation in practical dynamical systems,it is essential for a system to be robust to disturbances but sensitive to faults.For this purpose,this pa... Since any disturbance and fault may lead to significant performance degradation in practical dynamical systems,it is essential for a system to be robust to disturbances but sensitive to faults.For this purpose,this paper proposes a robust fault-detection filter for linear discrete time-varying systems.The algorithm uses H∞ estimator to minimize the worst possible amplification from disturbances to estimate errors,and H_ index to maximize the minimum effect of faults on the residual output of the filter.This approach is applied to the MEMS-based INS/GPS.And simulation results show that the new algorithm can reduce the effect of unknown disturbances and has a high sensitivity to faults. 展开更多
关键词 integrated navigation inertial navigation system(ins micro electro mechanical system(mems fault detection robustness.
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基于高精度MEMS-INS的双轴旋转调制技术 被引量:2
11
作者 王思远 刘海桥 罗世彬 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2021年第2期8-11,共4页
针对微机电系统(MEMS)惯性传感器常值漂移误差、标度因数误差以及标度因数对称性误差较大的问题,引入一种误差调制方法,即旋转调制(RM)。为补偿3个轴向上的传感器误差,采用一种双轴十六位置连续旋转方法,并与单轴正反连续旋转方法对误... 针对微机电系统(MEMS)惯性传感器常值漂移误差、标度因数误差以及标度因数对称性误差较大的问题,引入一种误差调制方法,即旋转调制(RM)。为补偿3个轴向上的传感器误差,采用一种双轴十六位置连续旋转方法,并与单轴正反连续旋转方法对误差的调制效果进行对比。仿真结果表明:双轴十六位置连续旋转相对于单轴两位置连续旋转具有更好的调制效果,720 s内惯性导航系统的速度精度提高了2倍,位置精度提高了近3倍。 展开更多
关键词 惯性导航系统 旋转调制 微机电系统—惯性导航系统
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基于互补滤波器的MEMS/GPS/地磁组合导航系统 被引量:29
12
作者 张勇刚 张云浩 李宁 《系统工程与电子技术》 EI CSCD 北大核心 2014年第11期2272-2279,共8页
针对低成本、高性能、高可靠性导航系统的迫切需求,设计并实现了一种基于互补滤波器的微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)/全球定位系统(global positioning system,GPS)/地磁组合导航系统。通过精确地器件标定,提高了M... 针对低成本、高性能、高可靠性导航系统的迫切需求,设计并实现了一种基于互补滤波器的微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)/全球定位系统(global positioning system,GPS)/地磁组合导航系统。通过精确地器件标定,提高了MEMS陀螺仪、加速度计输出数据的准确性;根据MEMS惯性导航系统解算的姿态角、速度、位置结果,结合GPS及地磁的输出,设计了组合导航系统;依据载体的运动状态,设计了自适应调整截止频率的互补滤波器数据融合方法,实现了组合导航系统的定姿定位;最后,对组合导航系统进行静态、动态测试试验,实际测试结果表明,组合导航系统能够达到较高的导航精度。 展开更多
关键词 微机电系统 组合导航 标定 互补滤波
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UV-LIGA工艺误差对MEMS万向惯性开关性能的影响 被引量:7
13
作者 曹云 席占稳 +2 位作者 王炅 聂伟荣 孔南 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第9期1815-1823,1833,共10页
为提高微机电系统(MEMS)万向惯性开关的性能,实现工程化应用,对其进行工艺误差与性能关系研究.基于多层UV-LIGA工艺制作多个开关样机,进行主要结构尺寸测量,并确定工艺误差方向;从UV-LIGA工艺过程的曝光、显影与电铸、腐蚀3个阶段,分析... 为提高微机电系统(MEMS)万向惯性开关的性能,实现工程化应用,对其进行工艺误差与性能关系研究.基于多层UV-LIGA工艺制作多个开关样机,进行主要结构尺寸测量,并确定工艺误差方向;从UV-LIGA工艺过程的曝光、显影与电铸、腐蚀3个阶段,分析误差的产生机理,并进一步分析单一结构误差、非对称误差和偏心误差对开关阈值和接触时间的影响.结果表明:弹簧线宽、厚度、侧壁倾角和两电极间隙等单一结构尺寸的增大会导致阈值增大;非对称误差会导致开关各向刚度不一致,使阈值散布更大;偏心误差会大幅度减小开关轴向阈值,而对径向阈值影响较小.对多个开关样机的测试结果验证了开关工艺误差及单一结构误差对阈值影响的正确性. 展开更多
关键词 微机电系统(mems) UV-LIGA 工艺误差 万向惯性开关 阈值
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梳状音叉MEMS陀螺非随机误差分析 被引量:4
14
作者 李荣冰 刘建业 +2 位作者 林雪原 华冰 刘瑞华 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期928-931,共4页
研究了一种典型结构的梳状音叉MEMS陀螺的非随机性误差特性。综合考虑梳状音叉MEMS陀螺质心偏移、硅的非等弹性等因素,分析该陀螺中的非随机性干扰力矩;从二阶欠阻尼控制系统的角度,讨论了干扰力矩在陀螺内调制、解调环节下对输出的影响... 研究了一种典型结构的梳状音叉MEMS陀螺的非随机性误差特性。综合考虑梳状音叉MEMS陀螺质心偏移、硅的非等弹性等因素,分析该陀螺中的非随机性干扰力矩;从二阶欠阻尼控制系统的角度,讨论了干扰力矩在陀螺内调制、解调环节下对输出的影响;推导出开环灵敏度随温度、比力和角速度的变化关系。在一定近似条件下,得到梳状音叉MEMS陀螺非随机性误差模型的形式。 展开更多
关键词 mems陀螺 非随机性误差 微电子机械系统 惯性导航
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基于MEMS传感器的车载微惯性测量单元设计 被引量:7
15
作者 杨文华 石存杰 +2 位作者 秦洪武 王启唐 李正盛 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第1期121-124,共4页
为了感知汽车姿态,利用MEMS传感器自主设计了一种车载微惯性测量单元(MIMU),详细介绍了三轴MEMS加速度计、三轴MEMS陀螺和正六面体的设计。该单元具有成本低、精度高、体积小,且便于标定等优点,可以方便地运用到汽车姿态实时监测系统中... 为了感知汽车姿态,利用MEMS传感器自主设计了一种车载微惯性测量单元(MIMU),详细介绍了三轴MEMS加速度计、三轴MEMS陀螺和正六面体的设计。该单元具有成本低、精度高、体积小,且便于标定等优点,可以方便地运用到汽车姿态实时监测系统中。给出了单元的标定方法,分析了其误差来源,建立误差模型以及自主设计了标定系统。实验结果表明:该单元能有效地消除信号干扰,具有满意的精度要求,可对运用该单元进行汽车姿态监测等提供理论研究与工程应用参考。 展开更多
关键词 汽车姿态 微机电系统 微惯性测量单元 标定 误差模型
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基于UKF的MEMS传感器姿态测量系统 被引量:29
16
作者 赵鹤 王喆垚 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期642-646,共5页
针对工业和民用领域对姿态测量的需求,提出了基于MEMS加速度计、陀螺仪和磁强计的姿态测量系统,并采用无先导卡尔曼滤波(Unscented Kalm an F ilter,UKF)方法处理传感器数据。针对基于加速度计和磁强计的姿态测量方式在动态测量时不准... 针对工业和民用领域对姿态测量的需求,提出了基于MEMS加速度计、陀螺仪和磁强计的姿态测量系统,并采用无先导卡尔曼滤波(Unscented Kalm an F ilter,UKF)方法处理传感器数据。针对基于加速度计和磁强计的姿态测量方式在动态测量时不准确的问题和单独采用陀螺仪测量角度产生漂移的问题,设计了基于方向旋转矩阵的UKF滤波器:结合两种测量方式的优点,互相克服各自的不足。经过UKF处理后:在静态测试中,测量系统没有积累误差;在动态测试中,陀螺仪补偿了加速度计和磁强计测量方法的中产生的毛刺。实验结果表明,所设计的姿态系统可以达到很高的精度;通过嵌入式系统完成数据采集和滤波,姿态测量系统具有很好的实时性。 展开更多
关键词 惯性导航 姿态测量 微机电系统(mems) 无先导卡尔曼滤波(UKF)
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9轴MEMS-IMU实时姿态估算算法 被引量:10
17
作者 张金艺 徐德政 +2 位作者 李若涵 陈兴秀 徐秦乐 《上海大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2015年第5期547-559,共13页
随着对微机电系统一惯性测量单元(micro-electro-mechanical system-inertial measurement unit,MEMS-IMU)在室内定位、动态追踪等应用领域中的需求日益迫切,使得具有高精度、低成本和实时性的MEMS-IMU模块设计成为研究热点.针对MEMS-IM... 随着对微机电系统一惯性测量单元(micro-electro-mechanical system-inertial measurement unit,MEMS-IMU)在室内定位、动态追踪等应用领域中的需求日益迫切,使得具有高精度、低成本和实时性的MEMS-IMU模块设计成为研究热点.针对MEMS-IMU的核心技术——姿态估算进行研究,设计了一种基于四元数的9轴MEMS-IMU实时姿态估算算法.该算法运用分解四元数算法处理加速度和磁感应强度数据,计算出静态四元数;通过角速度与四元数的微分关系估算动态四元数;运用卡尔曼滤波融合动、静态四元数,进而实现实时姿态估算.针对分解四元数算法中存在的奇异值问题,提出了转轴补偿方法对其修正,以实现全姿态估算;考虑动态情况下的非线性加速度分量对姿态估算精度的影响,设计了R自适应卡尔曼滤波器,以进一步提高姿态估算算法的精度.验证结果表明,R自适应卡尔曼滤波器能够有效抑制加速度噪声,提高姿态估算精度;同时,转轴补偿-分解四元数算法能够准确估算奇异值点的姿态信息,并且计算时间仅为原"借角"补偿方法的50%左右,有效提高了整体算法的实时性. 展开更多
关键词 微机电系统-惯性测量单元 姿态估算 分解四元数算法 奇异值补偿 卡尔曼滤波
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基于GPS/MEMS惯性传感器的消防员室内定位研究 被引量:11
18
作者 朱新宇 陶庭叶 姜冬致 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2018年第7期949-955,共7页
文章基于Android手机上常见的全球定位系统(Global Positioning System,GPS)芯片和微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)惯性传感器进行消防员室内定位研究,在初始位置由GPS确定后,结合传统四元数惯性导航定位算法和基于... 文章基于Android手机上常见的全球定位系统(Global Positioning System,GPS)芯片和微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)惯性传感器进行消防员室内定位研究,在初始位置由GPS确定后,结合传统四元数惯性导航定位算法和基于行人航位推算(pedestrian dead reckoning,PDR)的步伐检测以及零速修正算法(zero velocity update,ZUPT)进行惯性导航,当误差累积时再利用GPS定位进行实时位置的精确修正,从而实现了独立的无需外部信号设施的自主式室内导航定位,可在火场等恶劣环境下使用。 展开更多
关键词 室内定位 全球定位系统(GPS) 微机电系统(mems) ANDROID操作系统 惯性导航
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基于MEMS技术的低g值微惯性开关的设计与制作 被引量:6
19
作者 王超 陈光焱 吴嘉丽 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期653-657,共5页
惯性开关是一种感受惯性加速度,执行开关机械动作的精密惯性装置。选用典型的"弹簧-质量-阻尼"结构,研制了一种基于平面矩形螺旋梁的低g值(1gn^30gn)微惯性开关。惯性敏感单元由一个方形质量块和支撑它的两根螺旋梁组成,采用A... 惯性开关是一种感受惯性加速度,执行开关机械动作的精密惯性装置。选用典型的"弹簧-质量-阻尼"结构,研制了一种基于平面矩形螺旋梁的低g值(1gn^30gn)微惯性开关。惯性敏感单元由一个方形质量块和支撑它的两根螺旋梁组成,采用ANSYS有限元软件对其进行了仿真分析。采用MEMS体硅加工工艺和圆片级封装技术,包括KOH腐蚀、ICP刻蚀和喷涂工艺等关键工艺技术,完成了微惯性开关的制备,划片后芯片尺寸为7 mm×7 mm×1.5 mm。经离心实验测试,微惯性开关的闭合阈值约为4.28gn,导通电阻约为9.3Ω。多次测试结果表明,微惯性开关具有0.5gn的闭合精度,多次测试重复性较好,具有体积小,结构简单,加工容易实现等特点。 展开更多
关键词 平面矩形螺旋梁 微惯性开关 低g值开关 微机电系统(mems)
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MEMS技术发展现状及未来发展趋势 被引量:19
20
作者 秦雷 谢晓瑛 李君龙 《现代防御技术》 北大核心 2017年第4期1-5,23,共6页
MEMS技术作为一门多学科高度交叉的前沿学科领域,在近些年来得到迅速发展,在航空、航天、生物技术等领域都有广泛的应用。该技术可实现优质高产低耗,大大提高系统的可靠性和智能化功能,已经成为电子领域活跃的发展方向之一。论述了MEMS... MEMS技术作为一门多学科高度交叉的前沿学科领域,在近些年来得到迅速发展,在航空、航天、生物技术等领域都有广泛的应用。该技术可实现优质高产低耗,大大提高系统的可靠性和智能化功能,已经成为电子领域活跃的发展方向之一。论述了MEMS微系统技术的重要性,从微感知与微控制、微流动控制、微惯性测量装置、微型飞行器、可穿戴和可植入式装备、纳机电谐振器、扫描隧道显微镜等七大方面分别论述MEMS微系统技术发展现状,并对该技术进行了展望,以期对未来发展并应用该技术具有借鉴意义。 展开更多
关键词 微机电系统 微感知 微控制 微型飞行器 纳机电系统 惯性测量装置
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