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Application of Micro Electro Mechanical System(MEMS)Technology in Photoacoustic Imaging
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作者 Lixia Bao Xiaoying Tang Zhenqi Jiang 《Journal of Beijing Institute of Technology》 EI CAS 2022年第3期238-250,共13页
Photoacoustic imaging(PAI)is a new biomedical imaging technology that provides a mixed contrast mechanism and excellent spatial resolution in biological tissues.It is a non-invasive technology that can provide in vivo... Photoacoustic imaging(PAI)is a new biomedical imaging technology that provides a mixed contrast mechanism and excellent spatial resolution in biological tissues.It is a non-invasive technology that can provide in vivo anatomical and functional information.This technology has great application potential in microscopic imaging and endoscope system.In recent years,the devel-opment of micro electro mechanical system(MEMS)technology has promoted the improvement and miniaturization of the photoacoustic imaging system,as well as its preclinical and clinical appli-cations.This paper introduces the research progress of MEMS technology in photoacoustic micro-scope systems and the miniaturization of photoacoustic endoscope ultrasonic transducers,and points out the shortcomings of existing technology and the direction of future development. 展开更多
关键词 photoacoustic imaging photoacoustic microscope photoacoustic endoscope micro elec-tro mechanical system(mems) ultrasonic transducer
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MEMS电容薄膜真空计微电容检测系统的设计
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作者 高青松 郭朝帽 +3 位作者 陶院 杨雷 马动涛 张虎忠 《真空与低温》 2024年第6期603-609,共7页
为了满足空间环境探测对真空测量仪器准确度高、体积小、质量轻、功耗低的应用需求,基于微机电系统(MEMS)的小型化电容薄膜真空计应运而生。针对MEMS电容薄膜真空计微小电容测量需求,设计了一种基于CDC电容数字转换器的微电容检测系统,... 为了满足空间环境探测对真空测量仪器准确度高、体积小、质量轻、功耗低的应用需求,基于微机电系统(MEMS)的小型化电容薄膜真空计应运而生。针对MEMS电容薄膜真空计微小电容测量需求,设计了一种基于CDC电容数字转换器的微电容检测系统,获得了fF级微电容检测分辨率。采用温度漂移误差自校准技术,解决了测量压力受温度扰动影响的问题。地面样机测试与验证表明,该检测系统具有宽量程、高分辨率和低功耗检测的优点,为MEMS电容薄膜真空计实现空间应用奠定了技术基础。 展开更多
关键词 mems 电容薄膜 真空计 微弱电容 电子测量
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基于微形变分析的电容式MEMS加速度计温漂误差精密估计方法
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作者 齐兵 程建华 +1 位作者 赵砚驰 汪籽粒 《系统工程与电子技术》 EI CSCD 北大核心 2024年第7期2437-2445,共9页
针对传统的电容式微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)加速度计(capacitive MEMS accelerometers,CMA)温漂误差(temperature drift error,TDE)补偿方法存在非精准溯源TDE致使TDE估计精度低、反复尝试估计模型构型导致构... 针对传统的电容式微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)加速度计(capacitive MEMS accelerometers,CMA)温漂误差(temperature drift error,TDE)补偿方法存在非精准溯源TDE致使TDE估计精度低、反复尝试估计模型构型导致构建过程复杂繁琐的问题,提出基于微形变分析的CMA TDE精密补偿方法。首先,通过微形变分析内部结构精准溯源TDE,基于径向基函数神经网络(radial basis function neural network,RBFNN)构建改进型TDE精密估计模型;其次,基于专家经验和模糊理论提出Expert-Fuzzy辅助决策下TDE估计模型辨识方法,为改进模型提供有效的构型指导;然后,设计升温试验测试CMA,构建传统模型和改进模型并通过对比其输出偏置稳定性评估TDE估计性能。实验结果表明,改进模型构建过程大大简化,补偿后CMA偏置稳定性提升约35%。本方法能够更加精准地估计TDE,有效解耦硅基材料的温度依赖性并提升CMA的环境适应性。 展开更多
关键词 微机电系统 温漂误差估计 微形变分析 Expert-Fuzzy辅助决策 径向基函数神经网络
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高频压电MEMS微镜设计与仿真
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作者 张浩 汪洋 武震宇 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第2期76-80,共5页
阵列化微镜设计可以实现微镜的高频工作。本文采用将驱动器隐藏在六边形镜面下方的设计方案来实现微镜阵列单元的制备,减小了微镜尺寸。在镜面内部引入了柔性结构匀散应力,降低微镜应力断裂风险,提高了微镜的可靠性,采用六边形密排的方... 阵列化微镜设计可以实现微镜的高频工作。本文采用将驱动器隐藏在六边形镜面下方的设计方案来实现微镜阵列单元的制备,减小了微镜尺寸。在镜面内部引入了柔性结构匀散应力,降低微镜应力断裂风险,提高了微镜的可靠性,采用六边形密排的方式可以实现大于90%的占空比。所设计的微镜可以实现倾斜、偏转和活塞3种工作自由度,工作频率达到了23 000 Hz以上,共振偏转角度可以达到6.5°。对比传统的微镜阵列设计,本文设计提高了空间利用率和致动效率。 展开更多
关键词 微机电系统 压电驱动 微镜阵列 高频
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Real-Time, Automatic and Wireless Bridge Monitoring System Based on MEMS Technology
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作者 Bo Qiu Jianda Tan 《Journal of Civil Engineering and Architecture》 2016年第9期1027-1031,共5页
Currently, the monitoring of bridges in China heavily relies on manual operation, which has several major problems. It generally takes a very long time to complete an inspection process on bridges. The manual data is ... Currently, the monitoring of bridges in China heavily relies on manual operation, which has several major problems. It generally takes a very long time to complete an inspection process on bridges. The manual data is sometimes unreliable or even wrong in the case of careless operation. The inspection activity itself is dangerous for inspectors, e.g., bridges are located in the sea or river. Some semi-automatic monitoring methods are recently employed, but they are either very expensive or do not work properly. Therefore, the traditional bridge monitoring process becomes an increasing challenge for bridge operators. In this paper, a real-time and automatic bridge monitoring system is presented to meet the bridge monitoring needs, and MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) are the key building block in this system. By using the MEMS-based sensors, it is much more efficient and accurate in monitoring bridges with the measurement of inclination, acceleration, displacement, moisture, temperature, stress and other data. 展开更多
关键词 Bridge monitoring system mems micro Electro mechanical systems) AUTOMATIC REAL-TIME wireless.
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面向MEMS质谱仪离子源的场发射针尖阵列研制及性能
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作者 吴章旭 程玉鹏 +5 位作者 李山 朱五林 沈琛 胡郑蕊 徐椿景 陈池来 《微纳电子技术》 CAS 2024年第9期100-107,共8页
针对微电子机械系统(MEMS)质谱仪应用中对高工作气压和高电子电流的需求,同时保持MEMS技术在体积和质量上的优势,研制了一种用于MEMS质谱仪离子源的基于场发射原理的针尖阵列。通过MEMS加工技术实现了最大44个/mm^(2)的针尖密度,并在4和... 针对微电子机械系统(MEMS)质谱仪应用中对高工作气压和高电子电流的需求,同时保持MEMS技术在体积和质量上的优势,研制了一种用于MEMS质谱仪离子源的基于场发射原理的针尖阵列。通过MEMS加工技术实现了最大44个/mm^(2)的针尖密度,并在4和6英寸(1英寸=2.54 cm)的硅基晶圆上完成平行批量制造。实验结果显示,1600个针尖组成的阵列在3.4×10^(-3)Pa气压下最大发射电流达到1.28 mA,在23.71 Pa的气压下达到92.93μA,同时单片集成结构使其具备与永磁体结合的放电增强能力,磁场下针尖阵列的最大放电电流提升175.79%。初步的测试结果证实了场发射针尖阵列作为离子源在MEMS质谱仪中的应用潜力。 展开更多
关键词 质谱仪 微电子机械系统(mems) 针尖阵列 离子源 场发射 电子发射
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一种基于压电驱动的扭转式MEMS电场传感器设计与仿真优化
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作者 刘阳 饶宇飞 +6 位作者 李海峰 王誉铮 魏诗超 马斌 杨庆 柯锟 廖伟 《科学技术与工程》 北大核心 2024年第28期12211-12219,共9页
电力传感技术是实现新型电力系统数字化转型的关键,其中电场参量是重要的监测对象之一。提出一种基于压电驱动的扭转式微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)电场传感器。该微机电系统电场传感器的通过驱动结构带动屏蔽电... 电力传感技术是实现新型电力系统数字化转型的关键,其中电场参量是重要的监测对象之一。提出一种基于压电驱动的扭转式微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)电场传感器。该微机电系统电场传感器的通过驱动结构带动屏蔽电极在感应电极表面周期性振动实现电场的调制测量。其压电驱动结构为4个对称分布的L型压电悬臂梁,屏蔽电极和感应电极为两对交错耦合的梳齿电极构成。接着通过COMSOL仿真软件建立了结构的固体力学-静电耦合模型,计算了敏感结构的谐振频率和振动幅值。结果显示:结构的工作模态下的谐振频率可达到25047 Hz,在3 V的交流驱动电压下屏蔽电极末端位移为85.06μm。进一步通过参数扫描方式对敏感结构的关键参数进行仿真分析。优化了梳齿电极的长度、宽度、间距、个数等参数以及感应电极长度、感应电极宽度、梳齿电极的个数和感应电极间距。最后完成了传感器的测试。测试结果表明:该传感器的灵敏度为3.24 mV/(kV/m),测量误差最大仅为3.75%。 展开更多
关键词 微机电系统(mems) 电场传感器 压电驱动 COMSOL
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Code mechanical solidification and verification in MEMS security devices
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作者 张卫平 陈文元 +2 位作者 赵小林 李胜勇 姜勇 《Journal of Shanghai University(English Edition)》 CAS 2006年第4期334-338,共5页
The virtual machine of code mechanism (VMCM) as a new concept for code mechanical solidification and verification is proposed and can be applied in MEMS (micro-electromechanical systems) security device for high c... The virtual machine of code mechanism (VMCM) as a new concept for code mechanical solidification and verification is proposed and can be applied in MEMS (micro-electromechanical systems) security device for high consequence systems. Based on a study of the running condition of physical code mechanism, VMCM's configuration, ternary encoding method, running action and logic are derived. The cases of multi-level code mechanism are designed and verified with the VMCM method, showing that the presented method is effective. 展开更多
关键词 mems micro-electromechanical systems) security device code mechanical solidification and verification virtual machine of code mechanism (VMCM) ternary system.
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Absorption Line Profile Recovery Based on TDLS and MEMS Micro-Mirror for Photoacoustic Gas Sensing
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作者 LI Li Norhana Arsad +3 位作者 George Stewart Deepak Uttamchandani Brian Culshaw WANG Yi-ding 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1814-1818,共5页
A novel and efficient absorption line recovery technique is presented.A micro-electromechanical systems(MEMS) mirror driven by an electrothermal actuator is used to generate laser intensity modulation through the mirr... A novel and efficient absorption line recovery technique is presented.A micro-electromechanical systems(MEMS) mirror driven by an electrothermal actuator is used to generate laser intensity modulation through the mirror reflection.Tunable diode laser spectroscopy(TDLS) and photoacoustic spectroscopy(PAS) are used to recover the target absorption line profile which is compared with the theoretical Voigt profile.The target gas is 0.01% acetylene(C2H2) in a nitrogen host gas.The laser diode wavelength is swept across the P17 absorption line of acetylene at 1 535.4 nm by a current ramp,and an erbium-doped fibre amplifier(EDFA) is used to enhance the optical intensity and increase the signal-to-noise ratio(SNR).A SNR of about 35 is obtained with 100 mW laser power from the EDFA.Good agreement is achieved between the experimental results and the theoretical simulation for the P17 absorption line profile. 展开更多
关键词 micro-electro-mechanical-systems(mems) Laser intensity modulation Absorption line profile recovery Tunable diode laser spectroscopy Photo-acoustic gas sensing
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集成差分电容式MEMS微型电场传感器设计与研制
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作者 黄国平 陈锦荣 +1 位作者 王跃强 廖峰 《电子器件》 CAS 2024年第1期79-83,共5页
在继电保护实际运行中,屏柜内部一些隐性故障将造成压板投退失效,严重威胁着电网的安全可靠运行。为了能够可靠、有效地监测出口压板的带电状态或电气导通性,设计了一种SOI差分电容式MEMS电场传感器。所设计的传感器以微机械元件物理设... 在继电保护实际运行中,屏柜内部一些隐性故障将造成压板投退失效,严重威胁着电网的安全可靠运行。为了能够可靠、有效地监测出口压板的带电状态或电气导通性,设计了一种SOI差分电容式MEMS电场传感器。所设计的传感器以微机械元件物理设计为基础,构造出可靠的运行结构,并且依靠一个低噪声、高动态范围的接口IC来完成操作。所设计的接口集成电路在应对脉冲式的间歇性操作的同时,组织互补设备阵列以感应各种不同的测量信号。通过COMSOL Multiphysics仿真实验可以看出,所设计的传感器能够很好地满足压板状态监测的需求。 展开更多
关键词 继电保护 电场传感器 mems 硬压板
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基于MEMS电场传感器的电压反演方法研究
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作者 崔凤庆 栗晓政 +4 位作者 樊彦国 梁纲 宋晓燕 廖伟 杨庆 《电气自动化》 2024年第5期72-75,共4页
针对电场逆问题的电压反演方法涉及复杂的矩阵逆运算问题,提出了一种基于微机电系统电场传感器的电压反演测量方法。首先介绍电场积分法反演电压原理,其次建立仿真模型获取空间电场分布规律;然后利用电场积分法进行计算分析;最后通过模... 针对电场逆问题的电压反演方法涉及复杂的矩阵逆运算问题,提出了一种基于微机电系统电场传感器的电压反演测量方法。首先介绍电场积分法反演电压原理,其次建立仿真模型获取空间电场分布规律;然后利用电场积分法进行计算分析;最后通过模拟架空线路测试平台对电场积分法进行验证。结果表明:仿真显示比例系数k=0.9时,3点高斯-切比雪夫积分法可实现三相电压的准确反演,最大误差为2.55%;k=0.7时,测试得到的反演电压幅值误差为5.75%。通过仿真与试验结果验证了所提反演方法的有效性,其研究结果可为架空线路非侵入电压反演测量提供理论方法指导。 展开更多
关键词 微机电系统电场传感器 电场积分法 高斯-切比雪夫算法 电压反演 架空线路
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基于 MEMS 技术的智能传感器系统(“智能灰尘”) 被引量:5
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作者 张紫辰 董恺琛 +3 位作者 张益源 王建中 赵嘉昊 尤政 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期2095-2109,共15页
基于微机电系统(MEMS)技术的智能传感器系统("智能灰尘",Smart Dust)是体积小、能耗低、具备多功能传感与探测、信息处理与存储、双向无线通信、能源自供给与管理等功能的集成系统.它既可以独立工作也可以多系统协同工作.本... 基于微机电系统(MEMS)技术的智能传感器系统("智能灰尘",Smart Dust)是体积小、能耗低、具备多功能传感与探测、信息处理与存储、双向无线通信、能源自供给与管理等功能的集成系统.它既可以独立工作也可以多系统协同工作.本文首先明确智能灰尘的基本概念及应用领域;随后介绍智能灰尘集成系统的设计方法和结构组成;通过综述智能灰尘技术的发展历程与趋势,以及国内外相关技术的发展现状,最后总结智能灰尘系统关键的技术难点与重点,并明确今后MEMS工艺及集成技术突破的可行性方案. 展开更多
关键词 mems (micro ELECTRO mechanical systems) 智能灰尘 无线通信 复合能源
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MEMS电容式三维微触觉测头设计及校准 被引量:8
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作者 吴俊杰 李源 +2 位作者 李东升 卢歆 何明轩 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期3087-3094,共8页
由于微纳米几何量计量很难以三维方式高精度地测量较大尺寸的器件,本文基于非硅MEMS工艺,开发了一种可用于微纳米尺度三维尺寸测量的电容式微触觉测头。利用电容频率测量法实现了微弱电容信号的采集。采用宏微结合驱动方式,设计了运动... 由于微纳米几何量计量很难以三维方式高精度地测量较大尺寸的器件,本文基于非硅MEMS工艺,开发了一种可用于微纳米尺度三维尺寸测量的电容式微触觉测头。利用电容频率测量法实现了微弱电容信号的采集。采用宏微结合驱动方式,设计了运动范围为25mm×25mm×10mm,单轴12μm范围内定位精度达1nm的三维微位移平台。最后,对测头的测量范围、线性、迟滞及分辨力进行了测试。结果表明,测头的轴向测量范围为4.5μm,横向测量范围大于5μm,轴向分辨力优于10nm,横向分辨力优于25nm,线性较好。开发的测头结构简单、分辨力高、体积小、成本低,可集成到纳米测量定位平台(NMM),完成具有大范围、亚微米或纳米级精度要求的测量任务。 展开更多
关键词 微触觉测头 微电容传感器 微机电系统 校准装置 纳米测量机
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三轴数字MEMS加速度计现场标定方法 被引量:28
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作者 彭孝东 张铁民 +1 位作者 李继宇 闫国琦 《振动.测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2014年第3期544-548,595,共5页
微机电系统(micro electro mechanical systems,简称MEMS)加速度传感器作为低成本惯性测量单元在物体姿态监测中有着广泛应用。根据三轴数字加速度传感器的输出数学模型,详细推导了如何计算数学模型中标度因数、安装误差系数以及零偏值... 微机电系统(micro electro mechanical systems,简称MEMS)加速度传感器作为低成本惯性测量单元在物体姿态监测中有着广泛应用。根据三轴数字加速度传感器的输出数学模型,详细推导了如何计算数学模型中标度因数、安装误差系数以及零偏值。提出一种基于长方体的六位置简单标定方法,对比三轴转台精确标定结果表明六位置简单标定法简单易行,精度较高,易于单片机实现,适合不具备三轴转台的场所,且该方法对MEMS三轴数字加速度计的校准具有很好的通用性。 展开更多
关键词 微机电系统 加速度计传感器 标定 转台
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适用于恶劣环境的MEMS压阻式压力传感器 被引量:34
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作者 伞海生 宋子军 +2 位作者 王翔 赵燕立 余煜玺 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期550-555,共6页
为了消除潮湿、酸碱、静电颗粒等恶劣环境对压力传感器压敏电阻的影响,提出了一种新型结构的压阻式压力传感器。该传感器将压敏电阻置于应力薄膜的下表面并通过阳极键合技术密封在真空压力腔中,从而减少了外界环境对压敏电阻的影响。介... 为了消除潮湿、酸碱、静电颗粒等恶劣环境对压力传感器压敏电阻的影响,提出了一种新型结构的压阻式压力传感器。该传感器将压敏电阻置于应力薄膜的下表面并通过阳极键合技术密封在真空压力腔中,从而减少了外界环境对压敏电阻的影响。介绍了此种压力传感器的工作原理,使用ANSYS软件并结合有限元方法模拟了压敏薄膜在压力作用下的应力分布情况。最后,利用微机电系统(MEMS)技术成功制作出了尺寸为1.5mm×1.5mm×500μm的压阻式压力传感器。用压力检测平台对该压力传感器进行了测试,结果表明,在25~125℃,其线性度小于2.73%,灵敏度约为20mV/V-MPa,满足现代工业使用要求。 展开更多
关键词 微机电系统 压阻式压力传感器 恶劣环境 可靠性
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纤毛式MEMS矢量水声传感器的仿生组装 被引量:24
16
作者 张国军 陈尚 +2 位作者 薛晨阳 张斌珍 张开瑞 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2009年第3期221-227,共7页
提出了一种纤毛式微机电系统(MEMS)矢量水声传感器的仿生组装技术.期望结合MEMS工艺和仿生组装工艺技术,解决复杂结构的仿生制造问题.文中简单介绍了仿生学理论以及定向探测机理.采用MEMS基硅微机械加工技术完成了传感器微结构的加工.... 提出了一种纤毛式微机电系统(MEMS)矢量水声传感器的仿生组装技术.期望结合MEMS工艺和仿生组装工艺技术,解决复杂结构的仿生制造问题.文中简单介绍了仿生学理论以及定向探测机理.采用MEMS基硅微机械加工技术完成了传感器微结构的加工.通过模仿鱼类侧线器官神经丘感觉器的仿生结构,完成了传感器仿生微结构的组装,制作出纤毛式硅微仿生矢量水声传感器的模型样机.最后,完成了传感器的校准测试.测试结果表明,该水声传感器不但体积小、质量轻、结构简单,而且具有"8"字型的指向特性.该水声传感器的声压灵敏度为-197.7 dB(0 dB=1 V/μPa). 展开更多
关键词 微机电系统 仿生组装 纤毛 矢量水声传感器
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基于MEMS技术的汽车传感器研究进展 被引量:10
17
作者 吕良 邓中亮 +1 位作者 刘玉德 辛洪兵 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第4期77-84,共8页
随着汽车传感器的迅速发展和对MEMS(微机电系统)技术研究的深入,基于MEMS技术的汽车传感器具有广阔的应用前景。本文就MEMS汽车传感器的研究应用现状、MEMS汽车传感器的分类、制作加工技术和工艺等进行了简述,并详细介绍了几种典型的MEM... 随着汽车传感器的迅速发展和对MEMS(微机电系统)技术研究的深入,基于MEMS技术的汽车传感器具有广阔的应用前景。本文就MEMS汽车传感器的研究应用现状、MEMS汽车传感器的分类、制作加工技术和工艺等进行了简述,并详细介绍了几种典型的MEMS汽车传感器,最后对MEMS汽车传感器今后的发展进行了探讨。 展开更多
关键词 汽车电子 汽车传感器 微传感器 mems技术
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微机电系统(MEMS)技术及发展趋势 被引量:26
18
作者 王亚珍 朱文坚 《机械设计与研究》 CSCD 2004年第1期10-12,共3页
主要介绍了微机电系统 (MEMS) (MicroElectroMechanicalSystem)的发展概况、特点、加工技术及其发展趋势。
关键词 微机电系统 mems 微机械加工 微传感器 微执行器 发展趋势
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基于MEMS机构装配的微夹持器研究 被引量:16
19
作者 郝永平 董福禄 +1 位作者 张嘉易 包丽雅 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期596-601,共6页
微夹持器作为末端执行装置,直接决定了微装配的效率。MEMS机构中包含许多微小的活动部件和功能元件,为实现这些微小器件的稳定夹取和自动装配,设计了一种采用压电陶瓷驱动、基于柔性铰链的二级放大微夹持器结构。对该微夹持器的节点应... 微夹持器作为末端执行装置,直接决定了微装配的效率。MEMS机构中包含许多微小的活动部件和功能元件,为实现这些微小器件的稳定夹取和自动装配,设计了一种采用压电陶瓷驱动、基于柔性铰链的二级放大微夹持器结构。对该微夹持器的节点应力、刚度及最大张合量等进行了分析计算,并对微夹持器进行了试制。实验与分析结果表明,该夹持器最大张合量是245μm,放大倍数约为12.3倍,满足MEMS机构的装配要求。在此基础上,重点对张合量与夹持力进行了系统测试,通过对测试数据的非线性回归,推导出99.99%可靠度的驱动电压计算公式,实现了微夹持的精确控制。 展开更多
关键词 微机电系统 微装配 微夹持器 压电陶瓷 柔性铰链 非线性回归
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一种基于MEMS芯片的新型地面大气电场传感器 被引量:13
20
作者 杨鹏飞 陈博 +3 位作者 闻小龙 彭春荣 夏善红 郝一龙 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2016年第6期1536-1540,共5页
该文基于MEMS电场敏感芯片,研制出了一种新型的地面大气电场传感器,解决了现有场磨式电场仪易磨损、功耗大、故障率高等问题。敏感芯片采用SOIMUMPS加工工艺制备,其芯片面积仅为5.5 mm×5.5 mm。该文提出了传感器敏感芯片的弱信号... 该文基于MEMS电场敏感芯片,研制出了一种新型的地面大气电场传感器,解决了现有场磨式电场仪易磨损、功耗大、故障率高等问题。敏感芯片采用SOIMUMPS加工工艺制备,其芯片面积仅为5.5 mm×5.5 mm。该文提出了传感器敏感芯片的弱信号检测方法,设计出了满足环境适应性的传感器整体结构方案,并建立了传感器的灵敏度分析模型。对电场传感器进行测试,测量范围为-50 k V/m^50 k V/m,总不确定度为0.67%,分辨力达到10 V/m,功耗仅为0.62 W。外场试验结果表明,MEMS地面大气电场传感器在晴天和雷暴天的电场探测结果,与Campbell公司场磨式电场仪探测结果都有较好的一致性,说明该传感器能满足预测雷暴要求,实现雷电监测和预警功能。 展开更多
关键词 微机电系统 电场传感器 mems地面大气电场传感器
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