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题名基于视觉的三自由度微动平台输入耦合研究
被引量:3
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作者
张宪民
龙学俊
林容周
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机构
华南理工大学广东省精密装备与制造技术重点实验室
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出处
《振动.测试与诊断》
EI
CSCD
北大核心
2013年第1期1-5,161,共5页
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基金
国家自然科学基金重大研究计划资助项目(91223201)
国家杰出青年科学基金资助项目(50825504)
NSFC-广东联合基金资助项目(U0934004)
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文摘
为了提高精密微动平台的定位精度,提出了一种计算微动平台输入耦合位移系数的实验方法。构建显微视觉测量系统,以柔顺铰链式平面三自由度微动平台为研究对象,实时跟踪测量微动平台输入位移;对平台与图像之间的坐标系进行标定,有效提高了平台的输入位移和耦合位移的测量精度。实验表明,基于显微视觉的测量结果与Ansys模拟仿真结果相符,对微动平台的分析与设计具有一定的参考意义。
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关键词
显微视觉
三自由度平台
输入耦合
标定
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Keywords
micro vision,3-dof stage,coupled input,calibration
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分类号
TN911
[电子电信—通信与信息系统]
TH16
[机械工程—机械制造及自动化]
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