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Structural Design and Control Strategy Analysis of Micro/Nano Transmission Platform
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作者 林超 纪久祥 +3 位作者 陶友淘 霍德鸿 才立忠 程凯 《Transactions of Nanjing University of Aeronautics and Astronautics》 EI 2014年第5期484-491,共8页
A fully flexure micro/nano transmission platform(MNTP)which has five degrees of freedom is designed on the basis of bridge type amplification mechanism.According to the kinematic theory and the elastic beam theory,the... A fully flexure micro/nano transmission platform(MNTP)which has five degrees of freedom is designed on the basis of bridge type amplification mechanism.According to the kinematic theory and the elastic beam theory,the theoretical output displacement equation of the platform is derived,and then piezoelectric actuator(PZT)is calibrated.Meanwhile,a full closed-loop control strategy of the platform is established using the feedforward proportional-integral-derivative(PID)compound control algorithm based on the Preisach model.Moreover,the total transfer function of the micro positioning system is derived,and the calculation method of output signal is acquired.Finally,the theoretical output displacement is verified by finite element analysis(FEA)and positioning experiments. 展开更多
关键词 bridge type amplification mechanism(BTAM) micro / nano transmission platform(MNTP) piezoelectric actuator(PZT) finite element analysis(FEA) control strategies
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低成本小批量微纳卫星控制系统的研制实践
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作者 蒋庆华 王绍凯 +5 位作者 马昆 王鸿 李明群 李鹤 刘祥 徐阳 《先进小卫星技术(中英文)》 2024年第1期87-94,共8页
针对微纳卫星的研制特点,结合控制系统研制过程中的具体实践,从单机产品设计、系统方案设计、测试和环境试验,以及软件开发方面,给出了微纳卫星降低成本、提高可靠性与研制效率的措施和建议.通过采用控制系统内部的冗余备份设计,以及系... 针对微纳卫星的研制特点,结合控制系统研制过程中的具体实践,从单机产品设计、系统方案设计、测试和环境试验,以及软件开发方面,给出了微纳卫星降低成本、提高可靠性与研制效率的措施和建议.通过采用控制系统内部的冗余备份设计,以及系统级可靠性措施,简化了系统配置,并提高了系统可靠性.通过进行系统级的热循环试验可降低研制成本,并达到可靠性试验筛选的目的.通过开展平台化和通用化设计,完善和改进软件开发流程,提高了研制效率.所述方法和措施在卫星研制中取得了较好的效果. 展开更多
关键词 微纳卫星 控制系统 低成本 可靠性 环境试验 基于模型开发 平台化
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微/纳传动平台的位移耦合分析 被引量:4
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作者 林超 陶友淘 +2 位作者 程凯 俞松松 刘垒 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期720-727,共8页
根据机械设计、机械原理、有限元法及线性分析理论,建立微/纳传动平台的有限元模型,推导该平台的位移耦合计算公式,得到该平台沿各方向运动的解耦方程.结合耦合分析图,分析微/纳传动平台多尺度的位移耦合影响,获得该平台沿X、Y、Z轴移... 根据机械设计、机械原理、有限元法及线性分析理论,建立微/纳传动平台的有限元模型,推导该平台的位移耦合计算公式,得到该平台沿各方向运动的解耦方程.结合耦合分析图,分析微/纳传动平台多尺度的位移耦合影响,获得该平台沿X、Y、Z轴移动以及绕X、Y轴转动的位移耦合规律,其中沿Z向运动引起的位移耦合最小,定位精度最高;沿X、Y向运动引起的位移耦合最大,对位移耦合影响较大的运动分支进行位移补偿.通过搭建的实验平台进行测试,将实验结果与有限元仿真和理论计算结果进行对比分析,结果基本一致,验证了该平台位移耦合分析方法的正确性. 展开更多
关键词 纳传动平台 柔性板簧 压电陶瓷 位移耦合比 有限元分析(FEA)
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微/纳米定位平台的动态特性分析与试验 被引量:10
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作者 林超 俞松松 +3 位作者 程凯 崔新辉 陶友淘 王静超 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期1375-1381,1396,共8页
为了分析微/纳传动平台的动态特性,应用拉格朗日方程,建立5自由度微/纳米定位平台的动力学模型,推导出固有频率及阶跃响应的解析式.采用有限元方法,仿真得到平台的前5阶固有频率和模态阵型.在不同驱动频率和不同加载下,分别进行静、动... 为了分析微/纳传动平台的动态特性,应用拉格朗日方程,建立5自由度微/纳米定位平台的动力学模型,推导出固有频率及阶跃响应的解析式.采用有限元方法,仿真得到平台的前5阶固有频率和模态阵型.在不同驱动频率和不同加载下,分别进行静、动态试验,结果表明,平台的开环调节时间为0.812s;驱动频率为100Hz时,发生共振现象;加载小于10N时,平台具有较好的稳定性;动态试验得到压电陶瓷、电容传感器和平台的分辨率分别为4、10和45nm,且平台的重复定位精度为0.6μm. 展开更多
关键词 微/纳米定位平台 柔性机构 压电陶瓷驱动器 动态特性
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大行程5-DOF微纳传动平台的设计及特性分析 被引量:7
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作者 林超 俞松松 +2 位作者 程凯 刘刚 余红华 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第22期2679-2684,共6页
对大行程、多自由度及高刚性微纳传动平台的设计要求和特性进行了研究,开发了由压电陶瓷驱动的大行程5-DOF微纳传动平台,设计了位移量大、可导向的微位移放大机构,实现了微纳传动平台的高精度、大移动及大摆动等功能。分析了微纳传动平... 对大行程、多自由度及高刚性微纳传动平台的设计要求和特性进行了研究,开发了由压电陶瓷驱动的大行程5-DOF微纳传动平台,设计了位移量大、可导向的微位移放大机构,实现了微纳传动平台的高精度、大移动及大摆动等功能。分析了微纳传动平台的基本原理和自由度,建立了微纳传动平台的运动学模型,得到了其输入/输出特性。基于伪刚体的基本理论及虚功原理,推导了微纳传动平台沿X、Y、Z向的移动刚度及绕X、Y轴的摆动刚度,并对影响微纳传动平台静态刚度的特征参数进行了分析,获得了其移动刚度及摆动刚度的特性。创建了微纳传动平台的几何模型,应用有限元方法对该平台进行了分析及仿真,验证了微纳传动平台的运动学模型、伪刚体模型的正确性。 展开更多
关键词 柔性板簧 微纳传动平台 压电陶瓷 刚度 有限元分析
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聚焦离子束扫描电镜在石油地质研究中的综合应用 被引量:23
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作者 王晓琦 金旭 +3 位作者 李建明 焦航 吴松涛 刘晓丹 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第3期303-319,共17页
聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM),以其高分辨率电子束成像及高强度聚焦离子束微纳米级精密加工功能,成为非常规油气储层研究的重要表征手段,推动了我国非常规油气的勘探开发进程,并促进石油地质学开启了全新的领域—纳米地质学。本文重点... 聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM),以其高分辨率电子束成像及高强度聚焦离子束微纳米级精密加工功能,成为非常规油气储层研究的重要表征手段,推动了我国非常规油气的勘探开发进程,并促进石油地质学开启了全新的领域—纳米地质学。本文重点介绍了FIB-SEM在石油地质研究中的综合应用以及创新性开发情况。FIB-SEM的二维大面积成像与三维切片-成像分析可有效解决岩石样品非均质性强的表征难题,并可对岩石内部的孔隙、微裂缝、矿物、有机质和残留油等五大要素进行全面的成像分析,为数字岩心的构建提供具有纳米级分辨率的高质量原始数据。FIB-SEM强大的微纳加工功能,为下一代储层矿物分析、地球化学微观分析等技术的开发提供了制样手段。另外,FIB-SEM可以集成多种先进分析技术,形成集高分辨率成像、物理化学测试为一体的石油地质综合分析平台,应用前景广阔。 展开更多
关键词 聚焦离子束扫描电镜 低加速电压成像 三维切片成像 微纳米加工 扫描透射显微成像
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SEM环境下3PRR并联平台奇异区域规避与逃逸控制策略 被引量:6
7
作者 莫嘉嗣 张宪民 +1 位作者 邱志成 魏骏杨 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第23期1-11,共11页
微纳操作系统是精密操作、精密加工领域重要组成部分。微纳操作系统的载物平台负责放置样品和大行程搬运样品,需要大行程、高精度的定位。宏微结合的方法能弥补精密定位平台行程不足的缺点,而并联机构能实现高精度定位,因此采用3PRR(3... 微纳操作系统是精密操作、精密加工领域重要组成部分。微纳操作系统的载物平台负责放置样品和大行程搬运样品,需要大行程、高精度的定位。宏微结合的方法能弥补精密定位平台行程不足的缺点,而并联机构能实现高精度定位,因此采用3PRR(3自由度,每条支链包括一个移动副(P)驱动和两个转动副(R))并联平台作为扫描电子显微镜(Scanning electron microscopy,SEM)环境下的宏微结合精密平台中的宏动部分。为了实现大行程、高精度定位,需要分析机构工作空间与奇异性分布。通过推导3PRR运动学方程,求得机构雅可比矩阵,研究雅可比矩阵特性,求得3PRR并联平台非奇异工作空间分布,把机构雅可比矩阵特性与奇异分布引入控制范畴,提出两种奇异区域规避控制策略与一种奇异位型逃逸控制策略。对机构如何规避奇异区域与进入奇异位型后如何快速逃逸提供了理论指导,仿真分析表明,提出的策略对机构精密定位与可控性提供了保障。 展开更多
关键词 微纳操作 3PRR SEM并联平台 奇异 规避 逃逸 控制策略
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开放式半导体微纳加工平台的开放管理模式探讨 被引量:2
8
作者 王英 程秀兰 +3 位作者 马玲 付学成 瞿敏妮 沈赟靓 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2020年第2期229-232,共4页
大型仪器设备共享是节约社会资源的重要手段。该文以上海交通大学先进电子材料与器件校级平台为基础,从实验室环境、设备工艺、物资需求、研究方向、人员等方面系统分析和总结了开放式半导体微纳加工平台的特点,并对实验平台开放所面临... 大型仪器设备共享是节约社会资源的重要手段。该文以上海交通大学先进电子材料与器件校级平台为基础,从实验室环境、设备工艺、物资需求、研究方向、人员等方面系统分析和总结了开放式半导体微纳加工平台的特点,并对实验平台开放所面临的挑战进行了探讨,为开放式半导体微纳加工平台的建设和管理提供借鉴和参考。 展开更多
关键词 微纳加工平台 开放式平台 管理模式
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太赫兹行波管输能窗用复合金刚石膜的设计 被引量:2
9
作者 李莉莉 丁明清 +1 位作者 杜英华 冯进军 《太赫兹科学与电子信息学报》 北大核心 2018年第3期374-377,共4页
为解决现有多晶金刚石用于太赫兹(THz)真空电子器件输能窗存在慢性漏气风险的技术难题,介绍了一种高断裂强度、良好真空密封性能、低微波损耗的新型超薄复合多层金刚石膜的研制方法。该复合超薄金刚石膜采用微波等离子体化学气相沉积(MP... 为解决现有多晶金刚石用于太赫兹(THz)真空电子器件输能窗存在慢性漏气风险的技术难题,介绍了一种高断裂强度、良好真空密封性能、低微波损耗的新型超薄复合多层金刚石膜的研制方法。该复合超薄金刚石膜采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,通过合理的结构设计和优化工艺,实现微米晶金刚石(MCD)和超纳米晶金刚石(UNCD)交替沉积的三明治结构。测量100μm厚不同结构的复合膜断裂强度,是同样厚度的MCD的2~3倍。将研制的复合多层金刚石膜用于180 GHz和220 GHz太赫兹行波管输能窗,通过气密性检测,漏率≤1×10^(-10) Pa?m^3/s。窗的冷测结果显示,180 GHz窗的S_(11)≤-15 dB(10 GHz带宽),220 GHz窗的S_(11)≤-10 dB(20 GHz带宽),均具有良好的射频(RF)性能,满足使用要求。为太赫兹行波管输能窗的研制提供了一种成本低、可靠性高的超薄金刚石膜的技术途径。 展开更多
关键词 超纳米金刚石 微米金刚石 断裂强度 传输损耗
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传感数据通信协议及高并发服务的设计与实现——以微环境监测平台为例 被引量:4
10
作者 张永强 刘帅 高鸿斌 《河北科技大学学报》 CAS 2018年第4期356-364,共9页
为了满足人们对于限定区域监测的需求,解决异构数据的表示、传输以及高并发问题,分析了传统物联网平台在传感数据采集以及传输方面的不足,通过功能模块设计,开发了微环境监测平台。针对平台传感层数据采集工作,设计通信协议,统一数据格... 为了满足人们对于限定区域监测的需求,解决异构数据的表示、传输以及高并发问题,分析了传统物联网平台在传感数据采集以及传输方面的不足,通过功能模块设计,开发了微环境监测平台。针对平台传感层数据采集工作,设计通信协议,统一数据格式,减少数据传输量和能耗,并制定协议通信流程,利用LoRa技术完成终端到网关之间数据的远程传输;针对平台网络层,设计高并发数据接口实现服务端程序接收并处理数据,最终完成系统的研发和测试。结果表明:设计的通信协议可以完成异构数据格式的统一工作,降低了数据传输量和能耗;验证了数据从终端采集设备到网关,并经过上位机最后到服务器整套传输方案的可行性与可靠性、低延迟性以及高并发数据接口的处理性能。微环境监测平台能够稳定运行,为跨行业物联网应用提供了一套数据采集和传输的解决方案。 展开更多
关键词 通信传输技术 微环境监测平台 无线传感网络 LoRa 异构数据 高并发接口 线程池
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6自由度微传动平台位姿误差分析与精度补偿 被引量:4
11
作者 林超 才立忠 +1 位作者 邵济明 纪久祥 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期357-364,共8页
为了提高微传动平台的定位精度,对几何误差进行了分析。利用微分关系构造微传动平台输出位姿误差与各结构参数几何误差之间的映射关系,引入误差权重系数,分析了各结构参数对微传动平台定位精度的影响,建立了微传动平台的精度补偿模型。... 为了提高微传动平台的定位精度,对几何误差进行了分析。利用微分关系构造微传动平台输出位姿误差与各结构参数几何误差之间的映射关系,引入误差权重系数,分析了各结构参数对微传动平台定位精度的影响,建立了微传动平台的精度补偿模型。利用Matlab对微传动平台的定位精度进行计算仿真,搭建实验平台进行实验测试,仿真和实验结果表明,基于权重系数法建立的误差模型合理,并且通过建立的精度补偿模型,微动平台的定位误差从补偿前的20%~30%下降到了补偿后的10%~15%,使微传动平台的定位精度获得了较大提高。 展开更多
关键词 微传动平台 定位精度 误差权重系数 几何误差 误差补偿
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微多孔结构的改性聚酯纤维制品的性能研究 被引量:2
12
作者 胡锋 陆明 +2 位作者 郑智毓 陈庆旧 周小红 《浙江理工大学学报(自然科学版)》 2008年第4期369-372,共4页
研制微多孔吸湿排汗聚酯纱和竹炭吸湿排汗聚酯纱与棉纱的交织产品,测试比较所开发产品与纯棉制品的折皱回复性、悬垂性、湿传递性能和染色特征。结果显示:棉/吸排交织织物和棉/竹炭吸排交织织物具有优异的悬垂性和抗折皱性能,液态水的... 研制微多孔吸湿排汗聚酯纱和竹炭吸湿排汗聚酯纱与棉纱的交织产品,测试比较所开发产品与纯棉制品的折皱回复性、悬垂性、湿传递性能和染色特征。结果显示:棉/吸排交织织物和棉/竹炭吸排交织织物具有优异的悬垂性和抗折皱性能,液态水的扩散能力增强,特别是沿经向织物的芯吸初始速率较大,含竹炭纤维的织物染色会呈现较多的蓝光。 展开更多
关键词 聚酯纤维 微多孔 湿传递 竹炭 纳米颗粒 保健
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微/纳米传动平台的模态试验及优化设计
13
作者 林超 俞松松 +3 位作者 程凯 王勇勤 崔新辉 陶友淘 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2012年第17期176-180,185,共6页
微/纳米传动平台中,柔性机构的弹性势必导致平台高速、高加速带来的残余振动。采用拉格朗日方法,建立了平台的动力学模型,得到了平台前5阶固有频率的解析式;分析了平台固有频率与柔性板簧厚度、长度的相互关系,得到了固有频率随柔性板... 微/纳米传动平台中,柔性机构的弹性势必导致平台高速、高加速带来的残余振动。采用拉格朗日方法,建立了平台的动力学模型,得到了平台前5阶固有频率的解析式;分析了平台固有频率与柔性板簧厚度、长度的相互关系,得到了固有频率随柔性板簧厚度、长度的变化规律。应用有限元方法,分别仿真得到了前6阶固有频率和模态阵型;以固有频率为优化目标,建立了平台的优化模型。采用动态测试系统,分别对优化前、后的平台进行了模态试验分析;通过对比分析,得到了提高平台动态性能的方法,且模态试验结果表明,调整柔性板簧厚度、长度的方法是有效的、可行的。 展开更多
关键词 柔性板簧 微/纳米传动平台 动力学分析 模态试验 优化设计
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适用微纳卫星的便携测控站设计 被引量:2
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作者 陈利虎 陈小前 刘鹏飞 《飞行器测控学报》 CSCD 2015年第1期16-23,共8页
针对微纳卫星的测控数传需求,利用业务无线电及ISM(Industrial-Scientific-Medical,工业-科学-医疗)频段和设备,设计了适用微纳卫星的便携式测控站,包括ISM和VHF/UHF(Very High Frequency/Ultra High Frequency,甚高频/超高频)2个通道;... 针对微纳卫星的测控数传需求,利用业务无线电及ISM(Industrial-Scientific-Medical,工业-科学-医疗)频段和设备,设计了适用微纳卫星的便携式测控站,包括ISM和VHF/UHF(Very High Frequency/Ultra High Frequency,甚高频/超高频)2个通道;优选了COTS(Commercial Off The Shelf,商用现货)ISM通信电台和VHF/UHF全模式电台、VHF/UHF八木天线、S频段花瓣式网状抛物面天线等部组件,3副天线共用1个伺服机构;并对ISM和VHF/UHF信道的上/下行链路电平进行估算。结果表明:该多频段多通道便携测控站的设计方案可行性好,效费比高,并已在相关微纳卫星的测控应用中得到验证。 展开更多
关键词 微纳卫星 测控 数传 工业—科学—医疗(ISM) 甚高频/超高频(VHF/UHF)通道 抛物面天线 便携式测控站
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从微电影生产看传播权力的移转与竞争 被引量:1
15
作者 洪长晖 《阅江学刊》 2013年第5期109-112,131,共5页
随着web2.0时代的到来,微电影作为一种独特的影像生产和传播方式正在各大视频网站上风生水起,以致有人欢呼微电影为草根民众开启了"做电影"的时代,获得了前所未有的传播权力。从传播政治经济学的角度考察,微电影不仅呈现出生... 随着web2.0时代的到来,微电影作为一种独特的影像生产和传播方式正在各大视频网站上风生水起,以致有人欢呼微电影为草根民众开启了"做电影"的时代,获得了前所未有的传播权力。从传播政治经济学的角度考察,微电影不仅呈现出生产格局的分野,而且在未来发展趋势上也必然会受制于(资本)权力运作,最终使得草根在权力竞争中败下阵来。 展开更多
关键词 微电影 传播平台 “草根” 传播权力
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微/纳传动平台沿坐标轴运动分析的键合图法 被引量:1
16
作者 林超 纪久祥 +1 位作者 才立忠 邵济明 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期1311-1318,共8页
采用柔顺机构学、材料力学、伪刚体法、卡氏定理及键合图基本理论,结合6自由度微/纳传动平台的工作原理,建立了桥式放大机构及微/纳传动平台的伪刚体模型及该平台沿坐标轴移动的键合图模型,推导了桥式放大机构的输出刚度方程、平台移动... 采用柔顺机构学、材料力学、伪刚体法、卡氏定理及键合图基本理论,结合6自由度微/纳传动平台的工作原理,建立了桥式放大机构及微/纳传动平台的伪刚体模型及该平台沿坐标轴移动的键合图模型,推导了桥式放大机构的输出刚度方程、平台移动的特征方程及状态方程.通过Matlab/Simulink求解仿真分析,获得了该平台沿坐标轴移动的位移仿真曲线及柔性铰链角位移仿真曲线.应用Ansys13.0,对该平台进行了运动仿真分析,搭建了实验平台,进行了试验测量,并对Smulink仿真值、有限元分析值及实验值进行了对比分析,其结果变化规律基本一致,验证了利用键合图方法分析微/纳传动平台移动特性的正确性及可行性,为全柔性机构的研究提供了新的有效的方法. 展开更多
关键词 微/纳传动平台 桥式放大机构 伪刚体模型 键合图 SIMULINK仿真
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微纳加工中探针与工件碳元素作用机理
17
作者 陈志舜 何道伟 +1 位作者 李勇 王利光 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第8期548-552,共5页
以加工件中碳原子为基本模型,构成与电极间相互作用系统。通过理论计算和模拟研究了碳元素在外加电极情况下,整个系统的电子传输过程与电子态密度的分布,结果显示费密能级附近态密度不为零,有能带存在,且能带较宽,离域性较强。同时对电... 以加工件中碳原子为基本模型,构成与电极间相互作用系统。通过理论计算和模拟研究了碳元素在外加电极情况下,整个系统的电子传输过程与电子态密度的分布,结果显示费密能级附近态密度不为零,有能带存在,且能带较宽,离域性较强。同时对电极和工件间距不断变化时系统的电子传输和态密度的变化进行了研究,结果表明,随着距离的增加,本征能量不断减少,电子态密度降低,电子隧穿减弱,从而导致传输概率也逐渐降低。当距离大于0.4 nm时,电子不能完全通过,电火花加工处于截止状态。 展开更多
关键词 微纳电火花加工 传输谱 态密度(DOS) 格林函数 电子传输
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触控式光诱导介电泳操控方法研究
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作者 刘天波 戴永庆 +2 位作者 袁帅 董挺 焦念东 《高技术通讯》 EI CAS 北大核心 2018年第2期143-153,共11页
对光诱导介电泳(ODEP)这项微纳米操控技术进行了研究,指出现有ODEP操作存在操作界面与观察界面分离,导致操作者在这两个界面中的动作往往不同步,从而影响了ODEP操作的直观性和效率。针对这一问题,提出了一种触控式光诱导介电泳方法,并... 对光诱导介电泳(ODEP)这项微纳米操控技术进行了研究,指出现有ODEP操作存在操作界面与观察界面分离,导致操作者在这两个界面中的动作往往不同步,从而影响了ODEP操作的直观性和效率。针对这一问题,提出了一种触控式光诱导介电泳方法,并设计了包括结构光投影模块、视频监控模块、运动控制模块的一体化触控操作界面,操作者在同一个触控操作界面下不仅可对样本进行观察,而且可以以触控方式直接对观察的样本进行ODEP操作。该操作方式提高了ODEP操作的直观性和效率,为ODEP微纳操作提供了一种新的操作方式。 展开更多
关键词 光诱导介电泳(ODEP) 触控式操作 NET Framework平台 微纳操作
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非傅立叶模型层状复合陶瓷结构热传导分析
19
作者 张士元 郑百林 贺鹏飞 《福建工程学院学报》 CAS 2009年第1期70-74,共5页
用非傅立叶热传导模型分析层状复合陶瓷结构的温度场,并与单热涂层结构的结果进行比较,同时进一步研究了夹层热物理性能参数对温度场的影响。研究表明:夹层可以有效地减缓内部结构的温度变化,夹层热物理性能参数(如:松弛时间、声速)对... 用非傅立叶热传导模型分析层状复合陶瓷结构的温度场,并与单热涂层结构的结果进行比较,同时进一步研究了夹层热物理性能参数对温度场的影响。研究表明:夹层可以有效地减缓内部结构的温度变化,夹层热物理性能参数(如:松弛时间、声速)对结构层的温度场有明显影响。 展开更多
关键词 非傅立叶热传导 热冲击 微、纳米尺度 层状复合结构
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压电微动平台的精密运动控制
20
作者 于保军 司苏美 +1 位作者 林洁琼 靖贤 《机械设计与制造》 北大核心 2018年第A02期40-42,46,共4页
宏微复合精密定位平台主要应用于微电子制造以实现高速、高精度、大行程定位。压电微动定位平台主要表现出滞后非线性,是实现精密运动控制的巨大障碍。主要针对双光子聚合加工系统中压电微动平台定位精度较低以及会产生抖动等问题进行分... 宏微复合精密定位平台主要应用于微电子制造以实现高速、高精度、大行程定位。压电微动定位平台主要表现出滞后非线性,是实现精密运动控制的巨大障碍。主要针对双光子聚合加工系统中压电微动平台定位精度较低以及会产生抖动等问题进行分析,采用一种新颖的使用具有不确定性和干扰估计的RBF网络自适应鲁棒滑模控制方案,该方案可以实现压电微动定位平台的精确运动控制。并对所辨识的模型采用Matlab的Simulink模块进行仿真,其仿真结果证实了所提出控制方案的优越性,验证了模型的有效性。此外,也验证了存在模型干扰和外部干扰的情况下该控制器具有良好的鲁棒性和自适应能力。报告的RBF网络自适应鲁棒滑模控制方法也可以扩展到其他类型系统的鲁棒控制中。 展开更多
关键词 迟滞非线性 精密运动控制 不确定性和干扰估计 RBF网络自适应鲁棒滑模控制 压电纳米微动定位平台
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