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我国微纳几何量计量技术的研究进展
被引量:
14
1
作者
高思田
李琪
+2 位作者
施玉书
李伟
黄鹭
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第8期1822-1829,共8页
随着微纳技术中材料和器件关键尺寸的减小以及几何结构复杂性的增加,给微纳尺度的精确测量带来了新的挑战。微纳几何量计量技术主要是研究微纳尺度下测量量值的准确一致,并实现量值溯源到国际长度基本单位的科学。为保证微纳技术的领先...
随着微纳技术中材料和器件关键尺寸的减小以及几何结构复杂性的增加,给微纳尺度的精确测量带来了新的挑战。微纳几何量计量技术主要是研究微纳尺度下测量量值的准确一致,并实现量值溯源到国际长度基本单位的科学。为保证微纳技术的领先优势,国外先进国家一直高度重视微纳几何量计量技术的研究。目前,我国在微纳计量领域已成功研制了多种微纳几何量计量标准装置,并初步建立了我国自己的微纳计量溯源体系。对我国现有的微纳几何量计量技术与计量标准装置进行了回顾和介绍,并对我国微纳计量的未来发展做出了展望。
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关键词
微纳几何量
关键尺寸
量值准确
溯源
标准装置
下载PDF
职称材料
微机模拟几何量检测系统的设计与研究
2
作者
杨雪
侯磊
+1 位作者
王泰花
张英芝
《吉林工业大学学报》
CSCD
1995年第3期110-113,共4页
介绍了精密几何量的微型计算机模拟系统的设计方法及运用人机工程原理和多媒体技术实现声像结合及控制的实现思路。
关键词
多媒体技术
微机模拟
几何量检测系统
设计
原文传递
题名
我国微纳几何量计量技术的研究进展
被引量:
14
1
作者
高思田
李琪
施玉书
李伟
黄鹭
机构
中国计量科学研究院
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第8期1822-1829,共8页
基金
国家重点研发计划(2016YFF0200602)
国家重点研发计划(2016YFF0200404)项目资助
文摘
随着微纳技术中材料和器件关键尺寸的减小以及几何结构复杂性的增加,给微纳尺度的精确测量带来了新的挑战。微纳几何量计量技术主要是研究微纳尺度下测量量值的准确一致,并实现量值溯源到国际长度基本单位的科学。为保证微纳技术的领先优势,国外先进国家一直高度重视微纳几何量计量技术的研究。目前,我国在微纳计量领域已成功研制了多种微纳几何量计量标准装置,并初步建立了我国自己的微纳计量溯源体系。对我国现有的微纳几何量计量技术与计量标准装置进行了回顾和介绍,并对我国微纳计量的未来发展做出了展望。
关键词
微纳几何量
关键尺寸
量值准确
溯源
标准装置
Keywords
micro/nanometer geometric quantity
critical dimensional size
quantities accuracy
Traceability
standard device
分类号
TH711 [机械工程—测试计量技术及仪器]
下载PDF
职称材料
题名
微机模拟几何量检测系统的设计与研究
2
作者
杨雪
侯磊
王泰花
张英芝
出处
《吉林工业大学学报》
CSCD
1995年第3期110-113,共4页
文摘
介绍了精密几何量的微型计算机模拟系统的设计方法及运用人机工程原理和多媒体技术实现声像结合及控制的实现思路。
关键词
多媒体技术
微机模拟
几何量检测系统
设计
Keywords
micro
-computer simulated verififcation of
geometric
al
quantity
system
Human-Computer-Engineering
multimedia techniques
interaction mode
分类号
TP274.5 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
我国微纳几何量计量技术的研究进展
高思田
李琪
施玉书
李伟
黄鹭
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
14
下载PDF
职称材料
2
微机模拟几何量检测系统的设计与研究
杨雪
侯磊
王泰花
张英芝
《吉林工业大学学报》
CSCD
1995
0
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