期刊文献+
共找到238篇文章
< 1 2 12 >
每页显示 20 50 100
A Computerized System for the Measurement of Nanomaterial Field Emission and Ionization
1
作者 王泽松 张早娣 +4 位作者 何俊 李载春 刘传胜 吴先映 付德君 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第9期819-823,共5页
We have developed a computerized system for measuring field electron emission (FE) and field ionization (FI), which has a three-electrode configuration with emitters biased up to 25 kV, and is programmed by the La... We have developed a computerized system for measuring field electron emission (FE) and field ionization (FI), which has a three-electrode configuration with emitters biased up to 25 kV, and is programmed by the Labview software. The current-voltage curves of nano-tip tungsten and carbon nanotube (CNT) arrays were measured. The electron emission of CNTs proceeded with a turn-on field of 1.24 V/μm and a threshold field of 1.85 V/μm. Compared to the field emission, field ionization turned on at 3.5 V/μm. Raman spectroscopy and scanning electron microscopy (SEM) measurements showed degradation of the CNTs after FE/FI testing. The measurement of a W-tip revealed strong electron emission and instability behavior at a field strength higher than 7.0 V/μm. 展开更多
关键词 field emission field ionization measuring system nano materials
下载PDF
Stability Analysis of Contact Scanning Probe for Micro/Nano Coordinate Measuring Machine 被引量:2
2
作者 李瑞君 范光照 +3 位作者 钱剑钊 黄强先 龚伟 苗晋伟 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2012年第2期125-131,共7页
关键词 微纳米三坐标测量机 扫描探头 稳定性分析 传感哭喊中
下载PDF
Application of Nano Technique in Measuring Supersonic/Hypersonic Flow
3
作者 Chen Zhi YI Shihe +2 位作者 Zhu Yangzhu Zhang Qinghu Wu Yu 《Modeling and Numerical Simulation of Material Science》 2013年第1期1-3,共3页
Turbulence, universally exist in nature and human activities, is a kind of three-dimensional, irregular, unsteady flow. Ever since 19th century when people started to investigated turbulent flow technically, they have... Turbulence, universally exist in nature and human activities, is a kind of three-dimensional, irregular, unsteady flow. Ever since 19th century when people started to investigated turbulent flow technically, they have never dropped the po-tent and intuitionistic experimental method. Recently, with the development of aviation and aerospace industry, espe-cially with the increase desire of supersonic and hypersonic flight, the mechanism of high speed and compressible flow has become hot topic of fluid research, resulting in development of measurement method and technique. When encoun-tering compressible high flow, traditional techniques, such as schilieren, shadow and interference, cannot measure fine flow structures. Fortunately, multiple-discipline integration of nano technique, laser technique and imaging technique provides a new design for fluid measurement。Nano-tracer planar laser scattering (NPLS) is a new flow visualization technique, which was developed by the authors’ group in 2005, and it can visualize time correctional flow structure in a cross-section of instantaneous 3D supersonic flow at high spatiotemporal resolution. Many studies have demonstrated that NPLS is a powerful tool to study supersonic turbulence. 展开更多
关键词 nano TRACE NPLS Supersonic/Hypersonic Flow VISUALIZATION and measurement
下载PDF
纳米TiO_(2)改性纤维素纸板在油流环境下的带电特性研究
4
作者 刘道生 王广康 牛腾霄 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期169-177,共9页
经纳米TiO_(2)改性纤维素纸板可以增强其击穿场强与抗老化性能,是当前电气绝缘领域研究的热点。纸板中添加纳米粒子对于变压器油流带电影响仍不明确;因此,为了揭示纳米粒子对油流带电影响与抑制机理,需测量与分析纳米改性纸板中的油流... 经纳米TiO_(2)改性纤维素纸板可以增强其击穿场强与抗老化性能,是当前电气绝缘领域研究的热点。纸板中添加纳米粒子对于变压器油流带电影响仍不明确;因此,为了揭示纳米粒子对油流带电影响与抑制机理,需测量与分析纳米改性纸板中的油流带电特性。文中以TiO2改性纸板与未改性矿物油为研究对象,通过旋转圆盘系统测量其摩擦产生的静电电流。根据控制变量法研究了温度、纳米粒子质量分数和流速等因素对带电程度的影响,分析了纳米粒子对于油流带电影响机理;采用有限元分析方法分析了变压器油道仿真模型,对比了不同质量分数下的纳米TiO_(2)改性纸板制作的油道模型内部电场分布情况。研究结果表明:与未改性纸板相比,纤维素基体中添加质量分数为1%的纳米TiO_(2)粒子可以抑制油流带电程度,使得油道内部积累电荷后的电场分布畸变程度最小。研究结果可以为抑制变压器中的油流带电提供新方法。 展开更多
关键词 纳米改性 油流带电测量 有限元分析 绝缘纸板 电场分布
下载PDF
芯片研制用微纳米尺度温度测量方法及其展望 被引量:1
5
作者 吴飞翔 邢力 +2 位作者 冯晓娟 张金涛 孙坚 《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第9期1262-1272,共11页
微纳米尺度温度测量,提供微小尺度区域的高精度温度信息。然而现有的测温技术无法满足芯片性能日益提升的需求,例如以热电偶等为代表的接触式测温具有较高的测量精度,但其响应速率慢难以实现宽场热成像;以红外辐射等为代表的非接触式测... 微纳米尺度温度测量,提供微小尺度区域的高精度温度信息。然而现有的测温技术无法满足芯片性能日益提升的需求,例如以热电偶等为代表的接触式测温具有较高的测量精度,但其响应速率慢难以实现宽场热成像;以红外辐射等为代表的非接触式测温可实现芯片表面的快速热场测量,但测温精度较低、空间分辨率受到波长的限制。因此传统测温方法难以同时满足高精度、微纳米尺度的快速温度测量,亟需寻求新的测温技术。随着量子精密测温技术的发展,基于固态量子自旋效应的金刚石带负电的氮-空位(negatively charged nitrogen-vacancy,NV-)色心测温技术有望解决上述问题,突破现有微纳米尺度测温在芯片研制方面的应用瓶颈。鉴于此,首先综述对比了现有芯片用测温技术的特点和发展现状,而后调研分析了金刚石NV色心测温计量特性及小型化、集成化技术发展趋势,并展望了金刚石NV色心测温在芯片研制领域的技术优势和应用前景,提出其发展面临的挑战。 展开更多
关键词 温度测量 芯片研制 金刚石NV色心 微纳米尺度 小型化
下载PDF
光栅干涉精密纳米测量技术
6
作者 李星辉 崔璨 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第17期2591-2611,共21页
光栅干涉测量是一种重要的精密纳米测量技术,具有高分辨率、高抗干扰能力和多自由度扩展的优势,在先进节点光刻机、超精密机床等场景中发挥着至关重要的作用。对比介绍了光栅干涉、激光干涉与时栅测量技术,明确其应用场景和当前性能参数... 光栅干涉测量是一种重要的精密纳米测量技术,具有高分辨率、高抗干扰能力和多自由度扩展的优势,在先进节点光刻机、超精密机床等场景中发挥着至关重要的作用。对比介绍了光栅干涉、激光干涉与时栅测量技术,明确其应用场景和当前性能参数,阐述了光栅干涉测量中的零差和外差两种技术原理,并在此基础上分析了光栅干涉仪的国内外发展动态,包括代表性的设备厂商,和近年来国内外在纳米及亚纳米精度的单、多自由度系统方面的研究开发情况。进一步地,对光栅干涉测量的精度和误差进行了分析与讨论,介绍了误差来源、分类及针对性的补偿方法。最后,对光栅干涉仪的发展现状及未来前景进行了讨论,期望为光栅干涉仪系统的开发和优化提供参考。 展开更多
关键词 精密测量 纳米测量 光栅干涉仪 多自由度 误差补偿
下载PDF
杭州机场轨道快线杂散电流防护措施研究
7
作者 陈刚 段玉振 +1 位作者 张光明 陈鹏 《工程建设与设计》 2024年第11期45-47,共3页
总结了国内地铁杂散电流危害及常用防护措施,阐述了杂散电流防护设计原则及防护思路,并结合杭州机场轨道快线工程典型隧道、桥梁及轨道工况,重点针对受杂散电流影响较大的钢桥地段及重要的金属管线地段的防护措施进行了研究。
关键词 杂散电流 防护措施 绝缘效果 硅基纳米
下载PDF
生物炭材料应用于超级电容器的研究进展
8
作者 张莉琼 刘超 肖睿 《新能源科技》 2024年第1期1-15,共15页
生物炭具有来源广泛、价格低廉、导电性优异、形貌易调控和物理化学性能稳定等优点,被广泛应用于超级电容器领域中。通过调控炭材料的多孔结构与形貌结构、杂原子掺杂、复合高电容量材料以及材料尺度纳米化等,可不断获得超级电容器综合... 生物炭具有来源广泛、价格低廉、导电性优异、形貌易调控和物理化学性能稳定等优点,被广泛应用于超级电容器领域中。通过调控炭材料的多孔结构与形貌结构、杂原子掺杂、复合高电容量材料以及材料尺度纳米化等,可不断获得超级电容器综合性能优异的生物炭材料。文章首先阐述超级电容器的储能机理及分类,再总结了不同生物质结构、元素特征和各种生物炭表征技术。在此基础上,从炭材料形貌、孔结构、石墨程度、表面官能团、元素掺杂和材料复合角度总结了生物炭材料超级电容器储能性能提升的优化手段。随后,详细介绍了0D、1D、2D、3D纳米生物炭材料在超级电容器方面的研究进展。为制备高性能超级电容器生物炭电极材料提供了有效的研究参考方向。 展开更多
关键词 生物炭 调控手段 表征技术 超级电容器 纳米炭材料
下载PDF
Experimental Study on Molecular Arrangement of Nanoscale Lubricant Films——A Review 被引量:3
9
作者 ZHANG Shaohua LIU Yuhong 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第5期896-903,共8页
In order to understand lubrication mechanism at the nanoscale, researchers have used many physical experimental approaches, such as surface force apparatus, atomic force microscopy and ball-on-disk tribometer. The res... In order to understand lubrication mechanism at the nanoscale, researchers have used many physical experimental approaches, such as surface force apparatus, atomic force microscopy and ball-on-disk tribometer. The results show that the variation rules of the friction force, film thicknessand viscosity of the lubricant at the nanoscale are different from elastohydrodynamic lubrication (EHL). It is speculated that these differences are attributed to the special arrangement of the molecules at the nanoscale. However, it is difficult to obtain the molecular orientation and distribution directly from the lubricant molecules in these experiments. In recent years, more and more attention has been paid to use new techniques to overcome the shortcomings of traditional experiments, including various spectral methods. The most representative achievements in the experimental research of molecular arrangement are reviewed in this paper: The change of film structure of a liquid crystal under confinement has been obtained using X-ray method. The molecular orientation change of lubricant films has been observed using absorption spectroscopy. Infrared spectroscopy has been used to measure the anisotropy of molecular orientation in the contact region when the lubricant film thickness is reduced to a few tens of nanometers. In situ Raman spectroscopy has been performed to measure the molecular orientation of the lubricant film semi-quantitatively. These results prove that confinement and shear in the contact region can change the arrangement of lubricant molecules. As a result, the lubrication characteristics are affected. The shortages of these works are also discussed based on practicable results. Further work is needed to separate the information of the solid-liquid interface from the bulk liquid film. 展开更多
关键词 nano-scale lubricating film in situ measurement molecular arrangement
下载PDF
Analytical and Experimental Studies of Liquid and Gas Leaks through Micro and Nano-Porous Gaskets 被引量:4
10
作者 Lotfi Grine Abdel-Hakim Bouzid 《Materials Sciences and Applications》 2013年第8期32-42,共11页
The reliability of industrial installation requires minimum leakage of pressurized sealed joints during operation. At the design stage, the leakage behavior of the gasket must be one of the most important parameter in... The reliability of industrial installation requires minimum leakage of pressurized sealed joints during operation. At the design stage, the leakage behavior of the gasket must be one of the most important parameter in the gasket selection. The objective of the work presented in this paper is to develop an analytical leak rate prediction methodology used in gasketed joints. A pseudo analytical-experimental innovative approach was used to estimate the characteristics of the porous structure for the purpose of predicting accurate leak rate through gaskets with different fluids under conditions similar to those of operation. The analytical model assumes the flow to be continuum but employs a slip boundary condition on the leak path wall to determine the porosity parameters of the gasket. The analytical model results are validated and confronted against experimental data which were conducted under various conditions of fluid media, pressure, gasket stress and temperature. Two experimental test rigs fully automate that accurately reproduces the real leakage behavior of the gasketed joint have been developed to analyze the mechanical and thermal effects on the gasket flow regime. The gas leaks were measured with multi-gas mass spectrometers while liquid leaks were measure using a sophisticated detection system based on the pressure rise method. 展开更多
关键词 GASKET LEAK measurement Mico and nano-Flow Prediction POROUS MEDIA
下载PDF
激光干涉仪在纳米测量中的典型应用 被引量:2
11
作者 李强 任冬梅 +3 位作者 朱振宇 李华丰 王霁 段小艳 《计测技术》 2023年第1期91-101,共11页
激光干涉仪具有测量分辨力高、测量结果可溯源等优点,在纳米测量中的应用日益广泛。介绍纳米测量机和低膨胀材料线膨胀系数测量装置中应用的迈克尔逊型激光干涉仪以及在高准确度位移测量装置中应用的法布里-珀罗型激光干涉仪,并结合这... 激光干涉仪具有测量分辨力高、测量结果可溯源等优点,在纳米测量中的应用日益广泛。介绍纳米测量机和低膨胀材料线膨胀系数测量装置中应用的迈克尔逊型激光干涉仪以及在高准确度位移测量装置中应用的法布里-珀罗型激光干涉仪,并结合这些实例对激光干涉仪光学系统设计、测量环境控制、迈克尔逊干涉仪非线性误差补偿以及法布里-珀罗干涉仪量程扩展等方面的关键问题进行分析和总结。所述原则和方法对实现纳米级测量准确度具有重要意义,可为高准确度激光干涉仪的研制及其在纳米测量中的更广泛应用提供技术参考。 展开更多
关键词 纳米测量 激光干涉仪 位移测量 纳米测量机 线膨胀系数
下载PDF
双差动快速结构光显微测量方法和系统
12
作者 唐燕 韩陈浩磊 +3 位作者 冯金花 全海洋 王建 胡松 《计测技术》 2023年第1期112-121,共10页
快速结构光显微测量技术具有高精度、高效率以及强适应性等特点,广泛应用于微纳检测领域。传统的快速结构光显微测量方法,利用轴向调制度响应曲线的线性区域,通过构建调制度值与实际高度之间的关系来实现三维形貌重建。但是,轴向调制度... 快速结构光显微测量技术具有高精度、高效率以及强适应性等特点,广泛应用于微纳检测领域。传统的快速结构光显微测量方法,利用轴向调制度响应曲线的线性区域,通过构建调制度值与实际高度之间的关系来实现三维形貌重建。但是,轴向调制度响应曲线的线性区域很短,传统方法的应用受限于其较窄的动态测量范围。为了克服这一缺陷,提出了一种双差动快速结构光显微测量技术。通过引入两条额外的探测支路构建双差动轴向调制度响应曲线,可以获得更宽的线性区域。在数值孔径为0.9,放大倍率为100倍的显微物镜条件下,其测量范围在仿真分析中可从380 nm提升到760 nm,在实验中可从300 nm提升到600 nm。仿真与实验结果均证明双差动快速结构光显微测量方法的动态测量范围相比传统方法的动态测量范围提升了一倍,有效地拓展了快速结构光显微测量技术的应用范围。 展开更多
关键词 检测 三维形貌恢复 快速结构光显微测量 双差动检测 微纳检测
下载PDF
基于平面反射式全息光栅的激光自混合纳米位移测量研究 被引量:2
13
作者 张玉杰 徐雷 +7 位作者 管钰晴 邹文哲 郭创为 雷李华 傅云霞 郭珍艳 顾振杰 邓晓 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2023年第4期227-234,共8页
纳米位移测量技术是实现高精度纳米制造的基础。激光自混合干涉为精密纳米位移测量提供了一种结构简便、成本低廉,同时测量精度可达纳米量级的精密位移测量方法。区别于传统基于反射镜或散射面为反馈元件的激光自混合干涉测量方案,研究... 纳米位移测量技术是实现高精度纳米制造的基础。激光自混合干涉为精密纳米位移测量提供了一种结构简便、成本低廉,同时测量精度可达纳米量级的精密位移测量方法。区别于传统基于反射镜或散射面为反馈元件的激光自混合干涉测量方案,研究了一种基于平面反射式全息光栅的激光自混合纳米位移测量方法,该方法的位移测量结果以光栅的周期为基准。实验测得了在弱反馈强度条件下的光栅自混合干涉信号,通过阈值设定的方法确定位移方向的反转点,结合反余弦的相位解包裹算法处理光栅自混合信号,获得了对应的位移测量值。最终采用商用激光干涉仪与自组装的光栅自混合干涉仪进行位移测量数据的比对测量,实验结果表明,经过线性修正后,其位移误差不超过0.241%。 展开更多
关键词 纳米位移测量 激光自混合 光栅干涉仪 全息光栅
下载PDF
纳米压痕测量因素对IN718力学行为测试结果的影响
14
作者 朱文波 谈建平 +3 位作者 孙伯仲 常帅 裴玉冰 涂善东 《中国测试》 CAS 北大核心 2023年第6期30-35,共6页
采用试验测试与有限元模拟相结合的方法,研究纳米压痕测量因素对IN718合金力学行为的影响。结果表明,对于IN718材料,存在明显的压痕尺寸效应,随着压入深度的增加,硬度逐渐降低,且在压入深度达到1000 nm之后硬度值的变化趋于稳定;当试样... 采用试验测试与有限元模拟相结合的方法,研究纳米压痕测量因素对IN718合金力学行为的影响。结果表明,对于IN718材料,存在明显的压痕尺寸效应,随着压入深度的增加,硬度逐渐降低,且在压入深度达到1000 nm之后硬度值的变化趋于稳定;当试样厚度与压入深度之比(“厚深比”)≥20之后,载荷位移曲线趋于一致,推荐最佳“厚深比”为20;摩擦系数对压痕的载荷-位移曲线几乎没有影响,但会影响压痕表面堆积轮廓,随着摩擦系数的增加,压痕表面材料的堆积逐渐减小,当摩擦系数达到0.2之后,表面材料堆积的减少逐渐趋于稳定;被压试样表面倾斜角对压痕的载荷-位移曲线有一定影响,倾斜角在5°以内时,压痕的载荷-位移曲线差别不大,峰值载荷最大误差均在5%以内,即可认为倾斜角≤5°时误差在可接受范围内。 展开更多
关键词 纳米压痕 影响因素 有限元 测量误差 IN718合金
下载PDF
基于RSM的土壤原位测量参比电极制备优化与评估
15
作者 王茜茜 吕树盛 +3 位作者 侯冲 路逍 刘子雯 张淼 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第S02期278-285,共8页
农用电化学原位监测Ag/AgCl参比电极存在氯离子泄漏风险,探讨通过新型液态金属纳米纤维复合毡改进柔性参比电极稳定性,利用响应面分析方法(RSM)确定材料制备工艺对参比电极稳定性的影响趋势,获取优化方案并进行可行性验证。试验结果表明... 农用电化学原位监测Ag/AgCl参比电极存在氯离子泄漏风险,探讨通过新型液态金属纳米纤维复合毡改进柔性参比电极稳定性,利用响应面分析方法(RSM)确定材料制备工艺对参比电极稳定性的影响趋势,获取优化方案并进行可行性验证。试验结果表明,液态金属纳米纤维复合毡制备主影响因素包括纺丝收集距离、纺丝混液质量配比和拉伸次数,影响程度依次降低;收集距离和拉伸次数对参比电极稳定性的耦合作用显著;当制备参数方案为质量比为1∶5、收集距离为19 cm、拉伸次数为1150次时,参比电极稳定性最优,平均相对误差不大于4.4%;自制柔性Ag/AgCl参比电极,将其应用于土柱硝态氮和pH值监测原位测量,16 d的连续监测过程中硝态氮与pH值测试数据与离线商用电极测量值的绝对误差、相对误差和均方根误差分别小于5.55 mg/L、7.2%、1.98 mg/L和0.21、2.8%、0.17,参比电极持续提供稳定参考基准,保障了两工作电极与外检数据间良好的一致性,证明了自制Ag/AgCl参比电极在土壤农化分析中的可行性。 展开更多
关键词 土壤原位测量 Ag/AgCl参比电极 响应面 液态金属 静电纺丝纳米纤维 柔性电极
下载PDF
基于叉指微电极的新能源车电池冷却液电导率变送器设计
16
作者 王雪鹏 梁百慧 +4 位作者 陈晓鹏 高逸宁 郁昌青 金庆辉 邬杨波 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2023年第11期57-64,共8页
针对电动汽车电池冷却液电导率实时监测的需求,提出一种面向新能源车低电导率电池冷却液的电导率变送器。该电导率变送器中电导率传感器采用基于硅基叉指微电极与Pt电阻一体化结构,可同时实现电导率检测与温度传感,极大降低了敏感元件... 针对电动汽车电池冷却液电导率实时监测的需求,提出一种面向新能源车低电导率电池冷却液的电导率变送器。该电导率变送器中电导率传感器采用基于硅基叉指微电极与Pt电阻一体化结构,可同时实现电导率检测与温度传感,极大降低了敏感元件的体积;使用高性能嵌入式处理器芯片作为传感器的控制核心,配合外围检测电路实现温度和电导率数据的采集和处理,应用分段补偿算法实现电池冷却液电导率-20~90℃大温区的温度补偿。经过实际测试,所设计的电导率传感器在0~20μS/cm的量程范围内误差小于±1.5%,满足新能源车电池冷却液的测量精度要求。因此,提出的电导率变送器在电池冷却液电导率测量方面拥有较强的竞争力。 展开更多
关键词 电导率测量 微纳电极 温度补偿 变送器
下载PDF
微结构三维形貌无损检测的双波段显微干涉技术
17
作者 霍霄 高志山 +2 位作者 袁群 郭珍艳 朱丹 《计测技术》 2023年第1期70-80,共11页
功能型微结构具有调控光场或调控电子导通等功能,一般包含具有规则的几何形状,基于深度和线宽的比值,可以将其区分为高/低深宽比微结构。目前对微结构的检测,多用有损检测中的扫描电镜(SEM)剖面成像技术,而产线上迫切需要用于监测与改... 功能型微结构具有调控光场或调控电子导通等功能,一般包含具有规则的几何形状,基于深度和线宽的比值,可以将其区分为高/低深宽比微结构。目前对微结构的检测,多用有损检测中的扫描电镜(SEM)剖面成像技术,而产线上迫切需要用于监测与改进制作工艺的无损检测技术。本文系统总结了作者所在研究团队十余年在微结构三维形貌无损检测方面的低相干显微干涉技术进展,其中白光显微干涉仪用于超光滑表面、台阶、微光学元件、微机械元件等低深宽比微结构的三维形貌检测,近红外显微干涉仪用于硅基高深宽比微结构的三维形貌检测。文章阐述了两波段显微干涉系统的关键技术与典型样品的检测实例,结果表明:白光显微干涉仪和近红外显微干涉仪是两种高精度的无损检测仪器,前者检测高深宽比小于等于4,后者检测高深宽比大于等于20的微结构三维形貌,数据结果是可信的。显微干涉无损检测技术获取的三维形貌数据,将有效优化微结构的制造工艺,进一步提升有关器件的性能。 展开更多
关键词 无损测量 显微干涉法 低相干 三维形貌 微纳器件
下载PDF
测量技术概述及其发展趋势
18
作者 那净程 《黑龙江科学》 2023年第10期141-142,145,共3页
测量技术可提升机械加工水平及质量,为小型零部件的生产制造提供便利。机械加工生产制造过程繁杂,很容易出现瑕疵品,结合机械加工制造规范,介绍了测量技术的构成及理论,分析了在线测量技术、线下测量技术、纳米偏移测量技术、激光发生... 测量技术可提升机械加工水平及质量,为小型零部件的生产制造提供便利。机械加工生产制造过程繁杂,很容易出现瑕疵品,结合机械加工制造规范,介绍了测量技术的构成及理论,分析了在线测量技术、线下测量技术、纳米偏移测量技术、激光发生器测量技术、超紧密仪器仪表核心技术在机械设备生产制造中的应用,展望了测量技术的发展趋势。通过加强测量技术的应用,解决生产参数问题,以确保机械加工的顺利进行。 展开更多
关键词 在线测量技术 线下测量技术 纳米偏移测量技术 激光发生器测量技术 超紧密仪器仪表核心技术 参数
下载PDF
过焦扫描光学显微测量技术综述
19
作者 石俊凯 李冠楠 +3 位作者 霍树春 姜行健 陈晓梅 周维虎 《计测技术》 2023年第1期18-29,共12页
随着半导体产业的发展和器件性能的不断提升,半导体器件的特征尺寸越来越小,器件结构越来越复杂,对检测仪器的性能提出了更高的要求。首先介绍过焦扫描光学显微法(Through-focus Scanning Optical Microscope,TSOM)的测量装置及测量原理... 随着半导体产业的发展和器件性能的不断提升,半导体器件的特征尺寸越来越小,器件结构越来越复杂,对检测仪器的性能提出了更高的要求。首先介绍过焦扫描光学显微法(Through-focus Scanning Optical Microscope,TSOM)的测量装置及测量原理,该方法可实现三维几何参数的无损测量,因其具有精度高、速度快、成本低等优点,可以满足在线测量的需求;然后从TSOM图构建和待测参数提取两个方面对TSOM方法的研究进展进行了梳理和归纳;最后对TSOM方法未来的研究重点和发展方向进行了展望。该方法有望为我国半导体制造产业提供新的检测手段,为优化和提升我国半导体制造工艺提供重要的技术支撑。 展开更多
关键词 光学微纳测量 过焦扫描光学显微法 深度学习 无损测量
下载PDF
基于双目视觉的单摆测量系统设计
20
作者 胡飞 程剑 +1 位作者 李瑞祥 孔铭泉 《太原学院学报(自然科学版)》 2023年第2期78-84,共7页
为实现无接触测量单摆系统的摆长与空间位置,采用基于局域网通信的网络摄像机,构建双目视觉测量系统,两台摄像机垂直放置并仅能拍摄到单摆物体末端的运动区域,Jetson Nano通过交换机获取两台摄像机拍摄后回传的图像,根据场景可选择基于... 为实现无接触测量单摆系统的摆长与空间位置,采用基于局域网通信的网络摄像机,构建双目视觉测量系统,两台摄像机垂直放置并仅能拍摄到单摆物体末端的运动区域,Jetson Nano通过交换机获取两台摄像机拍摄后回传的图像,根据场景可选择基于HSV颜色空间方法或基于深度学习框架的YOLOv5方法,实现在动态图像中对单摆物体的跟踪并实时标记,并通过帧间的时间差与单摆物体的像素位置,计算单摆的摆长与空间位置。经实验,基于视觉的单摆测量系统测量摆长的精度小于2 cm,空间位置角度小于2°。 展开更多
关键词 双目视觉 网络摄像机 Jetson nano 单摆测量
下载PDF
上一页 1 2 12 下一页 到第
使用帮助 返回顶部