不同桥区结构MEMS爆炸换能元电爆性能研究

为研究薄膜换能元电爆特性的影响因素,通过对不同桥区结构薄膜换能元进行电热模拟仿真,分析桥区结构的改变对其电爆特性的影响,并进行电爆试验,与仿真结果进行对比,得出结论:倒V形桥区结构的薄膜换能元电爆输出能量高,响应时间短,电爆性能稳定,六边形结构能量利用率比方形桥结构高,曲线形结构的能量利用率最低。