期刊文献+
共找到21篇文章
< 1 2 >
每页显示 20 50 100
Finite element simulation of the micromachining of nanosized-silicon-carbide-particle reinforced composite materials based on the cohesive zone model
1
作者 Hongmin Pen Jianhua Guo +2 位作者 Zizhen Cao Xianchong Wang Zhiguo Wang 《Nanotechnology and Precision Engineering》 EI CAS CSCD 2018年第4期242-247,共6页
A finite element method based on the cohesive zone model was used to study the micromachining process of nanosized silicon-carbide-particle(SiCp) reinforced aluminum matrix composites. As a hierarchical multiscale sim... A finite element method based on the cohesive zone model was used to study the micromachining process of nanosized silicon-carbide-particle(SiCp) reinforced aluminum matrix composites. As a hierarchical multiscale simulation method, the parameters for the cohesive zone model were obtained from the stress-displacement curves of the molecular dynamics simulation. The model considers the random properties of the siliconcarbide-particle distribution and the interface of bonding between the silicon carbide particles and the matrix.The machining mechanics was analyzed according to the chip morphology, stress distribution, cutting temperature, and cutting force. The simulation results revealed that the random distribution of nanosized SiCp causes non-uniform interaction between the tool and the reinforcement particles. This deformation mechanics leads to inhomogeneous stress distribution and irregular cutting force variation. 展开更多
关键词 Multiscale COHESIVE zone model NANOSIZED silicon carbide particles Composite materialS micromachining
下载PDF
表面织构电解加工技术研究进展
2
作者 张庆良 刘金玲 +1 位作者 孙志光 曲宁松 《电加工与模具》 北大核心 2024年第3期1-14,53,共15页
表面织构在能源、光学、电子、信息技术、生物和摩擦学等领域具有重要应用,其加工工艺是制造技术研究的重要内容。由于所加工表面织构具有无毛刺、翻边等优点,电解加工成为表面织构的重要制造技术方法和技术研究热点,故详细介绍了五种... 表面织构在能源、光学、电子、信息技术、生物和摩擦学等领域具有重要应用,其加工工艺是制造技术研究的重要内容。由于所加工表面织构具有无毛刺、翻边等优点,电解加工成为表面织构的重要制造技术方法和技术研究热点,故详细介绍了五种典型表面织构电解加工技术在方法创新、材料去除机制、加工过程建模及加工工艺等方面的研究进展,给出了电解加工表面织构的典型结构和材料,指出提高加工效率和加工自动化程度是未来表面织构电解加工技术的发展趋势。 展开更多
关键词 表面织构 电解加工 微细电解加工 材料去除机制 加工过程模型
下载PDF
3D multiphysic simulations of energy field and material process in radial ultrasonic rolling electrochemical micromachining 被引量:1
3
作者 Minghuan WANG Yongchao SHANG +3 位作者 Changshun LIU Jiajie WANG Jinsong ZHENG Xufeng XU 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第3期494-508,共15页
The radial ultrasonic rolling electrochemical micromachining(RUR-EMM)combined rolling electrochemical micromachining(R-EMM)and ultrasonic vibration was studied in this paper.The fundamental understanding of the machin... The radial ultrasonic rolling electrochemical micromachining(RUR-EMM)combined rolling electrochemical micromachining(R-EMM)and ultrasonic vibration was studied in this paper.The fundamental understanding of the machining process especially the interaction between multiphysics in the interelectrode gap(IEG)was investigated and discussed by the finite element method.The multiphysics coupling model including flow field model,Joule heating model,material dissolution model and vibration model was built.3D multiphysics simulation based on micro dimples process in RUR-EMM and R-EMM was proposed.Simulation results showed that the electrolyte flowed into and out IEG periodically,gas bubbles were easy to squeeze out and the gas void fraction deceased about 16%to 54%,the maximum current density increased by 1.36 times in RUR-EMM than in R-EMM in one vibration period of time.And application of the ultrasonic vibration increased the electrolyte temperature about 1.3–4.4%in IEG.Verification experiments of the micro dimple process denoted better corrosion consistency of array dimples in RUR-EMM,there was no island at the micro dimple bottom which always formed in R-EMM,and an aggregated deviation of less than 8.7%for the micro dimple depth and 4%for the material removal amount between theory and experiment was obtained. 展开更多
关键词 3D Multiphysics simulation Electrochemical micromachining Energy field material process Micro dimple Ultrasonic vibration
原文传递
超声辅助微细电解加工间隙空化微射流对材料蚀除的影响 被引量:1
4
作者 王明环 吕明 +2 位作者 何凯磊 郑劲松 许雪峰 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第8期2368-2380,共13页
为探究超声辅助微细电解加工(UAEMM)间隙电解液内产生的空化微射流对材料蚀除的影响,建立微射流冲击工件表面流固耦合模型,通过数值仿真研究高速微射流冲击下工件表面微观塑性形变规律以及微变形对电场分布的影响规律,并进行了超声空化... 为探究超声辅助微细电解加工(UAEMM)间隙电解液内产生的空化微射流对材料蚀除的影响,建立微射流冲击工件表面流固耦合模型,通过数值仿真研究高速微射流冲击下工件表面微观塑性形变规律以及微变形对电场分布的影响规律,并进行了超声空化实验验证。研究结果表明:微射流冲击工件表面产生若干深度约0.12μm、凸起约0.04μm的空蚀坑;在外加电场下,空蚀坑凸起处的电流密度和蚀除深度较原始工件表面处提高1.2倍;进一步的凹坑成形加工实验结果表明,在超声振幅10μm、加工时间5 s、加工间隙50μm工况下,与微细电解加工相比,UAEMM凹坑蚀除深度从20μm提高到100μm,同时成形凹坑底部粗糙度R_(a)从290 nm降低到40 nm;超声能场下间隙大量空化微射流促进了微细电解加工效率、加工后工件表面质量。 展开更多
关键词 超声辅助 微细电解加工 空化微射流 空蚀坑 材料蚀除
下载PDF
激光微细加工技术在医疗器材领域的应用 被引量:2
5
作者 杜帅 张成林 +2 位作者 孙文明 马玉平 姚燕生 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期176-190,共15页
激光微细加工技术具有超快、超精密等特性,在医疗器材领域的应用中有着传统加工技术无可比拟的独特优势,尤其是对生物材料表面加工改性,提高材料生物相容性方面有着不可替代的作用。本文综述了近年来激光微加工技术在医疗器材制造加工... 激光微细加工技术具有超快、超精密等特性,在医疗器材领域的应用中有着传统加工技术无可比拟的独特优势,尤其是对生物材料表面加工改性,提高材料生物相容性方面有着不可替代的作用。本文综述了近年来激光微加工技术在医疗器材制造加工领域的最新应用,着重介绍了血管支架和骨支架的结构与表面制造,生物材料表面改性与抗菌性处理等。最后对目前激光微加工技术存在的局限性做了讨论,对未来激光微加工技术在医疗器材领域的应用发展做了展望。 展开更多
关键词 激光微细加工 血管支架 骨支架 生物材料 抗菌性
下载PDF
微电子机械系统的力学特性与尺度效应 被引量:25
6
作者 梅涛 孔德义 +1 位作者 张培强 伍小平 《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期373-379,共7页
针对微电子机械系统 (MEMS)材料的力学特性、工艺过程对力学特性的影响以及微执行器、微机器人的尺度效应等力学问题进行了研究。从力学角度提出了硅和常用的薄膜材料作为MEMS结构材料时应遵循的设计和加工原则 ,并系统地分析、归纳了... 针对微电子机械系统 (MEMS)材料的力学特性、工艺过程对力学特性的影响以及微执行器、微机器人的尺度效应等力学问题进行了研究。从力学角度提出了硅和常用的薄膜材料作为MEMS结构材料时应遵循的设计和加工原则 ,并系统地分析、归纳了静电、电磁、压电、形状记忆合金等各种微执行器的尺度效应特征。通过对机器蚂蚁、微型飞机、微型机器鱼等微机器人在微尺度下的动力学特性分析 ,得到微机器人在尺寸越小时越容易被驱动的结论 。 展开更多
关键词 微电子机械系统 硅材料 尺度效应 微执行器 微机器人 微机械 力学特性
下载PDF
微型机械设计基础研究 被引量:61
7
作者 温诗铸 丁建宁 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第7期39-42,共4页
针对微型机电系统发展过程中存在的问题 ,论述了开展微型机械设计基础研究的意义和必要性 ,并且总结出微型机械研究中关于微机械设计基础研究的范畴和特点 。
关键词 微型机械 微机构学 微材料力学 微摩擦学
下载PDF
高速单颗磨粒磨削机理的研究 被引量:38
8
作者 冯宝富 赵恒华 +1 位作者 蔡光起 金滩 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期470-473,共4页
进行了单颗磨粒高速磨削 4 5钢、2 0Cr钢和典型难磨材料钛合金TC4和GH4 16 9高温合金的试验·试验结果表明 ,对于 4 5钢和 2 0Cr钢 ,高速条件下单颗磨粒磨削的比磨削能显著低于比熔化能·发现了国外一些学者提出的钢铁材料的最... 进行了单颗磨粒高速磨削 4 5钢、2 0Cr钢和典型难磨材料钛合金TC4和GH4 16 9高温合金的试验·试验结果表明 ,对于 4 5钢和 2 0Cr钢 ,高速条件下单颗磨粒磨削的比磨削能显著低于比熔化能·发现了国外一些学者提出的钢铁材料的最低比磨削能约束于材料比熔化能假设的例外·高速磨削四种材料均表现出尺寸效应·采用高速磨削 ,对改善磨粒的切削状态 ,降低比磨削能是非常有利的·在磨削钛合金TC4和高温合金GH4 16 9时 ,易发生金属粘附·锆刚玉磨削钛合金TC4比磨削高温合金GH4 16 9的粘附严重·高速下金属粘附作用减轻· 展开更多
关键词 单颗磨粒 磨削机理 微切削 难磨材料 比磨削力 尺寸效应 金属粘附 高速磨削
下载PDF
飞秒激光正交线扫描诱导表面微纳结构 被引量:8
9
作者 张成云 刘海英 +1 位作者 满文庆 刘佐濂 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期3063-3069,共7页
通过控制激光偏振与扫描方向,利用飞秒脉冲激光正交线扫描的微加工方式,在硅和不锈钢表面诱导出了规则分布的复合表面微纳结构并分析了激光能量密度对微纳表面结构形成的影响。实验显示:当激光的能量密度接近材料烧蚀阈值时,在硅表面诱... 通过控制激光偏振与扫描方向,利用飞秒脉冲激光正交线扫描的微加工方式,在硅和不锈钢表面诱导出了规则分布的复合表面微纳结构并分析了激光能量密度对微纳表面结构形成的影响。实验显示:当激光的能量密度接近材料烧蚀阈值时,在硅表面诱导出了周期条纹嵌套纳米孔的双层复合二维结构,在不锈钢表面则诱导出了依赖于激光偏振方向的纳米点阵列分布,分析认为纳米点阵列是由周期条纹结构边缘发生断裂而生成的。另外,当激光的能量密度大于材料烧蚀阈值时,在硅和不锈钢表面会烧蚀出规则分布的微米级孔洞结构。实验结果表明:第一次扫描诱导出的表面微纳结构增加了对入射激光的吸收,促进入射激光与表面等离子体波的耦合,加强了后扫描的烧蚀效果,使得后扫描诱导出的微纳结构占主导。文中提出的正交线扫描的加工方式为微纳表面结构的制备提供了新的思路。 展开更多
关键词 飞秒脉冲激光 激光烧蚀 纳米结构材料 微加工
下载PDF
声激励共振法测量微机械材料的杨氏模量 被引量:8
10
作者 顾利忠 左铭旺 苏菲 《声学技术》 CSCD 2000年第4期187-189,共3页
微机械材料的杨氏模量测量是随着微机械构件的产生而提出的一项新技术。文章综述了已有的测量微机械材料杨氏模量的方法。提出了用声激励共振法来测量微机械材料的杨氏模量。这种方法具有测试装置简单、测量容易、精度高等特点。
关键词 杨氏模量 声激励 微机械材料 声激励共振法
下载PDF
利用飞秒激光直写实现透明介电材料中三维维微微纳结构的制备与集成 被引量:5
11
作者 何飞 廖洋 程亚 《物理学进展》 CSCD 北大核心 2012年第2期98-113,共16页
本文综述了利用飞秒激光三维直写技术,在玻璃和晶体等透明介电材料中实现微流体、微光学、微电子学等一系列功能性微纳结构,并进一步构筑新型微纳光子器件的原理、技术与应用。
关键词 飞秒激光直写 微加工 介电材料 微流体 微光学
下载PDF
电化学微加工技术的新进展及关键技术 被引量:3
12
作者 张璧 罗红平 +1 位作者 周志雄 任莹晖 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1505-1511,共7页
将电化学加工的原理应用于微加工领域,具有可加工材料的范围广、无宏观加工作用力、工具阴极无损耗、加工表面质量好、无内应力、工艺多样化、可实现批量加工和三维加工等许多优点。从加工原理出发,分析了实现电化学微加工的前提条件。... 将电化学加工的原理应用于微加工领域,具有可加工材料的范围广、无宏观加工作用力、工具阴极无损耗、加工表面质量好、无内应力、工艺多样化、可实现批量加工和三维加工等许多优点。从加工原理出发,分析了实现电化学微加工的前提条件。从基础理论研究和应用技术研究两个方面介绍了近年来国内外在电化学微加工领域的一些新进展,总结了实现电化学微加工的关键技术。 展开更多
关键词 电化学微加工 材料去除 复杂三维微结构 微细工具电极
下载PDF
准分子激光微加工应用研究进展 被引量:3
13
作者 何立文 方晓东 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期641-648,共8页
准分子激光加工技术基于光化学机制.准分子激光具有波长短、重复频率高、单脉冲能量大、输出光斑大且能量分布均匀等特点,在精准和高效微加工领域有着独特的优势.准分子激光微加工可以减小热影响区(Heat affected zone, HAZ),有效避免... 准分子激光加工技术基于光化学机制.准分子激光具有波长短、重复频率高、单脉冲能量大、输出光斑大且能量分布均匀等特点,在精准和高效微加工领域有着独特的优势.准分子激光微加工可以减小热影响区(Heat affected zone, HAZ),有效避免产生裂纹等缺陷,在材料精细加工领域有很好的应用前景。介绍了准分子激光微加工的研究进展,及准分子激光微加工应用于微电子集成电路封装、微机电系统(Micro-electro-mechanical system, MEMS)材料加工和生物医疗等领域的研究结果,总结了准分子激光微加工技术的发展趋势。 展开更多
关键词 激光技术 准分子激光微加工 集成芯片3D封装 微机电系统材料微加工
下载PDF
微磨料气射流加工的原理和应用 被引量:2
14
作者 阎秋生 《新技术新工艺》 北大核心 2004年第4期20-22,共3页
微磨料气射流加工工艺在加工制作脆性材料微构件、微机电系统(MEMS)微器件以及脆性材料的平面图案、微细孔槽结构时具有高效率、低成本的优势,该文分析了微磨料气射流加工原理,总结了国内外研究状况、技术发展趋势和应用前景。
关键词 磨料 气射流 微细加工 脆性材料 磨蚀 微机电系统
下载PDF
准分子激光精细加工粉末材料的研究
15
作者 张瑜 陈继民 +2 位作者 刘世炳 陈涛 左铁钏 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期70-71,共2页
采用波长 2 48nm的krF准分子激光器 ,通过掩模投影直刻方式对铅粉、铝粉以及氧化锌纳米粉的精细加工进行了研究。结果表明 :在同样条件下 ,准分子激光对于氧化锌纳米粉和铅粉、铝粉两种金属粉末的加工机理有所不同。本文初步分析了几种... 采用波长 2 48nm的krF准分子激光器 ,通过掩模投影直刻方式对铅粉、铝粉以及氧化锌纳米粉的精细加工进行了研究。结果表明 :在同样条件下 ,准分子激光对于氧化锌纳米粉和铅粉、铝粉两种金属粉末的加工机理有所不同。本文初步分析了几种激光加工工艺参数对于加工质量及加工机理的影响。 展开更多
关键词 准分子激光 粉末材料 掩模投影直刻 精细加工
下载PDF
硅材料微细电化学铣削技术研究
16
作者 陈辉 石磊 《应用科技》 CAS 2015年第1期66-69,共4页
电化学加工是硅微细加工技术中的一种常用方法,但是直接用于三维加工比较困难,因此提出一种新的硅材料微细电化学铣削加工方法。该方法将电化学加工和铣削加工工艺结合起来,通过电化学加工技术能够实现材料的微量去除,而铣削加工工艺则... 电化学加工是硅微细加工技术中的一种常用方法,但是直接用于三维加工比较困难,因此提出一种新的硅材料微细电化学铣削加工方法。该方法将电化学加工和铣削加工工艺结合起来,通过电化学加工技术能够实现材料的微量去除,而铣削加工工艺则能够实现三维加工。它利用硅在氢氧化钠溶液中的钝化作用,减少电化学杂散腐蚀。利用加工间隙的电火花放电对钝化膜的破坏作用,限制加工区域。实验表明,微细电化学铣削硅技术能够有效地减少杂散腐蚀,提高加工定域性,能够将电化学杂散腐蚀范围限制在10μm以内,该方法可用于硅的微细三维铣削加工。 展开更多
关键词 硅材料 电化学铣削 微细加工 三维加工 氢氧化钠溶液
下载PDF
MEMS中永磁材料的微细加工技术研究进展 被引量:5
17
作者 陶凯 丁桂甫 +4 位作者 杨卓青 王佩红 吴义伯 汪红 王艳 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第5期1-4,7,共5页
概述了永磁材料在微机电系统(MEMS)中集成制造方法的研究进展,总结了当前用于制造永磁薄膜的电沉积、溅射、脉冲激光沉积(PLD)和粘结磁体微图形化等4种主要加工技术的优缺点和研究现状,并对未来的发展方向提出了一些观点。
关键词 微机电系统 永磁材料 永磁薄膜 微细加工
下载PDF
钕铁硼磁体皮秒激光微加工实验
18
作者 高连丛 陈翠芬 +2 位作者 吕栋栋 欧佐元 彭鸿雁 《磁性材料及器件》 CAS CSCD 2022年第4期93-97,共5页
采用皮秒激光器作为加工光源通过环切法对钕铁硼永磁材料进行加工,并与传统的纳秒激光器加工效果作对比,探讨皮秒激光光斑在不同离焦量加工效果,利用扫描电子显微镜观察微孔的加工效果。基于实验确定的最佳工艺参数为:脉宽10 ps,功率20... 采用皮秒激光器作为加工光源通过环切法对钕铁硼永磁材料进行加工,并与传统的纳秒激光器加工效果作对比,探讨皮秒激光光斑在不同离焦量加工效果,利用扫描电子显微镜观察微孔的加工效果。基于实验确定的最佳工艺参数为:脉宽10 ps,功率20 W,离焦量0.2 mm,扫描速率为500 mm/s,重复频率500 kHz,激光入口直径47.9μm,出口23.0μm,材料厚度0.7 mm,孔锥度1.01°。皮秒激光加工方法是解决硬脆材料微孔加工的优质方法,这种微孔加工方法也可以延展到其他的材料加工之中。 展开更多
关键词 钕铁硼永磁材料 激光微加工 皮秒激光器 加工效果
下载PDF
喷粉微细加工技术的应用
19
作者 金权洽 《延边大学学报(自然科学版)》 CAS 2007年第3期203-207,共5页
喷粉微加工技术是对硬脆材料进行微细加工的一种非常有潜力的加工方法.喷粉加工是基于传统的喷砂技术发展起来的一种加工硬脆材料的新技术,具有环境好、无热影响区、无火花、成本低等优点,对硬脆材料的精密微细加工特别是对复杂的三维... 喷粉微加工技术是对硬脆材料进行微细加工的一种非常有潜力的加工方法.喷粉加工是基于传统的喷砂技术发展起来的一种加工硬脆材料的新技术,具有环境好、无热影响区、无火花、成本低等优点,对硬脆材料的精密微细加工特别是对复杂的三维微细结构的加工非常有效.本文介绍了喷粉加工技术的基本原理、加工过程和应用. 展开更多
关键词 微粉末 微细加工 硬脆材料
下载PDF
飞秒激光烧蚀研究进展 被引量:16
20
作者 倪晓昌 王清月 《激光与光电子学进展》 CSCD 2002年第12期4-9,共6页
介绍飞秒激光烧蚀材料的机理及理论模型,阐述飞秒激光烧蚀的特性,揭示飞秒激光烧蚀的广泛应用前景.
关键词 飞秒激光 烧蚀 微细加工 材料迁移 阈值
原文传递
上一页 1 2 下一页 到第
使用帮助 返回顶部