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采用锯齿肋壁强化硅基MEMS微通道相变换热
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作者 李振 王楠 +3 位作者 周喜超 杨斌 彭勇 曲玉珊 《微纳电子技术》 CAS 2024年第12期39-46,共8页
为提升微通道相变换热器综合性能,包括同时实现降低沸腾起始过热度、提高传热系数和抑制沸腾传热不稳定性,提出了一种具有锯齿形肋壁的硅基微电子机械系统(MEMS)微通道结构,并对常规并联微通道与锯齿肋壁微通道开展了对比实验研究。结... 为提升微通道相变换热器综合性能,包括同时实现降低沸腾起始过热度、提高传热系数和抑制沸腾传热不稳定性,提出了一种具有锯齿形肋壁的硅基微电子机械系统(MEMS)微通道结构,并对常规并联微通道与锯齿肋壁微通道开展了对比实验研究。结果表明,锯齿肋壁的齿根处提供了众多有效核化穴,实现了2℃低过热度下的沸腾启动,较常规并联微通道的沸腾起始过热度降低了18℃。由于大量锯齿形核化穴的存在,提高了通道内的气泡核化密度,使得锯齿肋壁微通道中心线处的平均换热系数较常规并联微通道最大提高了约85.5%。同时,较多的气化核心使得过热液层的能量从多个气液相变界面进行潜热释放,气泡生长膨胀速度减缓,抑制了沸腾传热不稳定性。锯齿肋壁的变截面结构对通道内液体产生毛细吸附效应,使得通道内倾向于形成环状流高效薄液膜对流蒸发传热模式,这也是锯齿肋壁强化传热的主要机制之一。 展开更多
关键词 锯齿肋壁 流动沸腾 微电子机械系统(mems)微通道 强化传热 流动不稳定性
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Parylene薄膜及其在MEMS中的应用 被引量:7
2
作者 王亚军 刘景全 +2 位作者 杨春生 沈修成 郭忠元 《微纳电子技术》 CAS 2008年第7期403-410,415,共9页
介绍了聚合物Parylene,包括其制备工艺和Parylene薄膜的图形化。着重介绍了Parylene在微流体系统的应用,包括微阀、微泵和微通道;在可植入微系统中的应用,包括人工耳蜗和视网膜假体。近来的研究表明,基于Parylene的MEMS微器件广泛应用... 介绍了聚合物Parylene,包括其制备工艺和Parylene薄膜的图形化。着重介绍了Parylene在微流体系统的应用,包括微阀、微泵和微通道;在可植入微系统中的应用,包括人工耳蜗和视网膜假体。近来的研究表明,基于Parylene的MEMS微器件广泛应用在各种MEMS微结构、微传感器和微驱动器上,Parylene在各种完全集成微系统应用中将具有更加诱人的前景。 展开更多
关键词 聚对二甲苯 微阀 微泵 微通道 人工耳蜗 视网膜假体 微机电系统
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基于MEMS技术的新型微冷却方式 被引量:9
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作者 何叶 李磊民 杨涛 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2004年第9期43-45,共3页
针对高功率电子器件散热问题,介绍了国际前沿领域电子设备热控制的技术动态。讨论了基于MEMS技术的微冷却器有体积小,散热面积大,消耗功率低,批量制作经济性好等优点。分析了微通道、微喷流和微热管3种基于MEMS技术的新型微冷却方式的... 针对高功率电子器件散热问题,介绍了国际前沿领域电子设备热控制的技术动态。讨论了基于MEMS技术的微冷却器有体积小,散热面积大,消耗功率低,批量制作经济性好等优点。分析了微通道、微喷流和微热管3种基于MEMS技术的新型微冷却方式的传热原理、目前的技术状况及应用前景。微通道的采用增加了对流换热面积,提高了对流换热系数;微喷流冷却器中由于高速冷却液的形成,显著提高了换热系数;微热管均热效果极佳。 展开更多
关键词 mems 微冷却器 微通道 微喷流 微热管
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MEMS稀薄气体内部流动模拟中的信息保存(IP)法 被引量:5
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作者 沈青 《力学进展》 EI CSCD 北大核心 2006年第1期142-150,共9页
首先综述了处理低速稀薄气体流动的一些方法:线化Boltzmann方程方法、Lattice Boltzmann方法(LBM)、加滑移边界的Navier-Stokes方程、以及DSMC方法,并讨论它们在模拟MEMS中过渡领域低速流动特别是内部流动所遇到的困难,其中表明了LBM... 首先综述了处理低速稀薄气体流动的一些方法:线化Boltzmann方程方法、Lattice Boltzmann方法(LBM)、加滑移边界的Navier-Stokes方程、以及DSMC方法,并讨论它们在模拟MEMS中过渡领域低速流动特别是内部流动所遇到的困难,其中表明了LBM现有方案不适合模拟过渡领域中的MEMS流动问题。信息保存(IP)法通过保存一个模拟分子所代表的大量分子的平均信息,克服了流速低使得信息噪声比小而引起统计模拟的困难。本文给出了方法的一些理论证实。MEMS中内部流动的特点,即流速低和大的长宽比的特点,引起椭圆性问题,即出入口边界条件相互影响需要协调的问题。通过对(长约几千微米的)微槽道流动应用IP方法的算例,演示了采用守恒形式的质最守恒方程和超松弛法可成功地解决这一问题。借助同样的方法,用IP方法求解了真实长度(1000μm)硬盘驱动器读写头在过渡领域的薄膜支撑问题,压力分布与具有严格气体动理论基础的概括化Reynolds方程完全相符,而在此之前,DSMC方法只对短的读写头(5μm)与Reynolds方程做了校验.作者建议将原来用于求解读写头润滑问题的Reynolds方程退化来求解过渡领域中的微槽道流动问题,从而提供了一个有严格气体动理论品性的检验方法来验证求解MEMS内部流动的各种方法。 展开更多
关键词 mems 稀薄气体流动 信息保存法 守恒格式 超松弛方法 线化Boltzmann方程 Lattice BOLTZMANN 方法 微槽道流动 硬盘驱动器读写头 退化的Reynolds方程
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MEMS器件中微气泡执行器气泡动力学研究
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作者 王淑香 徐立 +2 位作者 童军杰 曹雪玲 刘志军 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第11期811-818,共8页
采用标准MEMS工艺,设计并制造了一种微芯片来研究微通道中微气泡执行器的气泡动力学行为。在矩形硅微通道内,结合同步的温度响应曲线和高速可视化实验系统研究了各可控参数(热流密度、脉冲频率和主流流速)对微气泡执行器(40μm×... 采用标准MEMS工艺,设计并制造了一种微芯片来研究微通道中微气泡执行器的气泡动力学行为。在矩形硅微通道内,结合同步的温度响应曲线和高速可视化实验系统研究了各可控参数(热流密度、脉冲频率和主流流速)对微气泡执行器(40μm×20μm)的核化温度、温升速率、气泡生长延迟时间差及气泡形态等气泡动力学行为的影响。结果表明,随着热流的增大,气泡核化的时间前移,最大气泡的直径增大;脉冲频率越高,温升速度越快,最大气泡的直径越小;主流流速越高,气泡生长延迟时间差越长,且低流速下由于小气泡的出现将导致膜温响应曲线出现锯齿状波动;在实验的工况下,气泡的核化温度受可控参数的影响不大,均保持在120℃左右。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems) 微气泡执行器 微通道 气泡动力学 可控参数
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MEMS型水听器的自噪声分析 被引量:3
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作者 方尔正 洪连进 杨德森 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期285-288,共4页
针对部分结构形式的水听器自噪声较高这一现象,以MEMS型水听器为原型进行了结构分析。根据机械-热噪声理论,给出了MEMS型水听器热噪声计算方法和水介质中声压与加速度的转换关系。对水听器噪声参数进行了计算机仿真,得出了影响传感器自... 针对部分结构形式的水听器自噪声较高这一现象,以MEMS型水听器为原型进行了结构分析。根据机械-热噪声理论,给出了MEMS型水听器热噪声计算方法和水介质中声压与加速度的转换关系。对水听器噪声参数进行了计算机仿真,得出了影响传感器自噪声的主要因素,给出了自噪声与谐振频率、质量块质量和机械Q值之间的关系。将典型水听器自噪声与海洋环境噪声进行了对比,仿真分析结果表明,工业用加速度传感器不能用于水下声辐射噪声测量任务,用于在辐射噪声测量的MEMS型水听器需要具有40 ng以下的自噪声才能达到系统要求。 展开更多
关键词 水听器 微机械系统 自噪声 噪声测量 micro-electromechanical systems ( mems)
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芯片级铯原子钟MEMS气室的气密性封装 被引量:1
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作者 王锦曦 闫树斌 +4 位作者 苏浩 杨啸宇 罗云霞 郭京 华尔天 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2021年第4期342-349,共8页
为适应芯片级原子钟(CSAC)微型化和高精度的发展趋势,介绍了一种面向CSAC微型系统的碱金属原子气室的微电子机械系统(MEMS)工艺流程,设计了一种能够提供光反应所需的碱金属原子气氛且气密性好的气室结构,氦气真空泄漏率小于5.0×10^... 为适应芯片级原子钟(CSAC)微型化和高精度的发展趋势,介绍了一种面向CSAC微型系统的碱金属原子气室的微电子机械系统(MEMS)工艺流程,设计了一种能够提供光反应所需的碱金属原子气氛且气密性好的气室结构,氦气真空泄漏率小于5.0×10^(-9)Pa·cm^(3)/s。采用L-Edit软件设计掩膜版,通过光刻工艺在光刻胶上制作所需图形,采用感应耦合等离子体刻蚀(ICPE)法将结构转移到硅片表面,刻蚀出微通道和两个腔室,其中一个腔室为反应腔,另一个为光学腔。通过低温阳极键合工艺封装原子气室,划片后即可得到玻璃-硅-玻璃三明治结构的气室。按照GJB548A-96标准(方法1014.2密封)的相关规定对MEMS气室先后进行了氦气细检和氟油粗检,测试结果验证了工艺的适用性,成品率达到96.08%。同时,搭建实验平台,测试了吸收谱线,得到了良好的谱线图。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems) 芯片级原子钟(CSAC) 微通道 铯(Cs)原子气室 气密性
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Thermal Performance of MEMS-Based Heat Exchanger with Micro-Encapsulated PCM Slurry
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作者 Samira Mehravar Samad Sabbaghi 《Journal of Power and Energy Engineering》 2014年第9期15-22,共8页
Latent heat thermal energy storage technique has demonstrate to be a better engineering option mainly due to its benefit of supplying higher energy storage density in a smaller temperature difference between retrieval... Latent heat thermal energy storage technique has demonstrate to be a better engineering option mainly due to its benefit of supplying higher energy storage density in a smaller temperature difference between retrieval and storage. For this purpose, a micro electro-mechanical system, MEMS-based heat exchanger with microencapsulated PCM (MEPCM) slurry as cold fluid, has been simulated three dimensionally. This work investigates the influence of using MEPCM-slurry on the temperature of the cold and hot fluids. The MEPCM and water properties have been considered temperature dependent. MEPCM-slurry is used with different volume fractions. The result shows that using MEPCM with 25% volume fraction leads to the improvement in fluids temperatures, that is, for hot fluid the rate of temperature reduction increases up to 23.5% and for cold fluid the rate of temperature rise decreases to 9%, compared to using only water in the MEMS. 展开更多
关键词 mems microchannel MEPCM-Slurry LATENT Heat Simulate
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Code mechanical solidification and verification in MEMS security devices
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作者 张卫平 陈文元 +2 位作者 赵小林 李胜勇 姜勇 《Journal of Shanghai University(English Edition)》 CAS 2006年第4期334-338,共5页
The virtual machine of code mechanism (VMCM) as a new concept for code mechanical solidification and verification is proposed and can be applied in MEMS (micro-electromechanical systems) security device for high c... The virtual machine of code mechanism (VMCM) as a new concept for code mechanical solidification and verification is proposed and can be applied in MEMS (micro-electromechanical systems) security device for high consequence systems. Based on a study of the running condition of physical code mechanism, VMCM's configuration, ternary encoding method, running action and logic are derived. The cases of multi-level code mechanism are designed and verified with the VMCM method, showing that the presented method is effective. 展开更多
关键词 mems micro-electromechanical systems) security device code mechanical solidification and verification virtual machine of code mechanism (VMCM) ternary system.
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Detection Methods for MEMS-Based Xylophone Bar Magnetometer for Pico Satellites
10
作者 Sylvain Ranvier Veronique Rochus +3 位作者 Sylvain Druart Herve Lamy Pierre Rochus Laurent A. Francis 《Journal of Mechanics Engineering and Automation》 2011年第5期342-350,共9页
Initially studied and developed by students in universities, the very small pico satellites (with a mass lower than 1 kg) are more and more considered for science applications. In particular, there are plans to use ... Initially studied and developed by students in universities, the very small pico satellites (with a mass lower than 1 kg) are more and more considered for science applications. In particular, there are plans to use them in constellations of small spacecraft for remote sensing of various regions of the magnetosphere. They require a payload with specific size, weight and power consumption. In order to respond to this demand, new instruments have to be developed. Those instruments should exhibit at least the same performances as those used in larger satellites while fulfilling the specific requirements imposed by the satellites size. For this reason, the authors currently develop a xylophone bar magnetometer (XBM) based on micro-electromechanical systems (MEMS) with integrated detector electronics. The principle of this magnetometer is based on a classical resonating xylophone bar. A sinnsoidal current oscillating at the fundamental bending resonant frequency of the bar is applied through the device, and when an external magnetic field is present, the resulting Lorentz force yields the bar to vibrate at its fundamental mode with a displacement directly proportional to the amplitude in one direction of the ambient magnetic field. When designing a MEMS XBM, the detection method is a crucial aspect. The measurement method largely influences the geometry of the magnetometer as well as the manufacturing technology. Due to the constraints in terms of size, weight and power consumption, the two most promising measurement methods are capacitive and piezoelectric ones. Several designs including these measurement techniques are presented and simulated under realistic conditions. First, designs including lateral electrodes for capacitive measurement are tackled based on Silicon-On-Insulator (SOI) process. For the piezoelectric detection, a new configuration based on Lead Zirconate Titanate (PZT)/Pt structure is introduced and leads to much better sensitivity than the traditional Pt/PZT/Pt sandwich structure. Finally, the principle of electronic circuits enabling high sensitivity and low power consumption are proposed. 展开更多
关键词 MAGNETOMETER mems micro-electromechanical systems) pico satellites piezoelectric.
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用于不同粒径粒子聚焦的MEMS微流体芯片
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作者 冀苗苗 张斌珍 段俊萍 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2022年第8期778-786,共9页
基于惯性微流体技术和微电子机械系统(MEMS)工艺,设计了一款用于不同粒径粒子聚焦的微流体芯片。通过对不同收缩区-扩张区面积比(CE-ratio)以及相同CE-ratio下不同收缩区与扩张区长度关系的微通道进行仿真测试,制备出了分别适用于不同... 基于惯性微流体技术和微电子机械系统(MEMS)工艺,设计了一款用于不同粒径粒子聚焦的微流体芯片。通过对不同收缩区-扩张区面积比(CE-ratio)以及相同CE-ratio下不同收缩区与扩张区长度关系的微通道进行仿真测试,制备出了分别适用于不同粒径粒子的对称式小CE-ratio微通道。采用MEMS工艺加工,通过改进键合工艺使芯片能在高流速下保持性能稳定。在雷诺数为68的前提下对聚焦测试图进行归一化灰度值分析。测试结果表明:通道内粒子聚焦流线(粒径5μm和20μm)处灰度值比其他位置灰度值高3倍,且通道内其他位置的归一化灰度值较稳定地保持在0.2(粒径20μm)和0.25(粒径5μm)左右。在高流速工作情况下,对称式小CE-ratio微流体芯片性能稳定且粒子聚焦效果良好。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems) 微流体芯片 惯性微流体技术 微通道 粒子聚焦
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表面特性对棘齿型Knudsen泵气体分离特性影响的模拟研究
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作者 韩峰 张志军 +1 位作者 张世伟 王晓伟 《真空》 CAS 2024年第3期13-19,共7页
Knudsen泵作为一种微型泵,在微机电系统(MEMS)中具有广泛应用。本文提出了一种具有不同表面反射系数的棘齿型Knudsen泵,通过直接模拟蒙特卡罗(DSMC)方法对该泵内He-Xe混合气体流动特性进行了数值模拟研究。结果表明:表面反射特性对Knud... Knudsen泵作为一种微型泵,在微机电系统(MEMS)中具有广泛应用。本文提出了一种具有不同表面反射系数的棘齿型Knudsen泵,通过直接模拟蒙特卡罗(DSMC)方法对该泵内He-Xe混合气体流动特性进行了数值模拟研究。结果表明:表面反射特性对Knudsen泵内的流场特性和气体分离特性影响巨大,不同的表面反射特性导致了Knudsen泵内不同的热驱流动机理;三角形倾斜边的α_(n)=σ_(t)=0时Knudsen泵内主要热驱流动为辐射流,有利于气体分离,而α_(n)=σ_(t)=1时Knudsen泵内主要热驱流动为热边缘流,对气体分离没有明显有利作用;三角形倾斜边的α_(n)=σ_(t)=0时He和Xe的速度和扩散速度在三角形棘齿上顶点附近差异最大,而α_(n)=σ_(t)=1时在三角形棘齿左侧顶点附近差异最大;越轻的气体流动速度和扩散速度越快。本文可为实际工程应用中微型气体分离装置的设计和生产提供理论依据。 展开更多
关键词 Knudsen泵 气体分离 表面特性 热驱流动 棘齿型微通道 DSMC方法 微机电系统(mems)
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非极性小分子有机液体在微管道中的流量特性 被引量:39
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作者 李战华 周兴贝 朱善农 《力学学报》 EI CSCD 北大核心 2002年第3期432-438,共7页
用去离子水及有机液体在内径约为25μm的石英圆管内进行了流量特性实验.液体分子量范围为18~160,动力黏性系数的范围为0.5~1mPa·s.实验雷诺数范围为Re<8.所用有机液体为:四氯化碳、乙基苯及环己烷都是非极性液体,其分子结构尺... 用去离子水及有机液体在内径约为25μm的石英圆管内进行了流量特性实验.液体分子量范围为18~160,动力黏性系数的范围为0.5~1mPa·s.实验雷诺数范围为Re<8.所用有机液体为:四氯化碳、乙基苯及环己烷都是非极性液体,其分子结构尺度小于1nm.实验结果表明,在定常层流条件下,圆管内的液体流量与两端压力差成正比,其压力-流量关系仍符合经典的Hagen-Poiseuille流动.这说明非极性小分子有机液体在本实验所用微米尺度管道中其流动规律仍符合连续介质假设.鉴于微尺度流动实验的特殊性,文中还介绍了微流动实验装置,分析了微尺度流动测量误差来源及提高测量精度的措施. 展开更多
关键词 非极性小分子有机液体 微管道 流量特性实验 定常层流 微机械系统
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微流动系统的发展概况 被引量:24
14
作者 尹执中 胡桅林 过增元 《流体机械》 CSCD 北大核心 2000年第4期33-36,共4页
概括介绍了微流动系统的发展情况 ,特别介绍了微型传感器、微型泵、微型阀。
关键词 微机电系统 微流动系统 微型传感器 微型泵
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微槽道气体流动的统计模拟 被引量:7
15
作者 谢翀 樊菁 沈青 《计算物理》 CSCD 北大核心 2002年第5期377-382,共6页
利用基于分子模型的统计模拟方法———信息保存方法 (IP)统计模拟了实验条件下微槽道气体流动 ,仔细讨论了用IP方法模拟长槽道稀薄气流时遇到的问题 ,并给出了解决的方法 ,即采取守恒形式的控制方程避免质量流量计算误差积累 ,并利用... 利用基于分子模型的统计模拟方法———信息保存方法 (IP)统计模拟了实验条件下微槽道气体流动 ,仔细讨论了用IP方法模拟长槽道稀薄气流时遇到的问题 ,并给出了解决的方法 ,即采取守恒形式的控制方程避免质量流量计算误差积累 ,并利用超松弛方法使收敛过程加速 .将IP计算结果与压力分布和质量流量实验数据进行了比较 . 展开更多
关键词 微槽道 气体流动 统计模拟 微机电系统 稀薄气体效应 IP方法
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V型微通道热沉的加工与测试 被引量:3
16
作者 韩宾 高杨 王保安 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第10期109-111,共3页
基于MEMS技术的V型微通道冷却器具有低热阻、低流量,高效率以及体积小等特点,能够对激光二极管阵列和其他高功率密度器件进行快速、高效地散热,成为一种新型的散热方案。介绍了V型微通道热沉的加工工艺,并利用研制的V型微通道热沉样品,... 基于MEMS技术的V型微通道冷却器具有低热阻、低流量,高效率以及体积小等特点,能够对激光二极管阵列和其他高功率密度器件进行快速、高效地散热,成为一种新型的散热方案。介绍了V型微通道热沉的加工工艺,并利用研制的V型微通道热沉样品,模拟热源加载,进行了测试热沉散热性能的试验。通过试验数据得到微通道热沉的面积热阻仅为0.054 3 K.cm2/W。 展开更多
关键词 微电子机械系统 微通道热沉 工艺
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新型微通道散热器设计仿真 被引量:4
17
作者 王艳 丁桂甫 +1 位作者 张东梅 顾东华 《电子器件》 CAS 2007年第1期63-66,71,共5页
在传统的硅基微通道散热器原理基础上,通过采用高热导率的散热板,以及特殊的变截面微通道阵列,实现微型散热器工作流体的整体稳定流动和短程均匀散热工作模式.采用ANSYS通用有限元分析软件,给出了典型换热单元在参考流速1m/s,温度283K... 在传统的硅基微通道散热器原理基础上,通过采用高热导率的散热板,以及特殊的变截面微通道阵列,实现微型散热器工作流体的整体稳定流动和短程均匀散热工作模式.采用ANSYS通用有限元分析软件,给出了典型换热单元在参考流速1m/s,温度283K初始状态下的流速场和温度场,散热器可输运5×107W/m2的热通量,总热阻低至0.0106℃/W.仿真结果初步验证了设计构想的合理性,散热器有望拥有良好工作特性. 展开更多
关键词 mems器件 微通道散热器 有限元分析 数值传热学
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微机电系统中的矩形通道内微气泡控制生长 被引量:2
18
作者 董涛 杨朝初 +3 位作者 毕勤成 张玉龙 谷丹丹 张春权 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期54-60,共7页
采用微机电系统(MEMS)硅加工工艺,设计、加工出了6种不同规格的实验用微气泡控制生长MEMS器件;构建了MEMS器件中微气泡控制生长实验系统并完成了实验,讨论了热负荷、微加热元宽度、微通道截面参数、工质流速及物性参数等对微气泡生长的... 采用微机电系统(MEMS)硅加工工艺,设计、加工出了6种不同规格的实验用微气泡控制生长MEMS器件;构建了MEMS器件中微气泡控制生长实验系统并完成了实验,讨论了热负荷、微加热元宽度、微通道截面参数、工质流速及物性参数等对微气泡生长的影响。结果表明:同等实验条件下,加热电压幅值越高,微气泡生长速率越快;加热脉冲宽度仅对微气泡形成后的进一步生长有影响;加热条件相同的前提下,微加热元宽度越大,气泡成核所需的时间越短、微气泡生长速率越快;微通道宽度一定且高宽比大于1的条件下,高宽比越小,后期微气泡生长速率越慢;微流体的流速越高,微气泡生长始点越晚、生长速率也越低。相同实验条件下,R113、FC-72、去离子水三者中,R113中微气泡生长始点最靠前、生长速率最快,去离子水中微气泡生长最靠后、生长速率最慢。 展开更多
关键词 微机电系统 微流体相变 微气泡生长 微小有限空间 矩形微通道
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分子印迹型薄膜体声波谐振毒品检测传感器 被引量:5
19
作者 陈剑鸣 吕启蒙 +2 位作者 吴光敏 楚合群 John D Mai 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期2272-2278,共7页
针对毒品探测的需求,对高灵敏度、高选择性及可工作于液相环境中的传感器进行了研究,利用分子印迹技术(MIT),结合薄膜体声波谐振器(FBAR)和微流体(micro fluidics)技术构造了新型传感器。首先,阐述了用分子印迹技术制作FBAR吸附层材料... 针对毒品探测的需求,对高灵敏度、高选择性及可工作于液相环境中的传感器进行了研究,利用分子印迹技术(MIT),结合薄膜体声波谐振器(FBAR)和微流体(micro fluidics)技术构造了新型传感器。首先,阐述了用分子印迹技术制作FBAR吸附层材料的原理,利用分子印迹技术制备了对特定毒品分子具有专一吸附性的印迹材料,将其作为吸附层涂覆在基于微机电系统(MEMS)及微流体技术的FBAR上。根据压电方程和运动学方程推导出了FBAR压电振子的等效电路及电学端口输入阻抗公式,构建了以AlN为压电材料的微流体结构FBAR毒品检测传感器模型。对该结构的FBAR传感器进行了理论研究和公式推导,并在理论模型的基础上进行了仿真实验,得到了单位面积质量响度达0.8 pg/Hz·cm2的FBAR传感器。得到的实验结果远高于石英晶体微天平这一传统的质量敏感型传感器,可实现对溶液中毒品分子的快速检测。 展开更多
关键词 微机电系统 薄膜体声波谐振器 分子印迹技术 微流体技术 毒品检测传感器
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复杂结构微流体芯片中的瞬态流型研究 被引量:1
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作者 张伟 徐进良 《工程热物理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期247-250,共4页
在低质量流速和高热流密度下,对复杂结构微流体芯片中的流动沸腾进行了瞬态流型研究,发现了毫秒级微时间尺度的周期性流型和微通道中的分层流。在单个微通道区域,液膜沿流动方向逐渐增厚且蒸干总是首先发生在其上游区域,而在不同微通道... 在低质量流速和高热流密度下,对复杂结构微流体芯片中的流动沸腾进行了瞬态流型研究,发现了毫秒级微时间尺度的周期性流型和微通道中的分层流。在单个微通道区域,液膜沿流动方向逐渐增厚且蒸干总是首先发生在其上游区域,而在不同微通道区域间,下游微通道首先蒸干.分析表明,液相弗劳德数(F^roude number)较低是微通道中分层流存在的原因.高沸腾数(Boiling number)引起汽液界面较大的剪切应力从而使液体不断向微通道出口处聚集,引起液膜厚度沿流动方向逐渐增厚. 展开更多
关键词 mems 硅基微通道 流动沸腾 不稳定性 分层流
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