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Lumped parameter analytic modeling and behavioral simulation of a 3-DOF MEMS gyro-accelerometer 被引量:1
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作者 Payal Verma Sandeep K.Arya Ram Gopal 《Acta Mechanica Sinica》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第6期910-919,共10页
A new analytical model of a 3-degree-of-freedom (3-DOF) gyro-accelerometer system consisting of a 1-DOF drive and 2-DOF sense modes is presented. The model constructs lumped differential equations associated with ea... A new analytical model of a 3-degree-of-freedom (3-DOF) gyro-accelerometer system consisting of a 1-DOF drive and 2-DOF sense modes is presented. The model constructs lumped differential equations associated with each DOFof the system by vector analysis. The coupled differential equations thus established are solved analytically for their responses in both the time and frequency domains. Considering these frequency response equations, novel device design concepts are derived by forcing the sense phase to zero, which leads to a certain relationship between the structural frequencies, thereby causing minimization of the damping effect on the performance of the system. Furthermore, the feasibility of the present gyro-accelerometer structure is studied using a unique discriminatory scheme for the detection of both gyro action and linear acceleration at their events. This scheme combines the formulated settled transient solution of the gyro-accelerometer with the processes of synchronous demodulation and filtration, which leads to the in-phase and quadrature components of the system's output signal. These two components can be utilized in the detection of angular motion and linear acceleration. The obtained analytical results are validated by simulation in a MATLAB/Simulink environment, and it is found that the results are in excellent agreement with each other. 展开更多
关键词 Microelectromechanical systems mems ·Multimeasurement system. Gyro-accelerometer Gyro-accelerometer model - Transient model
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一种用于振动测量的MEMS电磁式加速度计
2
作者 朱旭 金丽 +2 位作者 解琨阳 张敏娟 李孟委 《微纳电子技术》 CAS 2024年第6期98-105,共8页
基于电磁感应原理,设计并制备了一种用于振动测量的微机电系统(MEMS)电磁式加速度计,其具有无源、集成度高、对加工工艺精度要求低及不受温度、湿度影响等优势。首先通过有限元分析软件对加速度计敏感结构及永磁体磁场进行仿真分析,然... 基于电磁感应原理,设计并制备了一种用于振动测量的微机电系统(MEMS)电磁式加速度计,其具有无源、集成度高、对加工工艺精度要求低及不受温度、湿度影响等优势。首先通过有限元分析软件对加速度计敏感结构及永磁体磁场进行仿真分析,然后利用MEMS微加工工艺制备敏感结构及电磁线圈等主要部件,将加速度计芯片与嵌有永磁体的陶瓷基板进行键合封装。通过敏感结构受到振动并带动线圈相对永磁体发生位移产生电压信号。最后通过振动测试系统对电磁式加速度计的灵敏度、量程、线性度及抗过载能力等动态参量进行评估。实验结果表明,在0~3g量程范围内,加速度计可实现对63~69 Hz频率振动的测量,灵敏度最高为263 mV/g,非线性误差为3.3%,可用于恶劣环境下低g值的振动测量。 展开更多
关键词 微机电系统(mems) 加速度计 振动测量 电磁式 永磁体
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用于三轴MEMS加速度计的集成数字调理电路
3
作者 王晓 任臣 杨拥军 《微纳电子技术》 CAS 2024年第6期138-147,共10页
基于0.18μm互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺,设计了一种用于三轴微电子机械系统(MEMS)加速度计的集成数字调理电路,实现了三轴加速度信号的数字后处理。该数字调理电路采用级联积分梳状(CIC)与有限冲击响应(FIR)相结合的滤波器形式,有... 基于0.18μm互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺,设计了一种用于三轴微电子机械系统(MEMS)加速度计的集成数字调理电路,实现了三轴加速度信号的数字后处理。该数字调理电路采用级联积分梳状(CIC)与有限冲击响应(FIR)相结合的滤波器形式,有效滤除了带外的量化噪声,提高了输出信号的信噪比;零位采用四阶多项式拟合温补算法,标度因数采用二阶多项式拟合温补算法,有效降低了加速度输出随温度的漂移,提升了加速度计的测量精度。此外,FIR滤波器采用时分复用的实现形式,温补模块采用串行实现形式,有效减小了芯片面积,最终芯片面积为1.5 mm^(2)。测试结果表明,滤波器符合设计值,三轴MEMS加速度计的零偏不稳定性为15μg,速率随机游走为0.035 m/s/√h,温补后零偏全温区变化量为3.55mg,提升了5.4倍;温补后标度因数全温区变化量为0.0026,提升了4.1倍,电路性能良好。 展开更多
关键词 数字调理电路 微电子机械系统(mems) 加速度计 级联积分梳状(CIC)滤波器 有限冲击响应(FIR)滤波器 时分复用 温度补偿
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一种用于MEMS加速度计温度性能提升的双质量全差分结构
4
作者 陈鹏旭 任臣 杨拥军 《微纳电子技术》 CAS 2024年第7期120-125,共6页
微电子机械系统(MEMS)加速度计作为应力敏感器件,很容易受到外界应力的影响,尤其是对温度应力非常敏感,MEMS加速度计的温度性能成为了制约加速度计性能提升的关键因素。为了提高MEMS加速度计的温度性能,减小温度漂移,提出了一种新型的... 微电子机械系统(MEMS)加速度计作为应力敏感器件,很容易受到外界应力的影响,尤其是对温度应力非常敏感,MEMS加速度计的温度性能成为了制约加速度计性能提升的关键因素。为了提高MEMS加速度计的温度性能,减小温度漂移,提出了一种新型的双质量、全差分MEMS敏感结构方案。通过双质量的差分效果,可以将外界温度变化引起的变形差分掉,从而降低加速度计的温度系数,提高温度性能。利用有限元仿真的手段,优化双质量结构的布局,验证加速度计的温度漂移结果。实验结果表明,加速度计温度性能得到了有效提升。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems) 加速度计 双质量全差分结构 温度性能 有限元分析
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基于MEMS工艺的微热加速度计和微热陀螺仪的制备
5
作者 吴嘉琦 赖丽燕 李以贵 《微纳电子技术》 CAS 2024年第7期110-119,共10页
微热加速度计和微热陀螺仪两者传感芯片结构相似,并且制备工艺完全兼容,在同一块绝缘体上硅(SOI)基板上运用同一工艺流程同时制备出了微热陀螺仪传感芯片和微热加速度计传感芯片。为了准确地创建微尺度的图案和结构,设计了四块光刻掩模... 微热加速度计和微热陀螺仪两者传感芯片结构相似,并且制备工艺完全兼容,在同一块绝缘体上硅(SOI)基板上运用同一工艺流程同时制备出了微热陀螺仪传感芯片和微热加速度计传感芯片。为了准确地创建微尺度的图案和结构,设计了四块光刻掩模版来制作该微热加速度计芯片和微热陀螺仪芯片,分别对应于接触孔开口、热敏电阻、互连布线和背面空腔。轻掺杂硅热敏电阻的可控电阻温度系数(TCR)大于传统金属丝,因此选择p型硅作为热敏电阻材料。TCR由硅片的掺杂浓度决定,使用了三种不同掺杂浓度的硅片进行对比实验,从而选定硅片的掺杂浓度为1×10^(17)cm^(-3),对应的TCR为3500×10^(-6)/℃。选择SOI作为衬底材料,显著增强了微热陀螺仪和微热加速度计的耐高温性,并且提高了其灵敏度。在电感耦合等离子体-反应离子刻蚀(ICP-RIE)和氢氟酸(HF)蒸气工艺过程中,通过光刻胶和聚酰亚胺层成功保护了非常薄和易碎的热敏电阻,在4英寸(1英寸=2.54 cm)SOI基板上一次最多可以成功制备出180个微热陀螺仪传感芯片和108个微热加速度计传感芯片,制备的微热加速度计传感芯片尺寸为2 mm×2 mm×0.4 mm,微热陀螺仪传感芯片尺寸为5.8 mm×5.8 mm×0.4 mm。分别对制备的微热加速度计和微热陀螺仪进行了测试,微热陀螺仪x轴灵敏度为0.107 mV/(°/s),y轴灵敏度为0.102 mV/(°/s),微热加速度计灵敏度为13 mV/g。通过一次工艺流程制备出两种热流体惯性传感器,极大地缩短了制备时间,降低了制备成本,成功实现了高精度的批量生产。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems) 微热加速度计 微热陀螺仪 绝缘体上硅(SOI)基板 热对流
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三轴数字MEMS加速度计现场标定方法 被引量:28
6
作者 彭孝东 张铁民 +1 位作者 李继宇 闫国琦 《振动.测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2014年第3期544-548,595,共5页
微机电系统(micro electro mechanical systems,简称MEMS)加速度传感器作为低成本惯性测量单元在物体姿态监测中有着广泛应用。根据三轴数字加速度传感器的输出数学模型,详细推导了如何计算数学模型中标度因数、安装误差系数以及零偏值... 微机电系统(micro electro mechanical systems,简称MEMS)加速度传感器作为低成本惯性测量单元在物体姿态监测中有着广泛应用。根据三轴数字加速度传感器的输出数学模型,详细推导了如何计算数学模型中标度因数、安装误差系数以及零偏值。提出一种基于长方体的六位置简单标定方法,对比三轴转台精确标定结果表明六位置简单标定法简单易行,精度较高,易于单片机实现,适合不具备三轴转台的场所,且该方法对MEMS三轴数字加速度计的校准具有很好的通用性。 展开更多
关键词 微机电系统 加速度计传感器 标定 转台
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基于MEMS加速度计的无陀螺惯导系统 被引量:19
7
作者 岳鹏 史震 +1 位作者 王剑 杨杰 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2011年第2期152-156,共5页
由于MEMS陀螺精度低、漂移大,使得MEMS陀螺和加速度计构成的微惯性导航系统(Micro-INS)的精度很低,导航定位误差发散很快,不能满足载体进行导航定位定姿的要求。而相对MEMS陀螺,MEMS加速度计精度较高,据此提出用MEMS加速度计来构成的无... 由于MEMS陀螺精度低、漂移大,使得MEMS陀螺和加速度计构成的微惯性导航系统(Micro-INS)的精度很低,导航定位误差发散很快,不能满足载体进行导航定位定姿的要求。而相对MEMS陀螺,MEMS加速度计精度较高,据此提出用MEMS加速度计来构成的无陀螺微惯性导航系统(Gyro Free Micro Inertial Navigation System,GFMINS),即通过将高精度的MEMS加速度计安放在载体非质心处,代替陀螺来测量载体角运动信息,实现在短时间内的载体角速度测量精度优于MEMS陀螺的精度,以满足某些短时间运行载体的导航定位定姿要求。最后,针对某型火箭弹的运动模型,对两种惯导系统进行了仿真,结果表明,由误差补偿后MEMS加速度计构成的无陀螺微惯导系统,在100 s内的导航误差等效于传统惯导系统中陀螺漂移0.1(°)/h的误差。 展开更多
关键词 mems 惯导系统 加速度计 无陀螺惯导系统 误差补偿
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MEMS高G值加速度传感器设计 被引量:8
8
作者 石云波 祁晓瑾 +1 位作者 刘俊 孟美玉 《系统仿真学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第16期4306-4309,共4页
针对特殊场合的测试需求,设计了四端全固支的高g值梁岛结构加速度传感器,结构中采用在质量块背部KOH腐蚀的方法,减轻质量块质量,且减小质量块质心与梁中心面的相对距离。利用力学计算与工艺相结合,确定了结构尺寸;通过Ansys软件对其进... 针对特殊场合的测试需求,设计了四端全固支的高g值梁岛结构加速度传感器,结构中采用在质量块背部KOH腐蚀的方法,减轻质量块质量,且减小质量块质心与梁中心面的相对距离。利用力学计算与工艺相结合,确定了结构尺寸;通过Ansys软件对其进行应力分析、模态分析,得到了结构的输出灵敏度与一阶固有频率;最后利用瞬态分析验证了该结构能够承受20,000g的瞬态冲击,符合设计要求。 展开更多
关键词 微机电系统 高G值 加速度传感器 仿真
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MEMS高量程加速度传感器的动态特性分析 被引量:14
9
作者 潘龙丽 石云波 +2 位作者 周智君 尚晓亮 刘俊 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第10期1392-1394,共3页
利用霍普金森杆激光干涉冲击试验台对实验室研发的MEMS高量程压阻式加速度传感器进行动态校准;采用两种不同解算方法对实验数据将进行分析处理,求解出该传感器的幅频特性,绘制了对数幅频特性曲线;通过对比两种算法的结果知道,镜像映射... 利用霍普金森杆激光干涉冲击试验台对实验室研发的MEMS高量程压阻式加速度传感器进行动态校准;采用两种不同解算方法对实验数据将进行分析处理,求解出该传感器的幅频特性,绘制了对数幅频特性曲线;通过对比两种算法的结果知道,镜像映射法优于FFT算法,其算法简单有效,能直接辨识出系统模型参数和模型阶次。 展开更多
关键词 mems(微电子机械系统) 高量程加速度计 动态特性 霍普金森杆 镜像映射法
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基于MEMS加速度传感器的飞行器倾角测量系统设计 被引量:18
10
作者 蒋海涛 郭战营 《计算机测量与控制》 CSCD 北大核心 2010年第1期107-109,共3页
根据MEMS加速度传感器的工作原理和特点,研究了一种基于MEMS三轴加速度传感器和C8051F352单片机的飞行器倾角测量系统的实现方法;介绍了倾角的测量原理及整体框架,重点阐述了系统的硬件电路设计和软件设计;该系统体积小、功耗低且可靠性... 根据MEMS加速度传感器的工作原理和特点,研究了一种基于MEMS三轴加速度传感器和C8051F352单片机的飞行器倾角测量系统的实现方法;介绍了倾角的测量原理及整体框架,重点阐述了系统的硬件电路设计和软件设计;该系统体积小、功耗低且可靠性高,可用于各类飞行器的倾角指示和测量。 展开更多
关键词 mems加速度传感器 飞行器 倾角指示系统
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机械故障信息监测MEMS高频加速度传感器 被引量:6
11
作者 赵玉龙 刘岩 孙禄 《振动.测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2012年第6期875-882,1031,共8页
结合机械故障信息监测的需求,将微机电系统(micro electro-mechanical system,简称MEMS)传感器技术引入到机械装备的振动测量中,介绍了压阻式MEMS加速度传感器的检测原理、结构设计、微加工工艺及其关键技术。以"小变形-大应力&qu... 结合机械故障信息监测的需求,将微机电系统(micro electro-mechanical system,简称MEMS)传感器技术引入到机械装备的振动测量中,介绍了压阻式MEMS加速度传感器的检测原理、结构设计、微加工工艺及其关键技术。以"小变形-大应力"为敏感结构设计思路,研制了梁膜结构、孔缝双桥结构以及复合多梁结构3种高频加速度传感器,以满足高速制造装备的振动信号监测对传感器的需求。通过静态、动态性能测试实验可以看出,3种结构均在一定程度上提升了传感器的测量性能,实际测振实验也说明所研制的MEMS加速度传感器具备了装备振动信号检测所需的功能。具有微型化、低成本以及可大规模生产潜力的MEMS传感器的发展为高端机械制造装备的发展提供了新的器件支持,推动主轴部件等的智能化、一体化发展。 展开更多
关键词 故障监测 微机电系统 加速度传感器 敏感结构 微加工
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MEMS压阻加速度传感器阻尼特性研究 被引量:7
12
作者 卞玉民 郑锋 何洪涛 《微纳电子技术》 CAS 2008年第8期466-469,479,共5页
研究了空气阻尼对MEMS压阻加速度传感器性能的影响,建立了传感器动力学模型和空气阻尼模型,分析了空气间隙大小与传感器阻尼系数的相互关系,通过控制空气间隙可以达到控制加速度传感器阻尼的目的。根据分析结果设计了三明治结构封装的... 研究了空气阻尼对MEMS压阻加速度传感器性能的影响,建立了传感器动力学模型和空气阻尼模型,分析了空气间隙大小与传感器阻尼系数的相互关系,通过控制空气间隙可以达到控制加速度传感器阻尼的目的。根据分析结果设计了三明治结构封装的传感器,应用有限元仿真软件,对传感器的应力和应变进行了仿真计算,完成传感器结构参数设计;采用MEMS体硅加工工艺和圆片级封装工艺,制作了MEMS压阻加速度传感器。测试结果表明,采用三明治结构封装形式,可以控制压阻加速度传感器的阻尼特性,为提高传感器性能提供了途径。 展开更多
关键词 微电机系统 压阻 加速度传感器 阻尼 圆片级封装
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基于MS3110电容读取芯片的MEMS加速度计 被引量:6
13
作者 刘民杰 刘云峰 +1 位作者 董景新 赵常德 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2010年第2期236-239,共4页
介绍了通用电容读取芯片MS3110的内部结构、基本原理及其使用方法,提出了采用单片机实现片内EEPROM编程的方法,并给出了读写控制框图。以梳齿式硅微传感器为敏感元件,采用滞后比例积分调节器,基于MS3110通用电容读取芯片设计了一种MEMS... 介绍了通用电容读取芯片MS3110的内部结构、基本原理及其使用方法,提出了采用单片机实现片内EEPROM编程的方法,并给出了读写控制框图。以梳齿式硅微传感器为敏感元件,采用滞后比例积分调节器,基于MS3110通用电容读取芯片设计了一种MEMS力平衡闭环加速度计。实验结果表明:设计的MEMS加速度计能够闭环正常工作并取得了一定的性能。 展开更多
关键词 mems加速度计 通用电容读取芯片 MS3110 闭环系统
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自适应MEMS加速度计滤波算法 被引量:14
14
作者 赵阳 娄小平 +1 位作者 刘锋 李伟仙 《传感器与微系统》 CSCD 2016年第11期120-122,127,共4页
简要分析了微机电系统(MEMS)加速度计使用模型中的噪声来源,介绍了一种自适应平滑滤波器的设计方法,通过增设滤波阈值来调节滤波系数,实现了对MEMS加速度数据的动态降噪处理。实验结果表明:自适应平滑滤波器能有效抑制加速度计输出信号... 简要分析了微机电系统(MEMS)加速度计使用模型中的噪声来源,介绍了一种自适应平滑滤波器的设计方法,通过增设滤波阈值来调节滤波系数,实现了对MEMS加速度数据的动态降噪处理。实验结果表明:自适应平滑滤波器能有效抑制加速度计输出信号中的高频噪声,滤波前噪声信号均方根误差为2.32×10^(-5)m/s^2,经过滤波后,噪声信号均方根误差为4.79×10^(-7)m/s^2,提高了加速度计的测量精度,取得了良好的滤波效果。 展开更多
关键词 微机电系统(mems)加速度计 自适应平滑滤波器 滤波系数 动态降噪
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基于MEMS加速度计的飞行器姿态指示系统研究 被引量:5
15
作者 尚晓星 蒋海涛 王传清 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第7期24-26,29,共4页
研究了一种基于MEMS加速度计的飞行器姿态指示系统的实现方法。给出了系统的原理与整体框架,重点阐述了系统的硬件电路和软件的设计。与传统姿态指示系统相比较,该系统体积小,功耗低。试验表明:该系统具有较高的可靠性,可用于需要进行... 研究了一种基于MEMS加速度计的飞行器姿态指示系统的实现方法。给出了系统的原理与整体框架,重点阐述了系统的硬件电路和软件的设计。与传统姿态指示系统相比较,该系统体积小,功耗低。试验表明:该系统具有较高的可靠性,可用于需要进行姿态控制的各类飞行器的姿态指示。 展开更多
关键词 mems加速度计 飞行器 姿态指示系统
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基于MEMS器件的倾角指示系统研究 被引量:5
16
作者 蒋海涛 冯文光 刘诗斌 《测控技术》 CSCD 北大核心 2010年第6期5-7,11,共4页
研究了一种基于MEMS加速度传感器的倾角指示系统,包括倾角指示系统的工作原理、硬件设计以及软件算法流程。与传统倾角仪相比较,该系统体积小、功耗低。试验结果表明该系统具有较高的可靠性,可用于指示需要进行姿态控制的各类飞行器的... 研究了一种基于MEMS加速度传感器的倾角指示系统,包括倾角指示系统的工作原理、硬件设计以及软件算法流程。与传统倾角仪相比较,该系统体积小、功耗低。试验结果表明该系统具有较高的可靠性,可用于指示需要进行姿态控制的各类飞行器的姿态。 展开更多
关键词 mems 加速度传感器 倾角指示系统
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基于MEMS加速度计的数字倾角测量仪的设计 被引量:16
17
作者 段晓敏 李杰 +1 位作者 刘文怡 沙承贤 《电子设计工程》 2009年第8期71-72,共2页
设计由MEMS加速度计与SoC型单片机C8051F040组合而成的一种新型数字倾角测量仪,通过对MEMS加速度计的输出信号进行调理和A/D采集,并且在获得数字信号后进行温度补偿,解算出倾角值并通过LCD1602显示。该倾角测量仪具有体积小、重量轻、... 设计由MEMS加速度计与SoC型单片机C8051F040组合而成的一种新型数字倾角测量仪,通过对MEMS加速度计的输出信号进行调理和A/D采集,并且在获得数字信号后进行温度补偿,解算出倾角值并通过LCD1602显示。该倾角测量仪具有体积小、重量轻、精度高的特性,可广泛应用于建筑、机械、道路、桥梁和地质勘探等重力参考系下测量倾角的场合。 展开更多
关键词 mems加速度计 倾角测量仪 单片机 误差补偿
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MEMS加速度计的误差补偿方法 被引量:6
18
作者 许鹏 陈琳 王娟 《微纳电子技术》 北大核心 2016年第7期467-472,共6页
温度误差和非线性误差是影响MEMS加速度计精度、限制其应用领域的两个重要因素。研究了国内外MEMS加速度计误差补偿方法,分析了MEMS加速度计的温度误差和非线性误差来源。为了消除一款50g量程的数字式MEMS加速度计的误差,采用分段线性... 温度误差和非线性误差是影响MEMS加速度计精度、限制其应用领域的两个重要因素。研究了国内外MEMS加速度计误差补偿方法,分析了MEMS加速度计的温度误差和非线性误差来源。为了消除一款50g量程的数字式MEMS加速度计的误差,采用分段线性拟合插值法进行了零偏温度补偿;同时采用基于预测模型的分段插值法对加速度计的非线性误差进行了校正。测试结果表明,经过补偿后,加速度计全温区(-40℃~60℃)零偏变化量从33.95mg提升到了1.02mg,标度因数温度系数从4.205×10^(-5)/℃提升到了0.74×10^(-6)/℃,满量程非线性度从1.010 022×10^(-2)提升到了1.479 9×10^(-4)。该方法算法简单,效果显著,适合于工程应用。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems) 加速度计 温度补偿 非线性补偿 插值法
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基于MEMS的微流体机械研究进展 被引量:18
19
作者 王沫然 李志信 《流体机械》 CSCD 2002年第4期23-28,共6页
介绍了近十年特别是近三年以来微流动系统研究的最新成果 ,具体介绍了新型微加速度计、微泵、微喷、微阀、微通道及微系统的结构、原理及应用情况 ,并对微流动系统研究中存在的问题和发展方向作了简述。
关键词 mems 微流动系统 微加速度计 微泵 微喷 微阀 微通道
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MEMS传感器现状及应用 被引量:101
20
作者 王淑华 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2011年第8期516-522,共7页
MEMS传感器种类繁多,发展迅猛,应用广泛。首先,简单介绍了MEMS传感器的分类和典型应用。其次,对MEMS压力传感器、加速度计和陀螺仪三种最典型的MEMS传感器进行了详细阐述,包括类别、技术现状和性能指标、最新研究进展、产品,及应用情况... MEMS传感器种类繁多,发展迅猛,应用广泛。首先,简单介绍了MEMS传感器的分类和典型应用。其次,对MEMS压力传感器、加速度计和陀螺仪三种最典型的MEMS传感器进行了详细阐述,包括类别、技术现状和性能指标、最新研究进展、产品,及应用情况。介绍MEMS压力传感器时,给出了国内外采用新型材料制作用于极端环境下压力传感器的研究情况。最后,从新材料、加工和组装技术方面对MEMS传感器的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems) 传感器 加速度计 陀螺仪 压力传感器
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