电子级磷酸研发现状及芯片级磷酸展望

由于液晶显示器(LCD)工业和半导体芯片工业在中国迅速普及,用于清洗和蚀刻的电子级磷酸的需求正在日益增加,对磷酸中金属离子含量的要求也越来越高,为满足中国对电子级磷酸的需求,此方向成为许多研究学者研究的重点。本文介绍了近年来电子级磷酸的研发现状,以及在LCD工业和半导体芯片工业的应用,并对芯片级磷酸进行了展望。