紫外光对聚合物表面微区域修饰诱导银选择性沉积制备微米级金属图案

采用波长为172nm的真空紫外光刻蚀技术(VUV)对清洗后的PET基片表面性质直接进行微加工,并在其表面上进行选择性无电解镀银处理。通过对紫外光照处理前后的PET基片进行水接触角测试、XPS测试,表征了PET基片在处理前后所具有的不同表面状态。将在真空条件下通过紫外光选择性刻蚀的的PET基片放在化学镀银液中,被还原出来的金属银颗粒就会沉积在PET基片上的被辐射区域。利用光学显微镜和场发射SEM观察镀银后PET基片表面的微银图案。结果表明:紫外光照可使PET基片表面改性,利用真空紫外光刻蚀技术(VUV)对PET基片表面进行区域选择性改性,就可以实现无电解电镀银在PET基片上的选择性沉积,一次性制备出保真性较好的微米级镀银图案。

聚甲基丙烯酸甲酯薄膜表面的亚微米级图案化

利用波长为172nm的真空紫外光刻蚀技术(Vacuum ultraviolet lithography,VUV)对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)薄膜的表面进行了图案化微加工,并采用扫描电镜和原子力显微镜对微图案化的PMMA膜的表面形貌进行了表征。此外,还通过跟踪测试真空紫外光照后PMMA膜表面随时间变化的水接触角研究了表面的亲疏水性。结果表明,利用该方法可以成功地在PMMA基材上一次性制备出保真度较好的亚微米级微流道,而且使微流道内表面具有稳定持久的亲水性。