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题名用于微电子制造的高速高精度运动系统关键技术
被引量:4
- 1
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作者
史长虹
汪劲松
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机构
清华大学深圳研究生院
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第3期37-39,66,共4页
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文摘
从机构设计、驱动方式、控制策略以及实时监测等方面对用于微电子制造的高速高精度运动系统关键技术进行综述。提出有待深入研究的方向:1)并联机构在系统中的应用;2)解决柔性结构振动问题的控制策略;3)用于实时动态全闭环控制模式的视觉伺服技术。
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关键词
微电子制造
高速
高精度
集成电路
运动系统
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Keywords
microelectronic manufacture, high speed, high precision, key technologies
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名超高加速宏微运动平台研发设计动态
被引量:1
- 2
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作者
马兵
张璐凡
吕彭民
聂福全
周强
刘永刚
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机构
长安大学道路施工技术与装备教育部重点实验室
河南卫华重型机械股份有限公司
山西潞安煤炭技术装备有限责任公司
河南工业大学机电工程学院
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出处
《机械设计》
CSCD
北大核心
2020年第S01期19-23,共5页
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基金
国家青年科学基金项目(51705132)
河南省科技厅自然科学项目(172102210215)
+1 种基金
河南省博士后基金和河南省教育厅自然科学项目(17A460008)
河南工业大学青年骨干教师培育计划项目
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文摘
随着微电子制造业装备对加速度和精度的要求的不断提高,宏微运动平台作为微电子制造业的关键设备,突破加速度和提高重复定位精度是宏微运动平台热点研究的核心问题。因此,面向超高加速超精密定位宏微运动平台的研发凸显的尤为重要。文中首先分析了宏微运动平台的国内外的研究现状。其次,针对加速度与重复定位精度之间存在的相对矛盾的研究基础上,对加速度与重复定位精度提升策略进行阐明。最后,阐述了超高加速宏微运动平台的研发关键技术与未来的发展方向,为进一步超高加速宏微运动平台的创新设计提供参考建议。
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关键词
微电子制造业
宏微运动平台
超高加速超精密定位
关键技术与发展方向
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Keywords
microelectronics manufacturing industry
macro-micro motion platform
ultra-high acceleration and ultra-precise positioning
the core technology and development direction
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分类号
TH703
[机械工程—精密仪器及机械]
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题名宏微定位平台运动切换减振问题研究态势
被引量:1
- 3
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作者
张揽宇
高健
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机构
广东工业大学机械装备制造与控制技术教育部重点实验室
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出处
《制造技术与机床》
北大核心
2014年第11期48-54,共7页
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基金
国家自然科学基金(U1134004)
国家重点基础研究发展计划(973计划)项目(2011CB013104)
+1 种基金
广东省高等学校科技创新重点项目(2012CXZD0020)
广东省战略性新兴产业专项(2012A080303004)
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文摘
高速高精密定位平台是微电子制造装备领域的核心部件,决定着微电子产品的性能与质量。近年来,宏微复合定位平台技术得到了快速发展,高速度与高精密度等性能不断提升,然而,运动切换环节的振动问题也日益凸显,成为制约宏微定位平台进一步发展的瓶颈。基于此,首先对当前国内外宏微定位平台及其运动切换环节振动问题的研究现状进行介绍,继而分别介绍与分析了宏微定位平台系统的机构形式、驱动方式、导轨及其他因素对运动切换环节振动问题的影响,最后对目前运动切换减振方法进行概述,重点提出基于压电陶瓷的新型减振方法,以期对未来宏微定位平台运动切换的减振研究提供一定的参考作用。
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关键词
微电子制造装备
宏微高速高精密定位平台
运动切换环节减振
压电陶瓷主动减振
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Keywords
microelectronics manufacturing equipment
macro-micro high-speed high-precision position platform
vibration damping in the positioning handover
active vibration damping based on PZT
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分类号
TB535.1
[理学—声学]
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