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Improvement of the spreading effect of atmospheric pressure microplasma jet treatment through shielding-gas-controlled focusing
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作者 吕栎 陈剑航 +5 位作者 汪加豪 王圣泉 李蒙 涂德浴 时礼平 王涛 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第9期85-97,共13页
The spreading effect of atmospheric pressure microplasma jets(APμPJ)on the surface of materials will increase the etching area,and controlling the diameter of the jet can improve the precision of surface treatment.In... The spreading effect of atmospheric pressure microplasma jets(APμPJ)on the surface of materials will increase the etching area,and controlling the diameter of the jet can improve the precision of surface treatment.In this work,a two-dimensional axisymmetric simulation model is established to analyze the effect of nitrogen(N_(2))shielding gas on helium(He)from gas dynamics.In addition,by etching the polyethylene terephthalate fllm,the relationship between the etching effect and aerodynamic analysis is verifled.The simulation results are similar to the experimental results,indicating that N2 shielding gas has a focusing effect which is related to the N_(2)flow rate,distance difference between the inner and outer tubes,and outer tube nozzle diameter.It is hoped that the results of this work can provide a certain reference for the use of shielding gas to control the jet flow of APμPJ. 展开更多
关键词 microplasma jet nitrogen shielding gas focusing effect gas dynamic
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大气压直流微等离子体射流研究 被引量:8
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作者 郑培超 王鸿梅 +4 位作者 李建权 韩海燕 徐国华 沈成银 储焰南 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期289-292,共4页
介绍了一种结构简单、制作方便的微米量级大气压等离子体射流。这种微等离子体射流由直流电源驱动,可在多种工作气体(如Ar,He,N2等)中实现大气压放电,产生高电流密度的辉光放电。为了确定微等离子射流产生的激发物种成分,测量了以Ar和N... 介绍了一种结构简单、制作方便的微米量级大气压等离子体射流。这种微等离子体射流由直流电源驱动,可在多种工作气体(如Ar,He,N2等)中实现大气压放电,产生高电流密度的辉光放电。为了确定微等离子射流产生的激发物种成分,测量了以Ar和N2为工作气体的等离子体发射光谱。利用发射光谱相对强度比值法测量了氩气微等离子体射流的电子激发温度。实验显示,其电子激发温度约为3000 K,这远低于大气压等离子体炬的电子激发温度。利用N2的二正带发射光谱得到微等离子体的振动温度约为2500K;利用其电学参数估算电子密度在1013cm-3量级。利用此微等离子体射流进行了普通打印纸表面处理的应用实验。结果显示,这种微等离子体射流能够明显的提高普通打印纸的亲水性。 展开更多
关键词 微等离子体射流 大气压 发射光谱
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ICP微等离子体射流在快速成形制造中的应用 被引量:1
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作者 张一川 杨宽 +1 位作者 李唤 朱晓东 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第14期178-182,共5页
本文开展了大气压甚高频感应耦合(ICP)微等离子体射流的特性与应用研究.在150 MHz甚高频,功率为90 W条件下获得温度高达上千度的温热等离子体射流,射流长度近3 cm.随着气流量的增加射流将呈现层流到湍流的转变,长度先增后减;而功率对于... 本文开展了大气压甚高频感应耦合(ICP)微等离子体射流的特性与应用研究.在150 MHz甚高频,功率为90 W条件下获得温度高达上千度的温热等离子体射流,射流长度近3 cm.随着气流量的增加射流将呈现层流到湍流的转变,长度先增后减;而功率对于射流长度的影响存在着一个上限,当等离子体吸收的能量与扩散损失的能量达到平衡时,射流长度将达到最大.利用这种ICP微等离子体射流进行了微尺寸金属铜的快速成形制造,得到了球冠状和柱状铜金属件.在扫描电子显微镜下观察到沉积物表面最小颗粒尺寸远小于铜粉颗粒;X射线衍射结果显示沉积物表面存在弱氧化物峰,这是沉积过程中空气被射流卷入所致. 展开更多
关键词 感应耦合微等离子体射流 微尺寸 金属快速成形
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使用微感应耦合等离子体射流源高速沉积类金刚石碳膜 被引量:1
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作者 孙刚 辛煜 卢春山 《苏州大学学报(自然科学版)》 CAS 2008年第1期60-64,共5页
提出了一种基于13.56MHz激发的微感应耦合等离子体射流源,含碳的等离子体射流在绕有水冷线圈的石英管中产生.激光拉曼光谱及紫外-可见光谱分别用以研究基片负偏压对所生长的非晶碳膜结构特征的影响.结果表明:碳基微等离子体射流具有很... 提出了一种基于13.56MHz激发的微感应耦合等离子体射流源,含碳的等离子体射流在绕有水冷线圈的石英管中产生.激光拉曼光谱及紫外-可见光谱分别用以研究基片负偏压对所生长的非晶碳膜结构特征的影响.结果表明:碳基微等离子体射流具有很强的活性,碳膜的生长速率高达0.8μm/min,但随着衬底负偏压的增加而降低;Raman光谱显示在1 350cm-1、1 580cm-1附近存在D峰、G峰,是典型的类金刚石碳膜;薄膜中碳主要以sp2、sp3碳及无序的聚合碳链形式存在,随偏压的增加,薄膜中聚物碳链结构被打断,分解形成sp2、sp3碳杂化态,Raman荧光本底减弱,sp2和sp3的含量之比增加,光学带隙呈现降低趋势. 展开更多
关键词 微感应耦合等离子体射流源 类金刚石薄膜 RAMAN光谱 光学带隙
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微等离子体喷枪及其应用 被引量:2
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作者 韩传余 吴瑜 王守国 《科技导报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第20期91-96,共6页
微等离子体喷枪是一类重要的微等离子体源,已成为近年国际上低温等离子体研究的热点课题之一。与常规等离子体喷枪相比,微等离子喷枪具有低功耗、低温度、高密度等特性。由于电极间隙小,适合于高气压或大气压下运行,因而微等离子体喷枪... 微等离子体喷枪是一类重要的微等离子体源,已成为近年国际上低温等离子体研究的热点课题之一。与常规等离子体喷枪相比,微等离子喷枪具有低功耗、低温度、高密度等特性。由于电极间隙小,适合于高气压或大气压下运行,因而微等离子体喷枪具有体积小、易于集成、便携等优势。目前研制的微等离子体喷枪主要有直流微空心阴极型、高频微DBD型、射频电容耦合型、射频电感耦合型、微波耦合型等放电形式。现阶段,微等离子体喷枪已在半导体制造领域、生物医学领域、航天推进领域进入了实用化阶段。本研究组研究制作了高频微DBD和射频电容耦合型结构的喷枪,将其应用于光刻胶去胶、材料表面改性及微生物灭菌领域,并对喷枪的放电特性进行了研究。基于本研究组的实验研究,本文综述了已有的各种微等离子体喷枪,介绍了各种微等离子体喷枪的结构和工作原理,以及在不同领域的研究和应用状况。 展开更多
关键词 常压等离子体 微等离子体喷枪 微空心阴极放电 微介质阻挡放电
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