基于微型谐振腔的环形光探测器设计

提出了一种基于微型谐振腔的新型环形光探测器(MRPD),MRPD采用谐振腔和吸收腔分离的结构。MRPD避免了直波导与环形腔完全耦合时限制因子极低的问题,具有更强的可行性。导出了量子效率的表达式,分析了量子效率与谐振腔半径的关系及透射系数与光谱半高全宽(FWHM)的关系。

基于石墨烯-硅波导的微环光电探测器

本文提出了一种基于石墨烯-硅波导的微环光电探测器。该器件采用全通型微环谐振器作为基本单元,通过优化基于石墨烯-硅波导微环谐振器的结构参数,以满足临界耦合状态需求,用于增强石墨烯与光的相互作用,并利用电子束光刻、等离子体刻蚀、石墨烯转移以及电子束蒸发等工艺制备基于石墨烯-硅波导的微环光电探测器。实验结果表明,当在偏置电压为-0.1 V时,探测器的最佳响应度Rp=12.5μA/W。