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LIGA技术在医疗器械制备中的应用
被引量:
3
1
作者
章吉良
周勇
陈迪
《微细加工技术》
EI
1998年第3期63-71,共9页
文报道了近几年来 LIGA技术的改进 (如制备活动微结构和特殊形状侧壁以及与集成电路的准单元集成等 ) ,描述了用 L IGA技术制备的器件和微系统在医疗中的应用 ,包括微执行器、液体控制系统 (微泵和微阀 )、微光谱仪、光化学分析系统等。
关键词
LIGA技术
医疗器械
微光谱仪
光化学分析系统
下载PDF
职称材料
题名
LIGA技术在医疗器械制备中的应用
被引量:
3
1
作者
章吉良
周勇
陈迪
机构
上海交通大学信息存储研究中心
出处
《微细加工技术》
EI
1998年第3期63-71,共9页
文摘
文报道了近几年来 LIGA技术的改进 (如制备活动微结构和特殊形状侧壁以及与集成电路的准单元集成等 ) ,描述了用 L IGA技术制备的器件和微系统在医疗中的应用 ,包括微执行器、液体控制系统 (微泵和微阀 )、微光谱仪、光化学分析系统等。
关键词
LIGA技术
医疗器械
微光谱仪
光化学分析系统
Keywords
LIGA process
medical devices and systems
microspectrograph
optochemical analysis system
分类号
TH770.6 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
LIGA技术在医疗器械制备中的应用
章吉良
周勇
陈迪
《微细加工技术》
EI
1998
3
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