集成光波导微应力传感器研究

在外力作用下,LiNbO3晶体内部产生微应力,引起波导的长度和折射率发生变化,从而使光波导中的光产生相位变化。基于此研究了一种Mach-Zehnder干涉仪型悬臂梁式光波导微应力传感器,分析了它的基本工作原理,并计算出施加外力与相位差之间的线性关系,确定了微应力传感器的灵敏度和量程,最后分析了它的弯曲损耗。