Fabrication and Simulation of an Electromagnetic Microrelay

The fabrication and simulation of an electromagnetic microrelay are presented based on micro electromechanical systems (MEMS) technique.The microrelay dimensions of about 4mm×4mm×0 5mm are fabricated with the common technique of micromachining.Compared with the traditional relays,a planar coil is substituted for a solenoid coil to favor the MEMS fabrication.Moreover,a bi supporter cantilever beam with high sensitivity is fabricated to act as the movable electrode of the microrelay.Theoretical calculations and simulations are also carried out with respect to the electromagnetic force yielded by the exciting electromagnetic coil.The structure and parameters concerning the electromagnetic microrelay can be optimized using the results.

CRH380A型动车组边门微动开关故障研究

CRH380A型动车组发生的边门故障中电路故障类型越来越多,特别是电路方面的微动开关故障。同时由于边门设备在电路控制方面的复杂性及安全性,出现电路方面的故障时我们均需要通过长时间的原理分析和故障查找来解决问题,很大程度上延误了车组出库的时间。为了降低由于微动开关故障等原因带来的影响,及提高动车组检修库内边门检查维修率,针对边门电路中的微动开关进行分析。通过分析CRH380A型动车组边门微动开关组成及电路控制原理,提出相应的改进方案。改进后微动开关故障率明显降低,保障了行车安全。

MEMS微继电器及其关键问题研究现状

通讯等应用领域微型化的需求和微机械加工技术的进步推动了基于微机电系统(MEMS)技术的微继电器的快速发展。介绍了国外MEMS微继电器的研究现状,分析了不同类型MEMS微继电器的特点,讨论了MEMS微继电器的基本结构特征和关键问题,并分析了MEMS微继电器的发展趋势和面临的挑战。

一种微开关悬臂梁的静力变形分析模型及其应用

建立一种微开关悬臂梁的静力变形分析模型,该模型将微开关悬臂梁的受力变形分为三个阶段,受电场力作用的悬臂梁阶段,受电场力作用的一端固支、另一端铰支的单跨梁阶段以及受电场力和集中力联合作用而保持自由端有指定的位移和零转角阶段。第二阶段中铰支端支反力的大小以及第三阶段中集中力的大小和作用位置均与电场力的驱动电压有关;同时文中将求解微开关悬臂梁挠度的高阶微分方程问题转化为含有未知初始条件的一阶微分方程组问题。在实例中,设计一种求解未知初始条件的迭代方法,并给出部分计算结果,从中可得出一些有益的结论。

UV-LIGA技术制造微型电磁继电器的初步研究

详细阐述了一种微型电磁继电器的设计和初步研制过程。该微继电器主要由电极、悬臂梁结构和电磁线圈组成。设计过程中考虑了微继电器打开、闭合时电磁力、静电力和悬臂梁回复力之间的制约关系,即微继电器打开时悬臂梁回复力应大于接触部位的静电力;闭合时电磁力应大于悬臂梁的回复力。从而推算出电磁线圈的安匝数和悬臂梁结构尺寸的合理范围并选定了合适的参数,用UV-LIGA技术初步制作了这种微型电磁继电器的主要部分。

微动开关静、动态过程与电接触过程综合模型及其模拟

以微动开关作为机电元件的典型代表，通过构造其速动机构静态、动态全过程和接触系统全过程有限元模型，并以动态模型为桥梁，将静、动态过程与电接触过程这三类不同问题联为一体，构造了综合模型，仍以ＡＫ型微动开关为例。

一种使用平面线圈结构的微型电磁继电器

本文介绍一种采用平面线圈结构的微型电磁继电器的制造工艺和理论分析。这种继电器的大小大约是 4mm× 4mm× 0 .5mm ,工艺比较简单 ,主要采用光刻、蒸镀、电镀和腐蚀牺牲层等普通的微加工技术来完成全部制作工艺。因此可以大大地降低继电器的生产成本、物理尺寸和制造的复杂性。另外 ,还进行了一些有关线圈通过激励电流后对活动电极产生电磁力的理论计算和仿真 。

微机械继电器的研究及进展

对静电驱动微继电器、热驱动微继电器和电磁驱动微继电器的驱动原理和特点分别进行了分析, 介绍了国内外具有代表性的几种微继电器的结构、制作工艺、关键部件的尺寸, 并探索了静电驱动、热驱动和电磁驱动微继电器的发展前景。

一种新型双稳态微机电系统电磁微继电器的研制

介绍了一种基于微机电系统(MEMS)技术的新型双稳态电磁微继电器的设计及其制作工艺,并对其主要性能进行了测试.利用换向脉冲电流驱动高效的“三明治”式电磁驱动结构,带动电接触刷的运动来控制外电路的通断;辅助设计的永磁稳定结构使器件在脉冲间歇能够保持稳定状态而无需额外功耗.测试结果表明,这种新型电磁微继电器具有体积小,功耗低,响应速度快,接触电阻小等优点.

新型微型继电器用Cu/Pd_(60)复合弹性触点材料

制备了新型微型继电器用Cu/Pd60复合弹性触点材料,研究了材料的组织结构,测试了其电学、力学等性能。实验表明,此Cu/Pd60复合材料作为微型继电器弹性触点材料,具有高弹性模量(128.8GPa)、低电阻率(3.28μΩ·cm)和低接触电阻,装机后其使用寿命≥105次,可在某些使用中取代原用的AgMgNi合金和PdAgCuAuPtZn六元合金,是一种达到国内外同类产品先进指标的新型中功率密封微型继电器弹性触点材料。

具有隔离结构的横向接触式体硅微机械继电器

介绍了一种横向接触式体硅微机械继电器。这种继电器采用硅 玻璃键合及深刻蚀(DRIE)工艺加工 ,并利用多晶硅填槽形成隔离结构。继电器采用静电激励 ,横向驱动。分析了继电器静电激励的阈值电压 ,介绍了一种在有限元仿真工具ANSYSTM 下用降解模型 (ROM)分析阈值电压的方法 。

静电型微继电器的设计与研究

静电型微继电器采用静电致动原理,以静电力作为触点吸合的驱动力。在分析纵向静电型微继电器工作原理和Pull-in模型的基础上,给出了当前国内外典型的静电型继电器结构,阐述了这些微继电器的技术特点、制造工艺及其主要性能参数。对静电型继电器触点的材料选取及其性能进行比较分析。分析了静电型继电器实用化存在的主要技术难题和进一步研究可能的方向。

表面粘连效应对接触式微开关接触电阻的影响

建立了一个微开关接触电阻模型.模型将粗糙的触头表面理想化为多微丘结构,并考虑了表面粘连效应,给出了接触电阻与接触力之间的变化关系.结果显示,在低接触力下,粘连效应十分重要.粘连模型与Majumder等人所建立的模型以及实验值的比较结果表明,粘连效应可以用来解释弹性模型与实验之间的偏差.

一种新型信号调理电路的设计

介绍一种能对各种不同的标准信号、非标准信号进行采集的通用电路。采用一种很新颖的设计方法,在不改变硬件情况下,使用软件进行简单的设定,通过单片机完成对光继电器的控制及数字电位器的调节从而实现对不同信号的采集。

微电磁继电器的结构设计和仿真分析

介绍一种微电磁继电器的结构和工作原理。应用ANSYS软件对这种微继电器的蟹脚型悬臂梁进行静力学和动力学性能分析,得到结构参数对其机械性能影响的关系曲线,初步确定该结构的模型。仿真结果表明,在工况相同的情况下,它的最大位移量随梁厚、梁宽的增大而减小,随梁胫、梁股的增大而增大,一阶模态频率随这些参数的变化正好相反。此法也适于对其它类型悬臂梁的分析。

一种微型电磁继电器的制作和仿真

介绍一种基于MEMS技术的微型电磁继电器的制造工艺和仿真过程。这种微继电器主要由平面方形线圈、固定电极和活动电极构成 ,依靠线圈的激励电流来控制其开关动作。微继电器的大小约是 4mm× 4mm× 0 .5mm ,工艺比较简单 ,主要采用光刻、蒸镀、电镀和腐蚀牺牲层等普通的微加工技术来完成。另外 ,还进行了有关激励线圈对活动电极所产生电磁力的理论计算和仿真 。

微型继电器与硅材料

第十五届阿尔贝特 凯尔 电接触研讨会 讨论了信息技术进步中微型开关的研究发展情况。其中微型继电器由于采用硅材料作驱动元件而使继电器进一步微型化。本文简要介绍新的微驱动器构造原理和制造工艺 ,以及硅微型开关与其它微型开关的比较。

微电磁继电器磁场和力学性质模拟研究

运用有限元分析ANSYS和Mathematica软件对平面线圈的电磁场分布、悬臂梁与固定电极之间的电磁力、悬臂梁应力分布和受力形变等进行了理论分析和仿真模拟,为线圈结构、悬臂梁位置、悬臂梁与线圈距离的设计提供理论依据.

微型继电器的研究现状及进展

通过对微型继电器研究历史和现状的回顾和研究，对静电型和电磁型微继电器的结构进行了分析和探讨，提出了继电器研究中存在的问题及解决对策。

微继电器在煤矿机械中研究现状和发展趋势

介绍国内外MEMS微继电器的研究现状,分析不同类型继电器的驱动原理和特点,讨论MEMS微继电器的基本结构特点和关键问题,并分析MEMS微继电器的发展趋势。