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关于超小尺寸器件的等效标准漏率判据的讨论
1
作者
肖汉武
李阳
《真空与低温》
2024年第6期616-622,共7页
对于内空腔容积小于0.01 cm^(3)的超小尺寸密封器件,在器件贮存期内环境气氛对其内部水汽含量的影响尤为明显,在较短的储存期内水汽含量有可能超过2%,并趋于饱和,无法满足0.5%的规范要求。在进行氦气背压法检漏时,还存在器件候检阶段测...
对于内空腔容积小于0.01 cm^(3)的超小尺寸密封器件,在器件贮存期内环境气氛对其内部水汽含量的影响尤为明显,在较短的储存期内水汽含量有可能超过2%,并趋于饱和,无法满足0.5%的规范要求。在进行氦气背压法检漏时,还存在器件候检阶段测量漏率快速下降的问题。讨论了超小尺寸器件密封试验的等效标准漏率判据不足问题,提出了相应的密封性评价方法。
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关键词
超小尺寸器件
等效标准漏率
最小理论漏率
泄漏时间常数
严酷等级
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职称材料
密封器件压氦和预充氦细检漏的等效标准漏率上限
被引量:
6
2
作者
薛大同
肖祥正
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第8期721-729,共9页
利用经典的分子流、黏滞流、过渡流流导公式及圆管分子流流导几率的精确数值解,对21世纪数篇文献呈现的漏孔流导随上游压力变化关系曲线进行了分析,并将密封器件的漏孔简化为长圆管,得出了以下结论:从流量角度观察气流是否偏离分子流状...
利用经典的分子流、黏滞流、过渡流流导公式及圆管分子流流导几率的精确数值解,对21世纪数篇文献呈现的漏孔流导随上游压力变化关系曲线进行了分析,并将密封器件的漏孔简化为长圆管,得出了以下结论:从流量角度观察气流是否偏离分子流状态是非常不灵敏的,因此可以认为,如果上游压力不超过1×105Pa,对于等效标准漏率L<1.4 Pa.cm3/s的漏孔,气流大致处于分子流状态;当任务允许的L最大值Lmax 14 Pa.cm3/s时,不论L的值是大是小,均不必考虑气流是否偏离分子流状态;仅在压氦法的压氦阶段,当Lmax和L均接近1.4 Pa.cm3/s时,从流量角度气流会处于黏滞流状态,导致合格判据偏保守;而在压氦法的其他阶段和预充氦法各阶段,只要L<1.4 Pa.cm3/s,气流均处于分子流状态。从而证明对于密封器件氦质谱细检漏而言,Lmax取1.4 Pa.cm3/s可以满足气流处于分子流状态的要求,且该值大于粗检的下限。
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关键词
氦质谱检漏仪
检漏
密封器件
等效标准漏率
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职称材料
基于二氧化碳传感器的气密性检测方法
3
作者
赵亚林
王学影
郭斌
《中国测试》
CAS
北大核心
2015年第10期30-33 62,62,共5页
针对当前工业上泄漏检测方法存在检测精度低、成本高等缺点,设计一种微量泄漏检测方法。该方法利用二氧化碳气体作为示踪物质,充满纯二氧化碳气体的被测件通过标准漏孔产生泄漏,气体进入检测容器中,通过二氧化碳气敏传感器测量检测容器...
针对当前工业上泄漏检测方法存在检测精度低、成本高等缺点,设计一种微量泄漏检测方法。该方法利用二氧化碳气体作为示踪物质,充满纯二氧化碳气体的被测件通过标准漏孔产生泄漏,气体进入检测容器中,通过二氧化碳气敏传感器测量检测容器内二氧化碳浓度的变化得到微量气体泄漏的泄漏率。与工业生产中传统的气密性检测方法相比,该方法在提高准确度的同时保证测试的准确性,并且能降低成本。试验结果表明:该检测方法测试的准确性不受温度和湿度变化的影响;在不同压力测试条件下,实测值与标准漏孔参考值误差<3%,验证方法的准确性;在相同压力测试条件下,测试结果相对标准偏差<5%,实验重复性良好。
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关键词
微量气体泄漏
二氧化碳气体
浓度差
标准漏孔
等效漏率
测量准确度
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职称材料
基于标准漏孔比对法的漏率测量装置
被引量:
2
4
作者
王魁波
罗艳
吴晓斌
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第7期491-496,共6页
针对真空密封件的密封性能评估,采用了基于标准漏孔比对的漏率测量方法,具体包括动态比对法和静态累积比对法,通过四极质谱仪比较标准漏孔和密封件流出气体产生的离子流,利用标准漏孔的已知漏率和四极质谱离子响应的线性外推,计算密封...
针对真空密封件的密封性能评估,采用了基于标准漏孔比对的漏率测量方法,具体包括动态比对法和静态累积比对法,通过四极质谱仪比较标准漏孔和密封件流出气体产生的离子流,利用标准漏孔的已知漏率和四极质谱离子响应的线性外推,计算密封件的漏率。研制了一套密封件的漏率测量装置,装置极限真空可达10^(-7)Pa量级,漏率测量范围为:10^(-7)-10^(-14)Pa·m~3/s,可用于具有检漏接口的各类密封件的漏率测试。采用该装置的两种方法分别进行不锈钢刀口密封件的漏率测试。结果表明:动态比对法对该不锈钢刀口密封件的漏率测试误差较大,低于10^(-11)Pa·m~3/s量级的极低漏率密封件更适合采用静态累积比对法进行测试。
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关键词
漏率测量
比对法
标准漏孔
四极质谱仪
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职称材料
基于最小阻抗测量的雾化片最佳谐振频率的确定
被引量:
1
5
作者
朱庭旺
任晓明(指导)
《上海电机学院学报》
2021年第3期142-148,161,共8页
谐振频率是超声雾化片的重要参数,当雾化片在最佳谐振频率工作时其振动效果最好。雾化片谐振频率出厂参数具有±5 kHz的误差范围,需要确定雾化片的最佳谐振频率。通过搭建最小阻抗测量实验,对医疗雾化器雾化片和加湿器雾化片的最佳...
谐振频率是超声雾化片的重要参数,当雾化片在最佳谐振频率工作时其振动效果最好。雾化片谐振频率出厂参数具有±5 kHz的误差范围,需要确定雾化片的最佳谐振频率。通过搭建最小阻抗测量实验,对医疗雾化器雾化片和加湿器雾化片的最佳谐振频率进行探究。雾化片等效模型参数的确定对于雾化片的驱动电路设计具有关键性的作用。通过两种雾化片最佳谐振频率研究,得到的两种雾化片等效模型参数,有助于雾化片驱动电路的设计。通过激光粒度仪和电子秤对两种雾化片工作时雾化颗粒粒径和雾化速率分别进行检测,验证最小阻抗测量实验确定的雾化片最佳谐振频率的准确性。通过实验,用于医疗雾化器雾化片的最佳谐振频率为110 kHz,加湿器雾化片的最佳谐振频率为113 kHz。
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关键词
谐振频率
最小阻抗测量
等效模型参数
雾化颗粒粒径
雾化速率
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职称材料
光学检漏的试验时间问题
被引量:
1
6
作者
肖汉武
《真空与低温》
2021年第6期564-571,共8页
光学检漏(OLT)是一种新型的密封器件检漏技术。该方法的最小可检测等效标准漏率在封装盖板刚度和腔体体积确定的情况下,与试验时间及试验腔室的压力密切相关。本文重点讨论盖板刚度与试验时间的相关性,并给出了各种腔体体积下为确保足...
光学检漏(OLT)是一种新型的密封器件检漏技术。该方法的最小可检测等效标准漏率在封装盖板刚度和腔体体积确定的情况下,与试验时间及试验腔室的压力密切相关。本文重点讨论盖板刚度与试验时间的相关性,并给出了各种腔体体积下为确保足够的检漏灵敏度所必需的最短试验时间。
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关键词
光学检漏
试验时间
盖板刚度
最小可检测等效标准漏率
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职称材料
关于氦质谱检漏固定方法的几点讨论
被引量:
2
7
作者
肖汉武
蒋玉齐
《真空与低温》
2020年第6期442-448,共7页
GJB548B-2005方法1014.2密封试验中的固定方法根据器件内腔体积划分5档体积范围,由于划分不够细致,对于某些内腔体积,其拒收极限值R1所对应的等效标准漏率L存在偏松问题,因此对于部分微小漏率器件存在漏检的风险。此外固定方法中的最小...
GJB548B-2005方法1014.2密封试验中的固定方法根据器件内腔体积划分5档体积范围,由于划分不够细致,对于某些内腔体积,其拒收极限值R1所对应的等效标准漏率L存在偏松问题,因此对于部分微小漏率器件存在漏检的风险。此外固定方法中的最小加压压力310 kPa对于大尺寸陶瓷封装而言,有可能导致盖板凹陷、密封损伤等问题。本文分析了现有标准中固定方法和灵活方法的等效标准漏率差异以及大尺寸腔体的加压问题,提出了降压检漏建议。
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关键词
氦质谱检漏
等效标准漏率
固定方法
灵活方法
陶瓷封装
降压检漏
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职称材料
630MW超临界直流锅炉空预器漏风率测量试验研究
8
作者
闻瑞士
《上海节能》
2021年第9期1015-1019,共5页
某火电厂630 MW超临界机组在大修时对锅炉空预器进行了柔性密封节能改造。设计基于国家相关标准中空预器漏风率测量试验研究方案。介绍了试验目的、试验方法、试验过程及最终试验数据处理,得出空预器的漏风率,为业内同类型预热器密封件...
某火电厂630 MW超临界机组在大修时对锅炉空预器进行了柔性密封节能改造。设计基于国家相关标准中空预器漏风率测量试验研究方案。介绍了试验目的、试验方法、试验过程及最终试验数据处理,得出空预器的漏风率,为业内同类型预热器密封件改造提供借鉴。
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关键词
国标
空预器
漏风率
测量
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职称材料
题名
关于超小尺寸器件的等效标准漏率判据的讨论
1
作者
肖汉武
李阳
机构
中国电子科技集团公司第五十八研究所
无锡中微高科电子有限公司
出处
《真空与低温》
2024年第6期616-622,共7页
基金
国家重点研发计划项目(2021YFB3202703)。
文摘
对于内空腔容积小于0.01 cm^(3)的超小尺寸密封器件,在器件贮存期内环境气氛对其内部水汽含量的影响尤为明显,在较短的储存期内水汽含量有可能超过2%,并趋于饱和,无法满足0.5%的规范要求。在进行氦气背压法检漏时,还存在器件候检阶段测量漏率快速下降的问题。讨论了超小尺寸器件密封试验的等效标准漏率判据不足问题,提出了相应的密封性评价方法。
关键词
超小尺寸器件
等效标准漏率
最小理论漏率
泄漏时间常数
严酷等级
Keywords
super-small-size devices
equivalent
standard
leak
rate
minimum
theoretical
leak
rate
time constant of
leak
age
severity
分类号
TB774 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
密封器件压氦和预充氦细检漏的等效标准漏率上限
被引量:
6
2
作者
薛大同
肖祥正
机构
兰州空间技术物理研究所真空低温技术与物理重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第8期721-729,共9页
文摘
利用经典的分子流、黏滞流、过渡流流导公式及圆管分子流流导几率的精确数值解,对21世纪数篇文献呈现的漏孔流导随上游压力变化关系曲线进行了分析,并将密封器件的漏孔简化为长圆管,得出了以下结论:从流量角度观察气流是否偏离分子流状态是非常不灵敏的,因此可以认为,如果上游压力不超过1×105Pa,对于等效标准漏率L<1.4 Pa.cm3/s的漏孔,气流大致处于分子流状态;当任务允许的L最大值Lmax 14 Pa.cm3/s时,不论L的值是大是小,均不必考虑气流是否偏离分子流状态;仅在压氦法的压氦阶段,当Lmax和L均接近1.4 Pa.cm3/s时,从流量角度气流会处于黏滞流状态,导致合格判据偏保守;而在压氦法的其他阶段和预充氦法各阶段,只要L<1.4 Pa.cm3/s,气流均处于分子流状态。从而证明对于密封器件氦质谱细检漏而言,Lmax取1.4 Pa.cm3/s可以满足气流处于分子流状态的要求,且该值大于粗检的下限。
关键词
氦质谱检漏仪
检漏
密封器件
等效标准漏率
Keywords
Helium mass spectrometer
leak
detector
leak
testing
Hermetically-sealed device
equivalent
standard
leak
age
rate
分类号
TB774.3 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
基于二氧化碳传感器的气密性检测方法
3
作者
赵亚林
王学影
郭斌
机构
中国计量学院计测学院
出处
《中国测试》
CAS
北大核心
2015年第10期30-33 62,62,共5页
基金
浙江省公益性技术应用研究计划(2014C31105)
文摘
针对当前工业上泄漏检测方法存在检测精度低、成本高等缺点,设计一种微量泄漏检测方法。该方法利用二氧化碳气体作为示踪物质,充满纯二氧化碳气体的被测件通过标准漏孔产生泄漏,气体进入检测容器中,通过二氧化碳气敏传感器测量检测容器内二氧化碳浓度的变化得到微量气体泄漏的泄漏率。与工业生产中传统的气密性检测方法相比,该方法在提高准确度的同时保证测试的准确性,并且能降低成本。试验结果表明:该检测方法测试的准确性不受温度和湿度变化的影响;在不同压力测试条件下,实测值与标准漏孔参考值误差<3%,验证方法的准确性;在相同压力测试条件下,测试结果相对标准偏差<5%,实验重复性良好。
关键词
微量气体泄漏
二氧化碳气体
浓度差
标准漏孔
等效漏率
测量准确度
Keywords
trace gas
leak
CO2
concentration difference
standard
leak
equivalent
leak
rate
detection accuracy
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
基于标准漏孔比对法的漏率测量装置
被引量:
2
4
作者
王魁波
罗艳
吴晓斌
机构
中国科学院微电子研究所
出处
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第7期491-496,共6页
基金
国家自然科学基金项目(62071464)。
文摘
针对真空密封件的密封性能评估,采用了基于标准漏孔比对的漏率测量方法,具体包括动态比对法和静态累积比对法,通过四极质谱仪比较标准漏孔和密封件流出气体产生的离子流,利用标准漏孔的已知漏率和四极质谱离子响应的线性外推,计算密封件的漏率。研制了一套密封件的漏率测量装置,装置极限真空可达10^(-7)Pa量级,漏率测量范围为:10^(-7)-10^(-14)Pa·m~3/s,可用于具有检漏接口的各类密封件的漏率测试。采用该装置的两种方法分别进行不锈钢刀口密封件的漏率测试。结果表明:动态比对法对该不锈钢刀口密封件的漏率测试误差较大,低于10^(-11)Pa·m~3/s量级的极低漏率密封件更适合采用静态累积比对法进行测试。
关键词
漏率测量
比对法
标准漏孔
四极质谱仪
Keywords
leak
rate
measurement
Comparison method
standard
leak
Quadrupole mass spectrometer
分类号
TB74 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
基于最小阻抗测量的雾化片最佳谐振频率的确定
被引量:
1
5
作者
朱庭旺
任晓明(指导)
机构
上海电机学院电气学院
出处
《上海电机学院学报》
2021年第3期142-148,161,共8页
文摘
谐振频率是超声雾化片的重要参数,当雾化片在最佳谐振频率工作时其振动效果最好。雾化片谐振频率出厂参数具有±5 kHz的误差范围,需要确定雾化片的最佳谐振频率。通过搭建最小阻抗测量实验,对医疗雾化器雾化片和加湿器雾化片的最佳谐振频率进行探究。雾化片等效模型参数的确定对于雾化片的驱动电路设计具有关键性的作用。通过两种雾化片最佳谐振频率研究,得到的两种雾化片等效模型参数,有助于雾化片驱动电路的设计。通过激光粒度仪和电子秤对两种雾化片工作时雾化颗粒粒径和雾化速率分别进行检测,验证最小阻抗测量实验确定的雾化片最佳谐振频率的准确性。通过实验,用于医疗雾化器雾化片的最佳谐振频率为110 kHz,加湿器雾化片的最佳谐振频率为113 kHz。
关键词
谐振频率
最小阻抗测量
等效模型参数
雾化颗粒粒径
雾化速率
Keywords
resonance frequency
minimum
impedance measurement
equivalent
model parameters
the atomized particle size
atomization
rate
分类号
TB552 [理学—声学]
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职称材料
题名
光学检漏的试验时间问题
被引量:
1
6
作者
肖汉武
机构
中国电子科技集团公司第五十八研究所
出处
《真空与低温》
2021年第6期564-571,共8页
文摘
光学检漏(OLT)是一种新型的密封器件检漏技术。该方法的最小可检测等效标准漏率在封装盖板刚度和腔体体积确定的情况下,与试验时间及试验腔室的压力密切相关。本文重点讨论盖板刚度与试验时间的相关性,并给出了各种腔体体积下为确保足够的检漏灵敏度所必需的最短试验时间。
关键词
光学检漏
试验时间
盖板刚度
最小可检测等效标准漏率
Keywords
optical
leak
testing
test time
lid stiffness
minimum measurable equivalent standard leak rate
分类号
TB774 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
关于氦质谱检漏固定方法的几点讨论
被引量:
2
7
作者
肖汉武
蒋玉齐
机构
中国电子科技集团公司第五十八研究所
出处
《真空与低温》
2020年第6期442-448,共7页
文摘
GJB548B-2005方法1014.2密封试验中的固定方法根据器件内腔体积划分5档体积范围,由于划分不够细致,对于某些内腔体积,其拒收极限值R1所对应的等效标准漏率L存在偏松问题,因此对于部分微小漏率器件存在漏检的风险。此外固定方法中的最小加压压力310 kPa对于大尺寸陶瓷封装而言,有可能导致盖板凹陷、密封损伤等问题。本文分析了现有标准中固定方法和灵活方法的等效标准漏率差异以及大尺寸腔体的加压问题,提出了降压检漏建议。
关键词
氦质谱检漏
等效标准漏率
固定方法
灵活方法
陶瓷封装
降压检漏
Keywords
helium mass spectrum
leak
testing
equivalent
standard
leak
rate
fixed method of testing
flexible method of testing
ceramic package
depressurization and
leak
detection
分类号
TB774 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
630MW超临界直流锅炉空预器漏风率测量试验研究
8
作者
闻瑞士
机构
国能铜陵发电有限公司
出处
《上海节能》
2021年第9期1015-1019,共5页
文摘
某火电厂630 MW超临界机组在大修时对锅炉空预器进行了柔性密封节能改造。设计基于国家相关标准中空预器漏风率测量试验研究方案。介绍了试验目的、试验方法、试验过程及最终试验数据处理,得出空预器的漏风率,为业内同类型预热器密封件改造提供借鉴。
关键词
国标
空预器
漏风率
测量
Keywords
Chinese National
standard
Air Preheater
Air
leak
-age
rate
Measurement
分类号
TM621.2 [电气工程—电力系统及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
关于超小尺寸器件的等效标准漏率判据的讨论
肖汉武
李阳
《真空与低温》
2024
0
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职称材料
2
密封器件压氦和预充氦细检漏的等效标准漏率上限
薛大同
肖祥正
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
6
下载PDF
职称材料
3
基于二氧化碳传感器的气密性检测方法
赵亚林
王学影
郭斌
《中国测试》
CAS
北大核心
2015
0
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职称材料
4
基于标准漏孔比对法的漏率测量装置
王魁波
罗艳
吴晓斌
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022
2
下载PDF
职称材料
5
基于最小阻抗测量的雾化片最佳谐振频率的确定
朱庭旺
任晓明(指导)
《上海电机学院学报》
2021
1
下载PDF
职称材料
6
光学检漏的试验时间问题
肖汉武
《真空与低温》
2021
1
下载PDF
职称材料
7
关于氦质谱检漏固定方法的几点讨论
肖汉武
蒋玉齐
《真空与低温》
2020
2
下载PDF
职称材料
8
630MW超临界直流锅炉空预器漏风率测量试验研究
闻瑞士
《上海节能》
2021
0
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