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Large Aperture Mirror Surface Test
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作者 Hui Xing Ye Zhao Junru Song 《Optics and Photonics Journal》 2021年第8期387-393,共7页
<div style="text-align:justify;"> The large aperture mirror surface test is the basis of optical processing and alignment, and is also the key to the development of remote sensing device. The simulatio... <div style="text-align:justify;"> The large aperture mirror surface test is the basis of optical processing and alignment, and is also the key to the development of remote sensing device. The simulation results show that the RMS values of 1.07 m primary mirror with multi-point support and sling support are 1.86 nm and 3.28 nm respectively. Using 36 point unloading device, sponge 36 point free support and sling support to test the mirror surface, the results are basically consistent, RMS is better than 0.02λ (λ = 632.8 nm). </div> 展开更多
关键词 Large Aperture mirror Surface test SUPPORT
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变电站站控系统改造镜像闭环测试技术研究
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作者 尤小明 杨梅强 +1 位作者 周晓飞 李忠安 《自动化应用》 2024年第16期64-68,共5页
针对变电站站控系统改造停电难、停电调试验收时间短、人工验收慢且信息核对不全面等问题,设计了一种变电站站控系统改造镜像闭环测试系统。针对现场运行设备搭建镜像系统,采用横向镜像比对、纵向闭环验证的机制,以功能模块化的思路完... 针对变电站站控系统改造停电难、停电调试验收时间短、人工验收慢且信息核对不全面等问题,设计了一种变电站站控系统改造镜像闭环测试系统。针对现场运行设备搭建镜像系统,采用横向镜像比对、纵向闭环验证的机制,以功能模块化的思路完成变电站站控系统改造的自动测试,并自动生成标准化的测试结果报告。将现场人工验证环节提前移到所设计的镜像闭环测试系统中高效进行,可有效缩短现场停电时间,提前消除验证隐患,提高变电站的改造效率和质量。 展开更多
关键词 变电站 站控系统 镜像闭环测试系统 模块化组件
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镂空镜柄的气动声学优化及试验
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作者 庄严 周玮玮 +3 位作者 付杰 段孟华 高磊 王庆洋 《重庆理工大学学报(自然科学)》 CAS 北大核心 2024年第1期96-102,共7页
为了更好地体现后视镜的造型风格,某自主品牌在新车开发过程中,采用非常规的镂空镜柄设计。旨在通过仿真和风洞试验相结合的方法,对该后视镜镜柄的气动特性进行研究并优化,以降低车内驾驶员处的声学响应。经过仿真发现,原始镜柄造型存... 为了更好地体现后视镜的造型风格,某自主品牌在新车开发过程中,采用非常规的镂空镜柄设计。旨在通过仿真和风洞试验相结合的方法,对该后视镜镜柄的气动特性进行研究并优化,以降低车内驾驶员处的声学响应。经过仿真发现,原始镜柄造型存在严重的气流分离,并伴随严重的回旋涡流,对风噪非常不利,基于此提出2种优化方案,有效改善了镜柄处速度分布梯度和气流分离。试验结果表明:2种优化方案对声压级和语音清晰度有很好的改善效果,车内声压级分别降低0.21 dBA和0.18 dBA,语音清晰度均提高1.5%;与此同时,采用声学麦克风阵列成像准确定位到了啸叫所在部件和对应频段,通过改变表面粗糙度的方案,使优化方案二的贡献量进一步提升0.02 dBA和0.6%。研究结果不仅验证了该仿真方法在项目开发过程中的可信度,而且可为后视镜镂空镜柄的设计和优化提供参考依据。 展开更多
关键词 后视镜 镂空镜柄 气动噪声 风洞试验
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大口径空间非球面反射镜加工与检测技术研究
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作者 赵静 杨业 +3 位作者 薛卫涛 王鹏 于建海 秦扬 《科技创新与应用》 2024年第17期30-33,共4页
空间非球面反射镜在现代光学系统中发挥着重要作用,然而其复杂的曲率和大口径特性使得其加工和检测变得更加困难和复杂。该文研究当前大口径空间非球面反射镜加工与检测技术的最新进展和应用。通过对这些技术的研究,该文为提高大口径空... 空间非球面反射镜在现代光学系统中发挥着重要作用,然而其复杂的曲率和大口径特性使得其加工和检测变得更加困难和复杂。该文研究当前大口径空间非球面反射镜加工与检测技术的最新进展和应用。通过对这些技术的研究,该文为提高大口径空间非球面反射镜的加工和检测质量提供重要的参考和指导。 展开更多
关键词 大口径空间非球面反射镜 加工技术 检测技术 表面质量 加工质量
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基于ABAQUS的薄膜主镜设计及压差实验研究
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作者 付慧 胡艳凯 《机械设计与制造工程》 2024年第3期112-116,共5页
高分辨率空间成像技术是航天领域中获取空间信息的重要手段,具有非常广阔的应用前景。目前空间光学成像技术的发展方向集中在轻量化、高刚度、高分辨率等方面。从轻量化与高刚度角度出发,进行高空薄膜主镜的结构设计,在无限接近实际的... 高分辨率空间成像技术是航天领域中获取空间信息的重要手段,具有非常广阔的应用前景。目前空间光学成像技术的发展方向集中在轻量化、高刚度、高分辨率等方面。从轻量化与高刚度角度出发,进行高空薄膜主镜的结构设计,在无限接近实际的工作环境下设计了更优的参数化模型;对模型进行了多场耦合力学仿真分析,并设计了薄膜主镜的力学实验,结合仿真与实验结果进行对比分析,验证了薄膜结构仿真数据的可靠性。该研究结果对薄膜仿真分析具有指导意义,可为高空薄膜相机的研制与应用提供理论依据。 展开更多
关键词 薄膜主镜 多场耦合 压差实验
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Manufacturing of Lightweight Mirror 被引量:1
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作者 XIE Jing jiang,SONG Shu mei,WU Qing wen, HE Xin (Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130022, China) 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第5期474-477,共4页
Fabrication of the lightweight mirror is one of the key techniques for many large optical systems. CAD,CAM and CNC technologies are adopted in designing and manufacturing such mirrors in CIOMP. Better working efficien... Fabrication of the lightweight mirror is one of the key techniques for many large optical systems. CAD,CAM and CNC technologies are adopted in designing and manufacturing such mirrors in CIOMP. Better working efficiency and higher lightweight grade have been achieved. The results show that mirrors up to 70% weight reduction and 0.02λ(rms.) surface accuracy or better can be obtained. 展开更多
关键词 LIGHTWEIGHT mirrors POLISHING OPTICAL testing
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Therapeutic benefit of repetitive transcranial magnetic stimulation for severe mirror movements A case report 被引量:1
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作者 Han Sun Kim Sung Ho Jang +4 位作者 Zee-Ihn Lee Mi Young Lee Yun Woo Cho Migyoung Kweon Su Min Son 《Neural Regeneration Research》 SCIE CAS CSCD 2013年第6期569-574,共6页
Congenital mirror movements retard typical hand functions, but no definite therapeutic modality is available to treat such movements. We report an 8-year-old boy with severe mirror movements of both hands. His mirror ... Congenital mirror movements retard typical hand functions, but no definite therapeutic modality is available to treat such movements. We report an 8-year-old boy with severe mirror movements of both hands. His mirror movements were assessed using the Woods and Teuber grading scale and his fine motor skills were also evaluated by the Purdue Pegboard Test. A 2-week regimen of repetitive transcranial magnetic stimulation produced markedly diminished mirror movement symptoms and increased the fine motor skills of both hands. Two weeks after the completion of the regimen, mirror movement grades had improved from grade 4 to 1 in both hands and the Purdue Pegboard Test results of the right and left hands also improved from 12 to 14 or 13. These improvements were maintained for 1 month after the 2-week repetitive transcranial magnetic stimulation regimen. After 18 months, the mirror movement grade was maintained and the Purdue Pegboard test score had improved to 15 for the right hand while the left hand score was maintained at 13. This occurred without any additional repetitive transcranial magnetic stimulation or other treatment. These findings suggest that repetitive transcranial magnetic stimulation for this patient had a therapeutic and long-term effect on mirror movements. 展开更多
关键词 neural regeneration NEUROREHABILITATION clinical practice mirror movements Purdue Pegboard test hand transcranial magnetic stimulation hand function cortex suppression corticospinal tract grants-supported paper NEUROREGENERATION
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Fault Waveform Regenerator and Its Digital Closed-Loop Modification Technique
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作者 Xiaoming Sun 《Journal of Power and Energy Engineering》 2019年第2期14-26,共13页
In order to provide a novel and more effective alternative to the commonly used relay protection testing device that outputs only the sinusoidal testing signals, the concept of fault waveform regenerator is proposed i... In order to provide a novel and more effective alternative to the commonly used relay protection testing device that outputs only the sinusoidal testing signals, the concept of fault waveform regenerator is proposed in this paper, together with its hardware structure and software flow chart. Fault waveform regenerator mainly depends on its power amplifiers (PAs) to regenerate the fault waveforms recorded by digital fault recorder (DFR). To counteract the PA’s inherent nonlinear distortions, a digital closed-loop modification technique that is different from the predistortion technique is conceived. And the experimental results verify the effectiveness of the fault waveform regenerator based on the digital closed-loop modification technique. 展开更多
关键词 Fault WAVEFORM REGENERATOR DIGITAL closed-loop MODIFICATION TECHNIQUE Power Amplifier Relay Protection testing Device
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轮廓仪法测量大镜面及纳精度表面轮廓仪研发
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作者 李剑白 钱石南 +1 位作者 李小芸 Mourad Idir 《江西科学》 2023年第4期736-739,共4页
指出了表面轮廓仪法检测大尺寸光学反射镜的重要意义,论述高精度表面轮廓仪系列分类。新的第3代表面轮廓仪NSP研发解决了较深弯曲反射镜的超高精度测试难题。当ELCOMAT 3000/10自准直仪在50 mm固定距离精密较正后,NSP即可能达到50 nrad ... 指出了表面轮廓仪法检测大尺寸光学反射镜的重要意义,论述高精度表面轮廓仪系列分类。新的第3代表面轮廓仪NSP研发解决了较深弯曲反射镜的超高精度测试难题。当ELCOMAT 3000/10自准直仪在50 mm固定距离精密较正后,NSP即可能达到50 nrad rms检测精度。 展开更多
关键词 表面轮廓仪 大尺寸反射镜测试 纳精度 第3代表面轮廓仪
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大口径望远镜镜面视宁度检测方法综述 被引量:1
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作者 朱嘉康 安其昌 杨飞 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2023年第2期257-274,共18页
望远镜分辨率和集光能力与其口径成正比。随着人类对于望远镜分辨力要求的日渐严格,望远镜的镜面尺寸也在不断的增加。镜面尺寸的不断加大,使镜面视宁度变得越来越重要。镜面视宁度主要是指由于镜面表面的湍流所导致的像质下降。当镜面... 望远镜分辨率和集光能力与其口径成正比。随着人类对于望远镜分辨力要求的日渐严格,望远镜的镜面尺寸也在不断的增加。镜面尺寸的不断加大,使镜面视宁度变得越来越重要。镜面视宁度主要是指由于镜面表面的湍流所导致的像质下降。当镜面尺寸超过当地大气湍流尺度时,就不得不考虑这一因素对于成像或者加工的影响。系统的工作环境在一定程度上会影响镜面视宁度,所以镜面视宁度对于集成检测过程也有重要的意义。因此,为了提高镜面加工的面形精度,检测系统的集成效果,必须精确测量仪器的镜面视宁度,从而为其加工检测和应用集成提供判断。文中从原理、研究现状以及在镜面视宁度上的应用三个方面出发,阐述了一维检测(自准直仪法等)、二维检测(斜率/曲率法、全息波前传感法和剪切干涉法等)、三维检测(全息粒子测速法与温度场法等)。通过介绍面向不同场景与检测要求的检测方法,对镜面视宁度的检测具有很好的指导意义。 展开更多
关键词 镜面视宁度 湍流 检测方法 应用
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某SUV后视镜降噪设计与风洞试验验证 被引量:1
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作者 宋妙妍 周国成 +1 位作者 陈宏清 陈宝 《汽车工程》 EI CSCD 北大核心 2023年第4期681-689,707,共10页
为研究后视镜镜臂对其产生的气动噪声的影响,针对某SUV后视镜采用脱体涡(detached eddy simulation)方法分析其流场和近场噪声特性。通过改变镜臂外形设计了两种降噪模型,在航空工业气动院FL-53风洞开展了3个后视镜模型的气动噪声风洞... 为研究后视镜镜臂对其产生的气动噪声的影响,针对某SUV后视镜采用脱体涡(detached eddy simulation)方法分析其流场和近场噪声特性。通过改变镜臂外形设计了两种降噪模型,在航空工业气动院FL-53风洞开展了3个后视镜模型的气动噪声风洞试验。结果显示:通过改变镜臂周围曲率,能够减小涡的尺度,改变涡脱落的方向,降低后视镜尾流区域近场噪声,且风速会影响部分频段的降噪效果;从远场指向性看,3个后视镜在尾流区声压级较大,降噪模型没有改变远场指向性。 展开更多
关键词 后视镜 降噪效果 远场指向性 风洞试验
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冷镜式精密露点仪光电信号特征参数试验研究 被引量:1
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作者 高雅 王毅 +3 位作者 胡艳青 柴塬 李心怡 孟苏 《计测技术》 2023年第6期121-126,共6页
为了提高露点温度的测量准确度,寻找不同露点温度对应的最佳变化量,设计并进行了光电信号特征参数试验。使用自主研制的精密露点仪,调整不同的电压变化量对露点温度进行测量,将测量数据与MBW373型参考精密露点仪采集得到的数据进行对比... 为了提高露点温度的测量准确度,寻找不同露点温度对应的最佳变化量,设计并进行了光电信号特征参数试验。使用自主研制的精密露点仪,调整不同的电压变化量对露点温度进行测量,将测量数据与MBW373型参考精密露点仪采集得到的数据进行对比,并计算误差,得到-30~-10℃温度区间内的光电信号特征参数与露点温度对应的关系表,分析得出该温度区间的光电信号特征参数,证实了光电信号特征参数试验方案的可行性,为之后进一步研究露点测量过程提供了数据参考和理论支撑。 展开更多
关键词 湿度测量 冷镜式精密露点仪 光电信号特征参数试验 露点测量
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激光标线仪在构建光学镜面测试光路中的应用
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作者 季波 徐晨 汤瑾 《计量学报》 CSCD 北大核心 2023年第8期1163-1168,共6页
基于激光标线仪能够非接触式输出连续参考基准的特性,提出将激光标线仪应用于辅助构建光学镜面测试光路,分别研究了激光标线仪在平面镜测试、球面镜测试、Ritchey-Common法测试、非球面镜测试等测试光路构建中的作用以及在光路调整中的... 基于激光标线仪能够非接触式输出连续参考基准的特性,提出将激光标线仪应用于辅助构建光学镜面测试光路,分别研究了激光标线仪在平面镜测试、球面镜测试、Ritchey-Common法测试、非球面镜测试等测试光路构建中的作用以及在光路调整中的操作事项,总结了激光标线仪在空间定位、光轴校正中的特殊优势,讨论了激光标线仪误差对于测试的影响以及相应的修正措施,并通过实验比对验证了激光标线仪相比传统辅助测试设备的优势。研究表明用激光标线仪能替代传统的辅助对准调试设备和方法,对于不同类型的光学镜面测试均有很好的适应性。 展开更多
关键词 计量学 镜面测试 激光标线仪 光路 对准
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一种多波长多编码合束输出的新型激光源研究
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作者 郑雅文 陈国胜 +2 位作者 陈文建 胥浩 李武森 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2023年第5期632-638,共7页
为了模拟复杂条件下的激光威胁源,设计了一种基于多波长多编码合束输出的新型激光产生装置,用于检测相应的激光告警设备。采用3路波长分别为650 nm、808 nm和905 nm的激光,以STC8H单片机为核心构成编码模块,输出调制后的编码激光,通过... 为了模拟复杂条件下的激光威胁源,设计了一种基于多波长多编码合束输出的新型激光产生装置,用于检测相应的激光告警设备。采用3路波长分别为650 nm、808 nm和905 nm的激光,以STC8H单片机为核心构成编码模块,输出调制后的编码激光,通过二向分色镜将3路激光光束合成一束出射,进行了理论分析和实验验证。结果表明,合束的脉冲激光能量最高达到2.45 mJ,光束直径为6 mm,频率调制精度达到0.5 Hz,占空比调制精度达到0.1%;该装置能够实现携带不同编码信息的、不同波长的激光合束出射。该研究为激光告警设备提供了一种新的检测装置,对检测手段的改进有一定的参考意义。 展开更多
关键词 激光技术 激光告警检测 脉冲宽度调制 激光编码 多波长 多编码 二向色镜
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镜像神经元疗法对脑卒中后急性期失语症的疗效观察 被引量:1
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作者 任雨晴 周秋敏 +4 位作者 郭聪聪 彭丽君 丛芳 戚新雪 陆晓 《中国康复》 2023年第7期407-411,共5页
目的:探究镜像神经元疗法(MNST)对脑卒中后急性期失语症的临床疗效。方法:72例脑卒中后急性期失语症患者随机分为对照组、传统的言语-语言疗法组(SLT组)和MNST组,每组24例。3组患者均接受脑卒中后急性期内科治疗和常规护理,SLT组在此基... 目的:探究镜像神经元疗法(MNST)对脑卒中后急性期失语症的临床疗效。方法:72例脑卒中后急性期失语症患者随机分为对照组、传统的言语-语言疗法组(SLT组)和MNST组,每组24例。3组患者均接受脑卒中后急性期内科治疗和常规护理,SLT组在此基础上接受Schuell刺激法、交流效果促进法和强制诱导法等训练。MNST组在对照组基础上接受镜像神经元疗法。SLT组和MNST组每天训练1次,每次30min,每周5天,共2周。治疗前和治疗2周后,采用中文版语言障碍筛查测试(CLAST)和波士顿诊断性失语症检查法(BDAE)评定其失语症严重程度。结果:治疗前,3组患者CLAST各项评分及总分、BDAE分级的组间比较差异无统计学意义。治疗2周后,MNST组的CLAST各项评分和总分均明显高于治疗前(均P<0.05);且与SLT组和对照组治疗后相比,MNST组在命名、复述以及总分上都有所提高(均P<0.05)。此外,与SLT组和对照组治疗后相比,MNST组的BDAE分级也显著提高(均P<0.05)。结论:镜像神经元疗法可安全有效地改善脑卒中后急性期失语症患者的语言功能。 展开更多
关键词 镜像神经元疗法 卒中后失语症 脑卒中急性期 中文版语言障碍筛查测试
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大口径碳化硅材料凸非球面反射镜的检验 被引量:14
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作者 薛栋林 张忠玉 +1 位作者 郑立功 张学军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2491-2496,共6页
为了实现某大口径碳化硅材料凸非球面反射镜检验,研究了无像差点法以及补偿检验法方案。经过比较优选,确定选用补偿检验方案并专门设计了高精度大口径非球面补偿器,设计精度为PV:0.0082λ,RMS:0.0029λ(λ=632.8nm)。采用会聚光束,使用... 为了实现某大口径碳化硅材料凸非球面反射镜检验,研究了无像差点法以及补偿检验法方案。经过比较优选,确定选用补偿检验方案并专门设计了高精度大口径非球面补偿器,设计精度为PV:0.0082λ,RMS:0.0029λ(λ=632.8nm)。采用会聚光束,使用大口径数字干涉仪进行凸非球面正面检测,最终检测结果为0.022λ(RMS)。所述补偿器的设计方法和要求具有普遍性,设计结果也可用于同类型大口径凸非球面检验用补偿器的设计。采用该方法提高了凸非球面检测精度,并且在凸非球面镜的材料选择、结构设计、支撑方式等方面提供了更多的优化空间,为新型光学材料在凸非球面反射镜的应用奠定了基础。 展开更多
关键词 凸非球面镜 碳化硅反射镜 零位检验 补偿器设计
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1.2m微晶主镜的新型支撑 被引量:9
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作者 邵亮 赵勇志 +3 位作者 明名 吕天宇 刘昌华 王洪浩 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第10期2462-2470,共9页
针对1.2m微晶主镜,提出了基于6套柔性切向杆机构的侧向支撑与基于18点半柔性Whiffletree机构的轴向支撑相结合的新型主镜支撑方案,用于保证该主镜在较大温差范围以及不同俯仰角度下始终保持良好的面形精度及较高的系统刚度。分析了该机... 针对1.2m微晶主镜,提出了基于6套柔性切向杆机构的侧向支撑与基于18点半柔性Whiffletree机构的轴向支撑相结合的新型主镜支撑方案,用于保证该主镜在较大温差范围以及不同俯仰角度下始终保持良好的面形精度及较高的系统刚度。分析了该机构的工作原理,实验测试了主镜的面形精度及支撑系统的模态。机构分析表明该支撑方式可有效保证主镜定位精度和面形精度,并具有热解耦能力;有限元分析确认系统具有良好的支撑性能;面形精度检测得出主镜光轴垂直面形精度RMS达15.25nm,光轴水平面形精度RMS为20.75nm,模态测试则获得主镜支撑系统的一阶固有频率为60.3Hz。实测结果验证了该新型主镜支撑系统具有良好的面形保持能力及支撑刚度,分析结果与实测结果符合度较好,主镜光轴垂直和水平状态面形精度RMS的相对误差分别为14.0%和17.8%,一阶固有频率相对误差为10.8%。得到的结果验证了有限元建模及分析的可信性,支撑系统设计方案的合理性及相关理论推导的正确性。 展开更多
关键词 微晶主镜 主镜支撑 面形检测 模态测试 有限元分析
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137单元变形镜的性能测试及校正能力实验 被引量:38
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作者 林旭东 刘欣悦 +2 位作者 王建立 王富国 卫沛锋 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期267-273,共7页
自制了一个137单元分立促动器的连续镜面式变形镜,用于自适应光学相关技术的研究。首先,利用Zygo激光干涉仪对变形镜的静态性能进行了测试,包括面形测试、单个促动器的响应测试和耦合测试;然后,针对变形镜的校正能力,分别进行了Zernike... 自制了一个137单元分立促动器的连续镜面式变形镜,用于自适应光学相关技术的研究。首先,利用Zygo激光干涉仪对变形镜的静态性能进行了测试,包括面形测试、单个促动器的响应测试和耦合测试;然后,针对变形镜的校正能力,分别进行了Zernike多项式拟合和展平测试,并利用自适应光学实验平台实验验证了变形镜的校正能力;最后,利用搭建的快速响应测量平台测试了变形镜及其驱动电路的动态响应性能。测试及实验表明,137单元变形镜静态展平后的面形RMS值优于λ/50,PV值优于0.18λ(λ=632.8nm);能够对前7阶Zernike多项式进行较好的拟合和校正;变形镜及其高压驱动器的动态响应优于1kHz;该变形镜能使系统的Strehl ratio从小于0.1提高到优于0.9,明显改善了系统的成像能力。 展开更多
关键词 自适应光学 变形镜 性能测试 校正能力 动态响应
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光学拼接镜面微位移主动调节机构的设计和实测 被引量:17
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作者 杨德华 戚永军 +3 位作者 朱振东 姜方华 陈昆新 张如 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期191-197,共7页
设计和制造了一套微位移主动调节机构和支撑系统,用以实现拼接镜面天文光学望远镜的每块平面子镜精密地调节倾斜和轴向平移,并在典型的仰角工况下对该机构进行了实测。设计技术要求子镜主动调节行程须达±1 mm,同时分辨率须达50 nm... 设计和制造了一套微位移主动调节机构和支撑系统,用以实现拼接镜面天文光学望远镜的每块平面子镜精密地调节倾斜和轴向平移,并在典型的仰角工况下对该机构进行了实测。设计技术要求子镜主动调节行程须达±1 mm,同时分辨率须达50 nm以下。选用了工作行程为6 mm和分辨率为50 nm的位移促动器,并引入杠杆机构提高位移分辨率和抑制误差;采用平衡配重和预拉弹簧机构使工作中位移促动器上保持恒定负载,以保护位移促动器和保证其输出位移精度。依据拼接镜面的工作原理,建立了子镜微位移调节系统性能测试的数学模型,并在实验室内采用分辨率为5 nm的位移传感器进行了实测。结果表明其位移分辨率可达12 nm,线性良好,与理论值相对误差为5.6%,验证了该机构设计的合理性和在不同工作位置良好的灵敏度。 展开更多
关键词 微位移 分辨率 位移测量 杠杆 位移传感器
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单晶硅柱面反射镜的检测 被引量:5
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作者 郭培基 余景池 +2 位作者 张峰 王权陡 刘国淦 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2000年第3期6-6,共1页
柱面镜的加工和检测都较球面困难 ,这使其应用受到一定的限制。本文介绍了我们在加工一组单晶硅柱面镜扩束系统时针对我们所要加工的柱面镜的特点 ,采用柱面的反射光作被检光 ,使其与参考光干涉的方法检测柱线以及用检测系统来评价最后... 柱面镜的加工和检测都较球面困难 ,这使其应用受到一定的限制。本文介绍了我们在加工一组单晶硅柱面镜扩束系统时针对我们所要加工的柱面镜的特点 ,采用柱面的反射光作被检光 ,使其与参考光干涉的方法检测柱线以及用检测系统来评价最后加工结果的方法。 展开更多
关键词 柱面反射镜 检测 单晶硅 干涉仪
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