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200 mm SiC外延炉及同质外延工艺研究
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作者 谢添乐 李苹 +4 位作者 杨宇 巩小亮 巴赛 陈国钦 万胜强 《电子工业专用设备》 2024年第4期11-16,29,共7页
目前SiC产业正由150 mm(6英寸)向200 mm(8英寸)转型,为满足行业对大尺寸、高质量SiC同质外延片的迫切需求,采用自主研制的200 mmSiC外延生长设备在国产衬底上成功制备出150 mm、200 mm 4H-SiC同质外延片,并开发了适用于150 mm及200 mm... 目前SiC产业正由150 mm(6英寸)向200 mm(8英寸)转型,为满足行业对大尺寸、高质量SiC同质外延片的迫切需求,采用自主研制的200 mmSiC外延生长设备在国产衬底上成功制备出150 mm、200 mm 4H-SiC同质外延片,并开发了适用于150 mm及200 mm的同质外延工艺,其中外延生长速率可大于60μm/h,在满足高速外延的同时,外延片质量优异,其中150 mm、200 mm SiC外延片厚度均匀性都可控制在1.5%以内,浓度均匀性均小于3%,致命缺陷密度小于0.3颗/cm2,外延表面粗糙度均方根Ra小于0.15 nm,各核心工艺指标均处于行业先进水平。 展开更多
关键词 碳化硅 200 mm外延炉 化学气相沉积 同质外延
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超纯铁素体不锈钢B439M 200 mm×1260 mm连铸板坯中TiN夹杂物的分布 被引量:7
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作者 沈中芳 段豪剑 张立峰 《特殊钢》 北大核心 2016年第3期46-49,共4页
采用自动扫描电镜Aspex研究了超纯铁素体不锈钢B439M(/%:0.01C,0.40Si,0.25Mn,0.020P,0.001S,17.50Cr,0.15Ni,0.20Ti,0.0080N,0.0040O)200 mm×1 260 mm连铸板坯中TiN夹杂物的分布,结果表明,由于连铸坯凝固过程中由外向内冷却速率减... 采用自动扫描电镜Aspex研究了超纯铁素体不锈钢B439M(/%:0.01C,0.40Si,0.25Mn,0.020P,0.001S,17.50Cr,0.15Ni,0.20Ti,0.0080N,0.0040O)200 mm×1 260 mm连铸板坯中TiN夹杂物的分布,结果表明,由于连铸坯凝固过程中由外向内冷却速率减小,在连铸坯宽度方向边部,生成了大量小尺寸(平均1.26μm)TiN夹杂物;而在连铸坯宽度方向的1/4处和中部,由内弧表面到厚度1/4处再到厚度方向中部,TiN形核速率降低,TiN夹杂物的数量减少而尺寸增大。动力学分析结果得出,冷却速率减小会使得TiN夹杂物的生成尺寸增大,与TiN夹杂物在连铸坯中的分布规律相吻合。 展开更多
关键词 超纯铁素体不锈钢B439M 200 mm×1260 mm连铸板坯 TiN夹杂物 分布 动力学分析
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应用三维有限元方法优化设计1200mm动叶片动态重心
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作者 曹守洪 吴其林 《东方电气评论》 2010年第2期21-23,共3页
介绍了在1200mm末级长叶片的开发中,应用三维有限元分析方法,对叶片动态重心的优化设计,改善了叶片受力状态,降低了叶片的峰值应力,提高了叶片的安全裕度。
关键词 1200mm末级长叶片 动态重心 峰值应力
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MM-200型摩擦磨损试验机数据采集系统的设计
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作者 郑书雅 刘艳妍 胡天威 《机械研究与应用》 2016年第2期168-171,共4页
考虑到锻造操作机钳口与热工件间的摩擦因数是夹持力计算与钳杆装置设计的一项重要参数,需对变温条件下两材料间的摩擦因数进行测量。因此对MM-200摩擦磨损试验机进行数字化改进,并基于VB程序设计了数据采集系统。该采集系统能够实现摩... 考虑到锻造操作机钳口与热工件间的摩擦因数是夹持力计算与钳杆装置设计的一项重要参数,需对变温条件下两材料间的摩擦因数进行测量。因此对MM-200摩擦磨损试验机进行数字化改进,并基于VB程序设计了数据采集系统。该采集系统能够实现摩擦因数随试样块温度变化的实时测量,提高了摩擦因数的测试精度,填补了变温情况下摩擦因数的研究空白,为锻造操作机钳口材料的选定及夹持力的计算提供了一个良好的数据支撑平台,具有很好的推广应用价值。 展开更多
关键词 mm-200摩擦磨损试验机 摩擦因数 数据采集系统 温度变化
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环丙沙星预处理联合经皮肾镜碎石取石术治疗结石面积>200 mm^(2)肾结石患者的临床研究
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作者 兰景岳 《中国合理用药探索》 CAS 2019年第11期79-81,共3页
目的:研究环丙沙星预处理联合经皮肾镜碎石取石术治疗结石面积>200 mm2肾结石患者的临床效果。方法:选取我院收治的结石面积>200 mm2的肾结石患者86例作为研究对象,按随机数字表法分为两组,各43例。对照组采取经皮肾镜碎石取石术... 目的:研究环丙沙星预处理联合经皮肾镜碎石取石术治疗结石面积>200 mm2肾结石患者的临床效果。方法:选取我院收治的结石面积>200 mm2的肾结石患者86例作为研究对象,按随机数字表法分为两组,各43例。对照组采取经皮肾镜碎石取石术治疗,观察组采取环丙沙星预处理+经皮肾镜碎石取石术治疗。比较两组手术情况、住院天数及术后并发症发生情况。结果:两组手术时间、术中失血量比较,差异无统计学意义(P>0.05);观察组住院天数短于对照组,术后全身炎性反应综合征(SIRS)发生率低于对照组,差异有统计学意义(P<0.05);两组术后明显血尿发生率比较,差异无统计学意义(P>0.05)。结论:环丙沙星预处理联合经皮肾镜碎石取石术治疗结石面积>200 mm2的肾结石患者,可在不影响手术情况基础上,加快术后恢复,降低术后SIRS发生率,且不增加术后明显血尿发生风险,值得临床推广。 展开更多
关键词 肾结石 结石面积>200mm^(2) 经皮肾镜碎石取石术 环丙沙星
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45钢矩形连铸坯中心裂纹的分析和控制 被引量:3
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作者 吴华杰 留津津 +2 位作者 包燕平 王国新 魏宁 《特殊钢》 北大核心 2011年第2期44-45,共2页
统计分析了[P]、[S]、[Mn]/[S]和钢水过热度等工艺因素对钢厂45钢(0.44%~0.50%)160 mm×200 mm矩形坯中心裂纹的影响。根据分析结果,采用控制[P]≤0.020%、[S]≤0.015%、[Mn]/[S]≥40,钢水过热度≤25℃,拉速1.8m/min时优化二冷水... 统计分析了[P]、[S]、[Mn]/[S]和钢水过热度等工艺因素对钢厂45钢(0.44%~0.50%)160 mm×200 mm矩形坯中心裂纹的影响。根据分析结果,采用控制[P]≤0.020%、[S]≤0.015%、[Mn]/[S]≥40,钢水过热度≤25℃,拉速1.8m/min时优化二冷水量等工艺措施,使中心裂纹发生率由原来的82.76%降低到22.41%,1级以上中心裂纹发生率由原来的22.41%降低到0.51%。 展开更多
关键词 45钢160 mm ×200 mm 矩形连铸坯 [Mn]/[S] 二次冷却
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气体流量及水口底部形状对板坯结晶器内流场影响的水模型试验 被引量:4
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作者 刘启龙 仇圣桃 +1 位作者 占树华 王志政 《特殊钢》 北大核心 2018年第2期1-5,共5页
采用1:1水模型研究了气体流量(0~10 L/min)和水口底部形状(凹底和尖底)对结晶器内流场的影响。在结晶器断面为230mm×1 200 mm,浇铸速度为1.6 m/min的模拟工况条件下,凹底水口其流体形态优于尖底水口;在结晶器液面波动稳定性方面凹... 采用1:1水模型研究了气体流量(0~10 L/min)和水口底部形状(凹底和尖底)对结晶器内流场的影响。在结晶器断面为230mm×1 200 mm,浇铸速度为1.6 m/min的模拟工况条件下,凹底水口其流体形态优于尖底水口;在结晶器液面波动稳定性方面凹底水口亦优于尖底水口;气体流量在0~8 L/min,使用尖底水口的流体其表面流速明显高于使用凹底水口的流体;对凹底水口而言,气体流量超过8 L/min,其流体表面流速低于0.2 m/s;120炉IF钢生产结果表明,使用优化的凹底水口和吹氩流量7 L/min,浇铸过程结晶器液面波动在±3 mm以内,铸坯夹杂物比优化前降低24%。 展开更多
关键词 230 mm×1 200 mm板坯连铸 水模型 气体流量 浸入式水口 结晶器流场 夹杂
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Q235B热轧板表面纵裂成因分析及工艺控制 被引量:6
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作者 张瑜 漆鑫 +1 位作者 杨春雷 张红斌 《特殊钢》 北大核心 2016年第1期29-33,共5页
Q235B钢(0.11%~0.17%C)10~20 mm热轧板的生产流程为铁水预处理-50 t转炉-吹氩-(2.00~230)mm×(900~1600)mm板坯连铸-热轧工艺。分析表明,Q235B钢热轧板表面裂纹来源于铸坯纵裂。统计分析了成分、钢水过热度、拉速、连铸二冷... Q235B钢(0.11%~0.17%C)10~20 mm热轧板的生产流程为铁水预处理-50 t转炉-吹氩-(2.00~230)mm×(900~1600)mm板坯连铸-热轧工艺。分析表明,Q235B钢热轧板表面裂纹来源于铸坯纵裂。统计分析了成分、钢水过热度、拉速、连铸二冷水量、保护渣等对连铸坯纵裂的影响。通过控制Mn/S≥40,钢水过热度15~35℃,拉速1.15 m/min,按季节调节二冷水量,采用熔点≥1100℃,粘度0.20~0.32 Pa·s,碱度≥1.10的保护渣等措施,使Q235B钢热轧板表面纵裂纹由3.51%降至≤0.96%。 展开更多
关键词 Q235B钢 热轧板 表面纵裂 Mn/S 200 mm板坯 过热度 拉速 保护渣
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梁板钢板坯角部横裂纹控制技术的研究 被引量:4
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作者 潘红 《特殊钢》 北大核心 2011年第6期28-30,共3页
针对攀钢V和V-Nb微合金化低碳梁板钢200 mm连铸坯出现角部横裂纹缺陷,通过综合优化连铸工艺参数-将结晶器铸坯窄宽面热流比由原先的0.90~1.10降至0.75~0.85,保护渣的粘度由0.20 Pa·s降至0.16 Pa·s,稳定连铸拉速和连铸机工... 针对攀钢V和V-Nb微合金化低碳梁板钢200 mm连铸坯出现角部横裂纹缺陷,通过综合优化连铸工艺参数-将结晶器铸坯窄宽面热流比由原先的0.90~1.10降至0.75~0.85,保护渣的粘度由0.20 Pa·s降至0.16 Pa·s,稳定连铸拉速和连铸机工况条件,使铸坯角部横裂纹缺陷得到了明显改善,并消除了由此引起的热轧饭卷表面线纹和起皮缺陷,因梁板钢热轧板卷表面缺陷引起的降级改判率由30%降至0。 展开更多
关键词 梁板钢 200mm板坯 角部横裂纹 连铸 工艺优化
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超低碳钢AISI 1006铸坯夹杂物的分布及工艺改进
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作者 李润 印传磊 +3 位作者 翟万里 张洪才 林鹏 许正周 《特殊钢》 2022年第6期95-100,共6页
为研究90 t BOF-RH-LF-CC流程生产的超低碳钢AISI1006夹杂物控制情况,通过对200 mm×200 mm铸坯横断面不同位置夹杂物进行统计分析,结果表明:钢中小颗粒夹杂占比较大,尺寸5~10μm的夹杂物占比达到91.0%,10~13μm的占比3.6%,13μm以... 为研究90 t BOF-RH-LF-CC流程生产的超低碳钢AISI1006夹杂物控制情况,通过对200 mm×200 mm铸坯横断面不同位置夹杂物进行统计分析,结果表明:钢中小颗粒夹杂占比较大,尺寸5~10μm的夹杂物占比达到91.0%,10~13μm的占比3.6%,13μm以上占比5.4%。尺寸较大夹杂主要分布于铸坯中心。在铸坯1/4边长处夹杂物分布最多,其次是近中心处,铸坯近表面处夹杂物最少。铸坯内夹杂物主要为Al_(2)O_(3)、Al_(2)O_(3)·CaO·(CaS·MnS)、Al_(2)O_(3)·CaO·MgO·(CaS·MnS)、MgO·Al_(2)O_(3)·(CaS·MnS)复合夹杂物,为内生夹杂物。开展工艺优化改进,RH高真空保持时间控制在15 min以上,LF精炼做好脱氧造渣及脱硫,精炼时间控制在90 min以内,精炼终渣碱度在6~7,出站前喂入硅钙线进行变性处理,软吹时间控制在25 min以上,连铸做好保护浇注,中间包开大氩气流量吹扫10 min以上,避免二次氧化,将夹杂物往钙铝酸盐方向控制,工艺优化后,钢水T.O含量≤20×10^(-6),B、D、Ds夹杂级别≤1.0。 展开更多
关键词 超低碳钢AISI 1006 200 mm×200 mm铸坯 夹杂物数量 成分 工艺改进
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莱钢H型钢咬入条件分析
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作者 宁占龙 《莱钢科技》 2019年第3期53-54,共2页
分析了型钢厂中型线H200mm×200mm规格U1咬入条件,查找导致咬入困难的关键因素,对关键影响参数进行修改,彻底解决了U1咬入困难问题。
关键词 H200mm×200mm规格 H型钢 咬入条件
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横向磁场下坩埚转速对半导体级直拉单晶硅熔体中流场与氧浓度的影响机制 被引量:1
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作者 王黎光 芮阳 +7 位作者 盛旺 马吟霜 马成 陈炜南 邹啟鹏 杜朋轩 黄柳青 罗学涛 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第9期1641-1650,共10页
利用ANSYS有限元软件分析了横向磁场下不同坩埚转速对200 mm半导体级直拉单晶硅的流场及氧浓度的影响。研究结果表明:在横向磁场下,硅熔体的流场和氧浓度分布呈三维非对称性,熔体对流形式主要包括泰勒-普劳德曼漩涡、浮力-热毛细漩涡及... 利用ANSYS有限元软件分析了横向磁场下不同坩埚转速对200 mm半导体级直拉单晶硅的流场及氧浓度的影响。研究结果表明:在横向磁场下,硅熔体的流场和氧浓度分布呈三维非对称性,熔体对流形式主要包括泰勒-普劳德曼漩涡、浮力-热毛细漩涡及次漩涡,其中前两者有助于氧挥发,而次漩涡则起到抑制作用。当坩埚转速较低(0.5~1.0 r/min)时,较弱的熔体对流强度导致坩埚壁与固液界面间的热传导效率低,氧主要以扩散机制迁移至固液界面,熔硅中氧浓度高;当坩埚转速较高(2~2.5 r/min)时,氧通过强对流形式迁移至固液界面。随着坩埚转速增加,次漩涡和浮力-热毛细漩涡的作用强度提高,浮力-热毛细漩涡影响区域远离自由表面,使硅熔体中的氧浓度呈先下降后上升的趋势。数值模拟结果与实验结果均表明,在横向磁场条件下优选1.5 r/min的坩埚转速可获得平均氧浓度较低的单晶硅。上述分析结果可以为横向磁场下半导体级单晶硅拉晶参数优化提供参考依据。 展开更多
关键词 ANSYS有限元分析 200 mm半导体级单晶硅 直拉法 坩埚转速 流场 氧浓度
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高氮双相不锈钢6.2t扁锭电渣重熔的工艺实践
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作者 王新鹏 陈帅超 +2 位作者 罗利阳 宁天信 张春林 《特殊钢》 北大核心 2015年第5期32-34,共3页
2205双相不锈钢6.2t200mm×1250mm扁锭(/%:0.015~0.016C,0.15—0.16Si,1.35~1.39Mn,0.005—0.006S,0.023~0.024P,22:78~22.95Cr,5.40Ni,3.15~3.17Mo,0.193~0.194N)由20t双极串联抽锭电渣重熔... 2205双相不锈钢6.2t200mm×1250mm扁锭(/%:0.015~0.016C,0.15—0.16Si,1.35~1.39Mn,0.005—0.006S,0.023~0.024P,22:78~22.95Cr,5.40Ni,3.15~3.17Mo,0.193~0.194N)由20t双极串联抽锭电渣重熔炉生产。通过采用50CaF2-19A1:03-19ca0-6Mg0石siO2液态熔渣,控制抽锭速度12mm/min,电极熔化速度1100—1200kg/h等工艺措施,扁锭表面质量良好,表面修磨量≤3mm,满足轧制要求。 展开更多
关键词 2205双相不锈钢 200 mm×1 250 mm电渣重熔扁锭 工艺实践
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