入射角度对Ti/Al(001)沉积薄膜微观结构的影响

采用分子动力学方法模拟Ti在Al(001)表面的薄膜生长过程,计算不同入射角度下Ti薄膜的表面粗糙度、堆积密度、径向分布函数、键对含量比。结果表明,当入射角度小于30°时,其对Ti薄膜粗糙度、堆积密度的影响很小,而当入射角度大于30°时,Ti薄膜粗糙度增加、堆积密度下降;入射角度对Ti薄膜微观结构的影响很小,且Ti薄膜以fcc结构为主。

入射能量对Ti/Al(001)沉积薄膜微观结构的影响

利用分子动力学模拟了Ti原子在Al(001)表面的薄膜生长过程,通过对沉积薄膜表面粗糙度、径向分布函数、键对含量比的计算和界面结合的分析,研究入射能量对薄膜质量的影响。结果表明:当入射能量为0.1eV时,Ti薄膜粗糙,随着入射能量的增加,薄膜表面粗糙度降低,薄膜越趋于层状生长;Ti原子仅入射到基体最表面2层,仅为表面结合,无金属化合物;入射能量对Ti薄膜微观结构的影响很小,且Ti薄膜以fcc结构为主。

斜入射离子束辅助沉积对类金刚石薄膜结构影响的分子动力学模拟

采用分子动力学(MD)模拟方法,从原子尺度上研究了离子束辅助沉积(IBAD)类金刚石(DLC)薄膜过程中离子束入射角对薄膜结构的影响.重点讨论了不同的离子束入射角所对应的薄膜表面模型,平均密度和sp3键含量.结果表明,离子束斜入射加强了入射原子的水平动能,从而加强了原子水平迁移;Ar离子斜入射时C原子迁移率均比垂直入射大,薄膜密度和sp3键含量都比垂直入射小.不同的离子束入射角随着到达比和入射能的变化,对薄膜结构的影响不同.离子束斜入射时可以得到不同结构的膜.