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MOS器件Hf基高k栅介质的研究综述
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作者 吕品 白永臣 邱巍 《辽宁大学学报(自然科学版)》 CAS 2024年第1期24-32,共9页
随着金属氧化物半导体(MOS)器件尺寸的持续缩小,HfO2因其介电常数(k)高、带隙大等特点,成为取代传统SiO2栅介质最有希望的候选材料.本文综述了Hf基高k栅介质薄膜的近年的研究进展.针对HfO2结晶温度低、在HfO2薄膜和Si衬底间易形成界面... 随着金属氧化物半导体(MOS)器件尺寸的持续缩小,HfO2因其介电常数(k)高、带隙大等特点,成为取代传统SiO2栅介质最有希望的候选材料.本文综述了Hf基高k栅介质薄膜的近年的研究进展.针对HfO2结晶温度低、在HfO2薄膜和Si衬底间易形成界面层导致漏电流大、界面态密度高、击穿电压低等问题,回顾了最近论文报道的两种策略,即掺杂改性和插入缓冲层.接着举例讨论了Hf基材料从二元到掺杂氧化物/复合物的演变、非Si衬底上淀积Hf基高k栅介质、Hf基高k栅介质的非传统MOS器件结构,为集成电路(IC)中MOS器件的长期发展提供一些思路. 展开更多
关键词 Hf基高k材料 栅介质 mos器件 介电常数
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黑龙江省准对称混合训练期MOS气温预报性能分析
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作者 赵玲 白雪梅 +3 位作者 孟莹莹 邢程 刘松涛 付雯 《黑龙江气象》 2024年第2期1-5,共5页
本文选取ECMWF细网格地面2 m气温要素预报产品作为预报因子,选取中国气象局陆面数据同化系统(CLDAS-V2.0)地面2 m气温格点实况数据作为预报量,应用准对称混合训练期MOS方法,建立黑龙江省格点气温MOS方法,并对MOS方法在24 h预报时效内间... 本文选取ECMWF细网格地面2 m气温要素预报产品作为预报因子,选取中国气象局陆面数据同化系统(CLDAS-V2.0)地面2 m气温格点实况数据作为预报量,应用准对称混合训练期MOS方法,建立黑龙江省格点气温MOS方法,并对MOS方法在24 h预报时效内间隔3 h的格点气温预报性能进行检验分析。结果表明:MOS平均绝对误差≤1.5℃;MOS夏半年≤2℃预报准确率为84.1%,比ECMWF提高7.6%;冬半年预报准确率为71.5%,比ECMWF提高18.3%;预报技巧夏半年为14.2%,冬半年为29.8%。MOS夏半年预报效果好于冬半年,冬半年预报改善效果好于夏半年。大、小兴安岭和东南部山区MOS预报效果不如平原地区好,但是MOS改善效果明显好于平原地区。 展开更多
关键词 准对称混合训练期mos方法 气温 ECMWF CLDAS 预报性能
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基于MOS认证体系的统计数据处理与课证融通教学模式研究
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作者 薛亚宏 《延安职业技术学院学报》 2024年第1期45-49,共5页
MOS在全球具有广泛影响力,是评价企业数据处理与分析人员技术水平的重要依据,高等职业教育财经商贸大类所属专业类、专业对MOS有较高的依赖性,受限于教育行业兼任企业技术人员数量,目前尚未见到将MOS体系与相关专业课程有效融合的成熟... MOS在全球具有广泛影响力,是评价企业数据处理与分析人员技术水平的重要依据,高等职业教育财经商贸大类所属专业类、专业对MOS有较高的依赖性,受限于教育行业兼任企业技术人员数量,目前尚未见到将MOS体系与相关专业课程有效融合的成熟案例。本文以MOS专家级认证为基本参照,探索统计实践教学与“Microsoft Excel Expert”的融合机制,系统研究基于MOS的课证融通教学模式。 展开更多
关键词 mos 统计学 函数 课证融通
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MoS2/Ti3C2Tx异质复合材料的制备及电化学性能研究
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作者 李威 何敏 +1 位作者 陈璐宁 韩林 《武汉科技大学学报》 CAS 北大核心 2024年第1期30-37,共8页
利用水热法合成了MoS2/Ti3C2Tx异质复合材料,采用SEM、XRD、XPS和电化学工作站对所制样品的形貌、结构、成分和电化学性能进行了表征。结果表明,当Ti3C2Tx引入量为30 mg时,所制MoS2/Ti3C2Tx异质复合电极具有最优的电化学性能和较好的循... 利用水热法合成了MoS2/Ti3C2Tx异质复合材料,采用SEM、XRD、XPS和电化学工作站对所制样品的形貌、结构、成分和电化学性能进行了表征。结果表明,当Ti3C2Tx引入量为30 mg时,所制MoS2/Ti3C2Tx异质复合电极具有最优的电化学性能和较好的循环稳定性,在1 A/g电流密度下的比电容达到262.54 F/g,且经10 000次循环后仍保持82.1%的初始比电容。 展开更多
关键词 mos2 Ti3C2Tx 异质复合材料 电化学性能 比电容 循环性能
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功率MOS开关的高精度电流检测电路设计
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作者 张元皓 刘清惓 +1 位作者 刘祖韬 赵自强 《信息技术》 2024年第7期9-14,19,共7页
随着军工设备、工业控制、智能汽车等领域的发展,功率MOS开关驱动器的需求量不断提升,其可靠性、安全性等性能要求也在逐步提高。为保证功率MOS管在安全电流下工作,设计了一款高精度高边电流检测电路。利用复合式斩波放大器,大幅降低失... 随着军工设备、工业控制、智能汽车等领域的发展,功率MOS开关驱动器的需求量不断提升,其可靠性、安全性等性能要求也在逐步提高。为保证功率MOS管在安全电流下工作,设计了一款高精度高边电流检测电路。利用复合式斩波放大器,大幅降低失调电压对电流采样精度的影响,并保证电路系统有足够的响应速度。该电路采用CSMC 0.18μm高压BCD工艺进行设计,在添加10mV的输入失调电压后,测量精度依然可以达到99%,带宽达到3MHz。 展开更多
关键词 mos开关 电流检测 斩波放大器 失调电压 高精度
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Unsaturated bi-heterometal clusters in metal-vacancy sites of 2D MoS2 for efficient hydrogen evolution
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作者 Gonglei Shao Jie Xu +4 位作者 Shasha Gao Zhang Zhang Song Liu Xu Zhang Zhen Zhou 《Carbon Energy》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第3期264-275,共12页
The valence states and coordination structures of doped heterometal atoms in two-dimensional(2D)nanomaterials lack predictable regulation strategies.Hence,a robust method is proposed to form unsaturated heteroatom clu... The valence states and coordination structures of doped heterometal atoms in two-dimensional(2D)nanomaterials lack predictable regulation strategies.Hence,a robust method is proposed to form unsaturated heteroatom clusters via the metal-vacancy restraint mechanism,which can precisely regulate the bonding and valence state of heterometal atoms doped in 2D molybdenum disulfide.The unsaturated valence state of heterometal Pt and Ru cluster atoms form a spatial coordination structure with Pt–S and Ru–O–S as catalytically active sites.Among them,the strong binding energy of negatively charged suspended S and O sites for H+,as well as the weak adsorption of positively charged unsaturated heterometal atoms for H*,reduces the energy barrier of the hydrogen evolution reaction proved by theoretical calculation.Whereupon,the electrocatalytic hydrogen evolution performance is markedly improved by the ensemble effect of unsaturated heterometal atoms and highlighted with an overpotential of 84 mV and Tafel slope of 68.5 mV dec^(−1).In brief,this metal vacancy-induced valence state regulation of heterometal can manipulate the coordination structure and catalytic activity of heterometal atoms doped in the 2D atomic lattice but not limited to 2D nanomaterials. 展开更多
关键词 CLUSTERS hydrogen evolution reaction metal vacancy mos2 unsaturated heterometal
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IGBT表面MOS结构的研究
7
作者 赵田 《内江科技》 2024年第6期35-36,共2页
IGBT即绝缘栅双极型晶体管,作为新一代的全控型电力电子器件已经广泛应用于工业、交通以及军事等诸多领域。日益进步的电力电子技术对功率半导体器件的性能也提出了更高的要求。本文使用计算机仿真软件对IGBT表面MOS结构进行优化设计,... IGBT即绝缘栅双极型晶体管,作为新一代的全控型电力电子器件已经广泛应用于工业、交通以及军事等诸多领域。日益进步的电力电子技术对功率半导体器件的性能也提出了更高的要求。本文使用计算机仿真软件对IGBT表面MOS结构进行优化设计,结果表明,为了获得最大的通流能力,首先要对MOS的栅宽和栅的间距做最佳匹配,其次是对BJT分量中的P+阱宽度做出合理设计,以期获得较高的抗闩锁能力。 展开更多
关键词 绝缘栅双极型晶体管 mos结构 功率半导体器件 IGBT 电力电子技术 全控型电力电子器件 计算机仿真软件 BJT
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电磁干扰环境MOS器件可靠性表征方法研究
8
作者 朱亚星 赵东艳 +7 位作者 陈燕宁 刘芳 吴波 王凯 郁文 王柏清 宋斌斌 连亚军 《集成电路与嵌入式系统》 2024年第8期29-34,共6页
工业芯片MOS器件的可靠性表征通常基于恒压应力或梯度应力方法对器件进行加速实验测试,根据测试结果对器件进行寿命评估。由于加速实验测试条件较为单一,难以覆盖工业芯片常见电磁干扰应用环境,MOS器件实际应用场景退化程度不能根据此... 工业芯片MOS器件的可靠性表征通常基于恒压应力或梯度应力方法对器件进行加速实验测试,根据测试结果对器件进行寿命评估。由于加速实验测试条件较为单一,难以覆盖工业芯片常见电磁干扰应用环境,MOS器件实际应用场景退化程度不能根据此方法进行有效界定,进而影响对工业芯片工作稳定性的精准判断。本研究提出一种微观层面MOS器件寿命评估方法,结合TCAD仿真软件对电磁干扰环境MOS器件寿命进行预测。该方法有效避免了电磁干扰环境器件输出波动带来的错误反馈,对器件寿命的预测具备一定保守性,能较大限度保证芯片在电磁环境中的正常运作。 展开更多
关键词 电磁干扰 mos器件 TCAD仿真 可靠性理论
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基于深沟槽单次外延工艺超级结MOS器件耐压提升与优化
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作者 田俊 付振 +3 位作者 张泉 肖超 张文敏 王悦 《集成电路与嵌入式系统》 2024年第6期46-54,共9页
介绍了超级结MOS器件的一种主流工艺—深沟槽单次外延工艺,详细介绍了该工艺的工艺流程及特点。基于超级结MOS器件的电荷平衡原理,分析不同P柱浓度条件下器件击穿电压(Breakdown Voltage)的变化规律,揭示击穿电压(BV)偏低的原因,提出一... 介绍了超级结MOS器件的一种主流工艺—深沟槽单次外延工艺,详细介绍了该工艺的工艺流程及特点。基于超级结MOS器件的电荷平衡原理,分析不同P柱浓度条件下器件击穿电压(Breakdown Voltage)的变化规律,揭示击穿电压(BV)偏低的原因,提出一种改善方案,最终通过实验验证该方案的可行性。 展开更多
关键词 超级结mos 电荷平衡 深沟槽 P柱宽度调整 耐压BV
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西南地区返乡农民工创业影响因素研究——基于MOS模型
10
作者 皇江博 张新美 《科技创业月刊》 2024年第4期71-75,共5页
通过实地调研,利用问卷调查的方式,总结西南地区返乡农民工创业的特点,并测算西南地区返乡农民工创业与MOS模型的关联度,对模型中6个维度中的各级指标进行信度检验。以此为研究基础,对模型结果进行分析,发现西南地区返乡农民工创业环境... 通过实地调研,利用问卷调查的方式,总结西南地区返乡农民工创业的特点,并测算西南地区返乡农民工创业与MOS模型的关联度,对模型中6个维度中的各级指标进行信度检验。以此为研究基础,对模型结果进行分析,发现西南地区返乡农民工创业环境中存在着缺乏创业激励机制、创业教育资源匮乏、融资渠道单一、创业者风险弱化政策待完善等问题。据此,提出优化西南地区返乡农民工创业的对策建议,为降低该地区返乡农民工创业失败率提供参考。 展开更多
关键词 西南地区 返乡农民工创业 影响因素 mos模型
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MOS管失效案例分析
11
作者 王奕轩 方志强 《今日制造与升级》 2024年第6期146-148,共3页
文章通过外部目检分析、X-ray分析、I-V特性测试分析等手段,分析MOS管失效原因。
关键词 mos 开封 金属化热熔 失效分析
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一种全尺寸MOS晶体管的俘获隧穿电流优化模型
12
作者 张瑜 《中国集成电路》 2024年第1期46-50,共5页
针对当前的俘获隧穿电流模型中,对于不同器件尺寸只有统一的参数进行模型拟合,存在无法针对器件尺寸变化进行准确地模型拟合的问题。本文提出了在俘获隧穿电流模型的参数中,添加与器件全尺寸信息相关的方法,包括器件宽度方向,长度方向... 针对当前的俘获隧穿电流模型中,对于不同器件尺寸只有统一的参数进行模型拟合,存在无法针对器件尺寸变化进行准确地模型拟合的问题。本文提出了在俘获隧穿电流模型的参数中,添加与器件全尺寸信息相关的方法,包括器件宽度方向,长度方向及小尺寸的系数对原有的漏电模型基础上进行优化,使得该优化的漏电模型能更好地反应器件特性实测数据,更好地解决了俘获隧穿电流更准确地表征器件特性的问题,这就提高了给电路设计者做仿真参考的准确性。 展开更多
关键词 mos晶体管 俘获隧穿电流 全尺寸 SPICE模型
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MOS半桥驱动电路中的续流电容和零电压开关设计
13
作者 陈聪 《集成电路应用》 2024年第1期16-17,共2页
阐述MOS半桥驱动电路的原理,分析死区时间和续流电容在MOS半桥驱动电路中的应用,探讨零电压开关技术的在MOS半桥驱动电路中的重要性、零电压开关技术在设计中的基本原则。
关键词 mos半桥电路 续流电容 零电压开关
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MoS2对热压Fe基金刚石钻头胎体性能的影响研究 被引量:2
14
作者 章文姣 谭松成 +3 位作者 潘秉锁 金鑫 孔祥清 龙尚琳 《煤田地质与勘探》 CAS CSCD 北大核心 2023年第4期170-178,共9页
金刚石钻头是勘探工作中的常见破岩工具,但金刚石热稳定性较差,在钻进过程中会不断产生热量,干旱缺水条件下钻头自冷却对钻进效率的提高具有非常重要的意义。为降低干钻条件下钻头胎体与岩石界面间的摩擦因数从而减少钻进过程中金刚石... 金刚石钻头是勘探工作中的常见破岩工具,但金刚石热稳定性较差,在钻进过程中会不断产生热量,干旱缺水条件下钻头自冷却对钻进效率的提高具有非常重要的意义。为降低干钻条件下钻头胎体与岩石界面间的摩擦因数从而减少钻进过程中金刚石的热损伤,在热压Fe基金刚石钻头胎体中添加二硫化钼(MoS2),研究MoS2含量对Fe基钻头胎体相对密度、洛氏硬度、抗弯强度以及与白刚玉砂轮干磨时的磨损量和摩擦因数的影响,并用扫描电子显微镜(SEM)和能谱仪(EDS)等测试仪器分析了抗弯强度和摩擦磨损试验后的试样断口和表面的形貌及物相成分。试验结果表明,在试验范围内,Fe基胎体相对密度与MoS2含量关系不大,但是与未添加MoS2的Fe基胎体相比,其相对密度提高了约2.5%,达98%以上。Fe基胎体洛氏硬度随着MoS2含量的增加先增大后减小,在MoS2体积分数为8%时胎体硬度最大,洛氏硬度HRB值达101.3。Fe基胎体抗弯强度随着MoS2含量的增加先增大后减小,在MoS2体积分数为2%时胎体抗弯强度最大,达1140 MPa。Fe基胎体磨损量随着MoS2含量的增加先减小后增大,在MoS2体积分数为4%时磨损量最小,为0.376 g。Fe基胎体与岩石界面间的摩擦因数则随着MoS2含量的增加而逐渐下降,在MoS2体积分数为10%时摩擦因数最小,为0.325。抗弯强度断裂试样断口形貌和物相分析表明,MoS2的加入降低了Fe基胎体显微组织的连续性。摩擦磨损试验后试样形貌分析表明,MoS2的加入降低了摩擦磨损过程中的粘着磨损和塑性变形。研究成果为减少干钻条件下金刚石磨损和热损伤,提高胎体耐磨性,延长钻头寿命奠定了理论基础。 展开更多
关键词 mos2 金刚石钻头 热压Fe基胎体 机械性能 摩擦学性能
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基于LabVIEW与TCAD的MOS场效应晶体管虚拟仿真实验平台设计与实现 被引量:1
15
作者 李曼 张淳棠 +4 位作者 刘安琪 郭宇锋 杨可萌 姚佳飞 张珺 《大学物理实验》 2023年第3期106-110,共5页
为了解决微电子科学与工程或集成电路设计与集成系统专业实验教学面临的难题,设计了基于LabVIEW与TCAD的MOS场效应晶体管虚拟仿真实验平台。该平台可以实现MOS场效应晶体管的电学性能测试和参数提取,包括数据输入与存储、控制命令输出... 为了解决微电子科学与工程或集成电路设计与集成系统专业实验教学面临的难题,设计了基于LabVIEW与TCAD的MOS场效应晶体管虚拟仿真实验平台。该平台可以实现MOS场效应晶体管的电学性能测试和参数提取,包括数据输入与存储、控制命令输出、数据采集与显示、报错与停止以及图形分析与提取。该虚拟仿真实验平台为学生提供了良好的工程实践平台,具有操作简单和效率高的明显优势,能够充分调动学生的主观性并且帮助学生理解复杂问题。 展开更多
关键词 mos场效应晶体管 虚拟仿真 实验平台 LABVIEW TCAD
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基于OMOS方法的地面气温短时预报——以重庆市为例
16
作者 王田 季焱 +2 位作者 杜钦 朱寿鹏 智协飞 《气象科学》 北大核心 2023年第5期652-661,共10页
基于重庆市气象局业务运行的风暴尺度快速同化和预报系统(Storm-Scale Rapid Assimilation and Forecast System,SSRAFS)、气象信息综合分析处理系统(Meteorological Information Comprehensive Analysis And Process System,MICAPS)地... 基于重庆市气象局业务运行的风暴尺度快速同化和预报系统(Storm-Scale Rapid Assimilation and Forecast System,SSRAFS)、气象信息综合分析处理系统(Meteorological Information Comprehensive Analysis And Process System,MICAPS)地面观测和高空观测资料,进行模式输出统计(Model Output Statistics,MOS)方法和纳入超前实况因子的MOS(MOS with Prior Observation Predictors,OMOS)方法对重庆地区地面气温96 h内逐小时预报试验,并以SSRAFS地面气温预报结果作为参考进行对比分析。结果表明:MOS方法在1~96 h预报时效内的预报技巧高于SSRAFS,气温预报均方根误差(Root Mean Square Error,RMSE)平均减小1.22℃,CC和HR2分别平均增大0.006和20.4%;在1~7 h预报时效,RMSE平均减小1.70℃,CC和HR2分别平均增大0.07和34.5%;且MOS方法在重庆东北部及中南部地区改进效果较为明显。OMOS方法在气温短期预报中表现优于MOS方法,尤其在1~7 h预报时效,比MOS方法RMSE平均减小0.43℃,CC和HR2分别平均增大0.008和8.3%;其在1~4 h预报时效时表现更加优异,与MOS方法相比,RMSE平均减小0.66℃,CC和HR2分别平均增大0.13和12.3%。因此,在MOS的基础上,OMOS能够进一步提升地面气温的预报技巧,且在重庆东北部及中南部地区的预报效果有明显改进。 展开更多
关键词 mos预报 Omos 地面气温
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SiC MOS在有源功率因数校正电路中的应用
17
作者 韩芬 《工业仪表与自动化装置》 2023年第5期112-114,共3页
为了提高开关电源的工作频率,降低开关损耗,减少电磁污染等,采用第三代半导体功率器件SiC MOS代替传统的Si MOS,同时采用有源功率因数校正技术来提高开关电源的利用率。该文分析了整个电路的工作原理,利用Matlab仿真软件对电路进行了仿... 为了提高开关电源的工作频率,降低开关损耗,减少电磁污染等,采用第三代半导体功率器件SiC MOS代替传统的Si MOS,同时采用有源功率因数校正技术来提高开关电源的利用率。该文分析了整个电路的工作原理,利用Matlab仿真软件对电路进行了仿真。仿真结果表明,在开关电源中使用SiC MOS可以提高开关频率,降低开关损耗,提高电源的利用率。功率因数可达0.998以上,负载上输出的直流电压稳定,纹波电压误差小。 展开更多
关键词 SiC mos 开关电源 功率因数校正 开关损耗
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模电教学中BJT与MOS的近似性分析
18
作者 周波 郝蕴 《电气电子教学学报》 2023年第6期116-119,共4页
BJT与MOS器件及电路是模电重要内容;教学中二者的电路模型与分析方法不一致,学生困惑于两套不同的器件及电路知识。在遵循器件及电路工作原理的基础上,首次对二者在小信号模型、电路参数、I-V方程、特性曲线、工作区间、指标计算上进行... BJT与MOS器件及电路是模电重要内容;教学中二者的电路模型与分析方法不一致,学生困惑于两套不同的器件及电路知识。在遵循器件及电路工作原理的基础上,首次对二者在小信号模型、电路参数、I-V方程、特性曲线、工作区间、指标计算上进行完整的近似性分析及一致性推导;在二者电路计算中,用三种单管单级放大器实例,阐述近似分析方法的便利性,对模拟电路的教学具有重要的指导意义。 展开更多
关键词 近似性分析 mos场效应管 双极型晶体管
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MoS2在低熟有机质热演化生烃中的催化作用 被引量:1
19
作者 李亢 卢鸿 +3 位作者 马宏良 赵忠峰 黄华梅 彭平安 《石油与天然气地质》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第1期186-194,共9页
MoS_(2)常用作有机质催化加氢热解的高效催化剂,通过活化流动相的高压H2来提高热解产物的产率。但是MoS_(2)催化剂是否对有机质自身热演化生烃有影响却少有研究。为此,通过对低成熟Alum页岩干酪根及添加MoS_(2)催化剂的干酪根进行热模... MoS_(2)常用作有机质催化加氢热解的高效催化剂,通过活化流动相的高压H2来提高热解产物的产率。但是MoS_(2)催化剂是否对有机质自身热演化生烃有影响却少有研究。为此,通过对低成熟Alum页岩干酪根及添加MoS_(2)催化剂的干酪根进行热模拟生烃对比实验,探究了MoS_(2)对干酪根热演化生烃的影响。实验结果表明MoS_(2)的加入使低熟干酪根具有更高的成烃潜力:(1)使轻烃(C_(6-14))峰值产率增加且峰值温度前移24℃,但重烃(C_(14+))峰值产率显著降低,表明MoS_(2)加速了重烃向轻烃的热裂解转化;(2)使湿气产率在峰值温度(456℃)前轻微增加,但峰值温度后明显降低,表明MoS_(2)促进了湿气的生成及后期的裂解;(3)使甲烷(C_(1))产率明显增加,特别是在528℃后C_(1)增加了近50%,这可能是因为MoS_(2)促进了高-过成熟阶段干酪根的加氢作用;(4)通过FeS_(2)(黄铁矿)与MoS_(2)催化效应的系统对比,认为两种催化效应的差异主要受催化剂的结构、稳定性及硫的活性控制。 展开更多
关键词 mos2催化剂 加氢 催化效应 热模拟 干酪根 生烃潜力
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不同载荷及转速条件下MoS_(2)涂层的摩擦磨损性能研究
20
作者 董思成 钟利 +4 位作者 但敏 许泽金 王新超 周毅 金凡亚 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2023年第1期99-104,共6页
为获得二硫化钼(MoS_(2))涂层在聚变堆部件表面使用条件下的摩擦磨损特性,采用单极性脉冲磁控溅射技术在铁铬镍基高温合金A286上制备了厚度为2μm的MoS_(2)涂层,并针对MoS_(2)涂层在不同载荷及转速条件下的摩擦学性能展开了研究。经验证... 为获得二硫化钼(MoS_(2))涂层在聚变堆部件表面使用条件下的摩擦磨损特性,采用单极性脉冲磁控溅射技术在铁铬镍基高温合金A286上制备了厚度为2μm的MoS_(2)涂层,并针对MoS_(2)涂层在不同载荷及转速条件下的摩擦学性能展开了研究。经验证,沉积的MoS_(2)涂层结晶度较好,沿(002)面择优取向;随测试转速的增加,摩擦系数逐渐减小,在转速为50r⋅min^(-1)时,摩擦系数平均值为0.0722;在转速固定时,摩擦系数随测试载荷的增加先减小后增大,当载荷为7N时达到最小平均值0.0763。 展开更多
关键词 mos2 摩擦性能 载荷 转速
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